KR970022561A - 투영 노광 장치 - Google Patents
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
발명은 별도의 그레이팅 마스크(grating mask)를 사용하여 사입사 조명을 구현한 투영노광장치에 관한 것으로서, 광로상 포토마스크 전방에 그레이팅 마스크를 위치시켜줌으로써, 첫째, 그레이팅 마스크가 장착되는 위치를 변경함으로써 1매의 그레이팅 마스크만으로 사입사 조명방법을 구현할 수 있으며, 둘째, 그레이팅 마스크를 다량으로 제조할 필요가 없으며, 세째, 그레이팅 마스크가 포토마스크와 분리되어 있으므로, 포토마스크 및 그레이팅 마스크의 검사도 가능한 이점이 있으며, 네째, 그레이팅 마스크를 투과한 빛의 세기가 일정치 않더라도 광량센서에서 노광시간을 감지하여 최종적으로 웨이퍼에 일정한 세기의 빛을 전사할 수 있는 잇점이 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투영노광장치를 설명하기 위하여 도시한 도면들이다.
Claims (1)
- 투영노광장치에 있어서, 광원; 상기 광원으로부터 발생한 빛의 방향을 바꾸어 주는 제1전반사 거울; 상기 제1전반사 거울에서 반사되어 오는 빛을 특정파장대로 선택적으로 투과시키는 밴드패스필터; 상기 밴드패스필터를 투과해 온 빛을 균일한 세기를 갖도록 조정하는 파리눈렌즈; 상기 파리눈렌즈를 투과한 빛을 반반사 및 반투과시키는 반반사거울; 상기 반반사거울에서 반사되어 온 빛의 광량을 모니터하는 광량센서; 상기 반반사거울을 투과한 빛을 전달하는 제1중간렌즈; 상기 제1중간렌즈를 투과한 빛을 노광면적의 크기로 조절하는 마스크 블라인드; 상기 마스크 블라인드를 투과한 빛을 전달하는 제2중간렌즈; 상기 제2중간렌즈를 투과한 빛의 방향을 바꾸어 주는 제2전반사거울; 상기 제2전반사거울에서 반사되어 오는 빛을 포토마스크에 전사하는 콘덴서렌즈 상기 콘덴서렌즈를 투과되어 수직으로 입사된 빛을 일정한 각도를 주어 회절시키는 역할을 하는 그레이팅 마스크; 상기 그레이팅 마스크를 투과한 빛을 패턴모양대로 투과시키는 포토마스크; 상기 포토마스크를 투과한 빛의 배율을 조정하여 궁극적으로 반도체 기판에 노광하는 대물렌즈; 및 상기 대물렌즈로부터 나오는 빛을 받아 패턴이 형성되는 웨이퍼를 포함하는 투영 노광 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034956A KR970022561A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 투영 노광 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034956A KR970022561A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 투영 노광 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022561A true KR970022561A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66583701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950034956A KR970022561A (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 투영 노광 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022561A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100589241B1 (ko) * | 2000-10-10 | 2006-06-14 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치, 디바이스 제조방법 및 그 디바이스 |
-
1995
- 1995-10-11 KR KR1019950034956A patent/KR970022561A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100589241B1 (ko) * | 2000-10-10 | 2006-06-14 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치, 디바이스 제조방법 및 그 디바이스 |
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Legal Events
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |