KR970016817A - 개선된 반사경을 갖는 변형노광장치 - Google Patents

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KR970016817A
KR970016817A KR1019950031040A KR19950031040A KR970016817A KR 970016817 A KR970016817 A KR 970016817A KR 1019950031040 A KR1019950031040 A KR 1019950031040A KR 19950031040 A KR19950031040 A KR 19950031040A KR 970016817 A KR970016817 A KR 970016817A
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aperture
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KR1019950031040A
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김철홍
한우성
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 변형노광장치에 관한 것으로서, 개선된 반사경에 관한 것이다. 본 발명에 의한 개선된 반사경을 갖는 변형노광장치는 변형조명용 구경(aperture)과 파리눈 렌즈 전, 후에 복수개의 반사경과 렌즈를 구비하는 변형노광장치에 있어서, 상기 변형조명용 구경을 제거하고 대신 상기 파리눈 렌즈 바로 뒤에, 반사면이 입사하는 광을 반사하는 부분과 차단하는 부분으로 된 반사경을 구비한다.
본 발명에 의한 변형노광장치는 구경(aperture)이 아니라 원환 또는 사점형의 반사면을 갖는 반사경을 이용함으로써, 광원에서 나온 광을 원한조명이나 사점조명 형태로 파리눈 렌즈를 투과하게 함으로써 상형성에 기여하는 파리눈 렌즈를 투과하게 함으로써 상형성에 기여하는 파리눈 렌즈를 투과하는 광을 인위적으로 가리지 않음으로써 균일도를 향상시키는 장점이 있다.

Description

개선된 반사경을 갖는 변형노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 4도는 본 발명에 의한 변형노광장치를 나타낸 도면이다.

Claims (3)

  1. 변형조명용 구경(aperture)과 파리눈 렌즈 전, 후에 복수개의 반사경과 렌즈를 구비하는 변형노광장치에 있어서, 상기 변형조명용 구경을 제거하고 대신 상기 파리눈 렌즈 전, 후에 반사면이 입사하는 광을 반사하는 부분과 차단하는 부분으로 된 반사경을 구비하는 것을 특징으로 하는 개선된 반사경을 갖는 변형노광장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 반사면의 반사하는 부분은 원환 또는 사점형태 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 개선된 반사경을 갖는 변형노광장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 반사경의 차단 부분은 입사하는 광을 100%반사 억제 가능한 유기물이나 무기물로 구성하는 것을 특징으로 하는 개선된 반사경을 갖는 변형노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950031040A 1995-09-21 1995-09-21 개선된 반사경을 갖는 변형노광장치 KR970016817A (ko)

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