KR970022567A - 변형조명방법 - Google Patents
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Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract
본 발명은 반도체 제조 공정 중 노광에 프로즘을 착탈식으로 구성할 수 있도록 함으로써 빛의 세기 감소를 방지할 수 있는 변형조명방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 변형조명방법은, 반도체 장치 제조를 위한 노광 공정에 이용되는 변형조명방법에 있어서; 프리즘이 변형조명을 위하여 구성되는 사입사조명계에 착탈시킴으로써 수직입사되는 빛을 경사입사시킴을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 노광을 위하여 주사되는 빛의 세기가 극대화되므로 공정수행 시간이 줄어들고, 일반 조명방법과 변형조명법을 호환성있게 사용할 수 있으며, 공정 수행에 최적의 빛을 제공할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 변형조명방법의 실시예의 구성을 나타내는 도면이다.
Claims (1)
- 반도체 장치 제조를 위한 노광 공정에 이용되는 변형조명방법에 있어서; 프리즘이 변형조명을 위하여 구성되는 사입사조명계에 착탈시킴으로써 수직입사되는 빛을 경사입사시킴을 특징으로 하는 변형조명방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950037822A KR970022567A (ko) | 1995-10-28 | 1995-10-28 | 변형조명방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950037822A KR970022567A (ko) | 1995-10-28 | 1995-10-28 | 변형조명방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022567A true KR970022567A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66584865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950037822A KR970022567A (ko) | 1995-10-28 | 1995-10-28 | 변형조명방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022567A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100347517B1 (ko) * | 1999-12-01 | 2002-08-07 | 한국전자통신연구원 | 리소그래피 장비에서 복굴절 광학 유니트를 사용하는 변형 조명 장치 |
-
1995
- 1995-10-28 KR KR1019950037822A patent/KR970022567A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100347517B1 (ko) * | 1999-12-01 | 2002-08-07 | 한국전자통신연구원 | 리소그래피 장비에서 복굴절 광학 유니트를 사용하는 변형 조명 장치 |
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Legal Events
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |