KR970016819A - 크리스탈 구경(crystal aperture)을 갖는 변형노광장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 변형노광장치에 관한 것으로서, 특히 크리스탈 구경에 관한 것이다. 본 발명에 의한 크리스탈 구경을 갖는 변형노광장치는 파리눈 렌즈와 상기 파리눈 렌즈 앞에 구경(aperture)을 갖춘 변형노광장치에 있어서, 상기 구경을 크리스탈 구경으로 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 크리스탈 구경, 즉 상단에 두 개의 프리즘형 렌즈를 설치하고, 하단에 미니스커스 볼록렌즈로 이루어지는 복합렌즈를 구경(aperture) 이용함으로써, 광 세기의 손실이 없는 원한노광 형태가 된다. 결과적으로, 일반 사입사 노광에서 문제가 되는 생산성(through-put) 저하 문제를 해결할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3도는 본 발명에 의한 크리스탈 구경 변형노광장치의 광 경로의 개략도이다.
Claims (3)
- 파리눈 렌즈와 상기 파리눈 렌즈 앞에 구경(aperture)을 갖춘 변형노광장치에 있어서, 상기 구경을 크리스탈 구경으로 구비하는 것을 특징으로 하는 변형노광장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 크리스탈 구경은 복합렌즈로 구성된 것을 특징으로 하는 변형노광장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 복합렌즈는 두 개의 프리즘형 렌즈와 미니스커스 볼록렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 변형노광장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950031043A KR970016819A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 크리스탈 구경(crystal aperture)을 갖는 변형노광장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950031043A KR970016819A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 크리스탈 구경(crystal aperture)을 갖는 변형노광장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970016819A true KR970016819A (ko) | 1997-04-28 |
Family
ID=66615388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950031043A KR970016819A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 크리스탈 구경(crystal aperture)을 갖는 변형노광장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970016819A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100596490B1 (ko) * | 1999-06-16 | 2006-07-03 | 삼성전자주식회사 | 투영 노광 장치 |
-
1995
- 1995-09-21 KR KR1019950031043A patent/KR970016819A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100596490B1 (ko) * | 1999-06-16 | 2006-07-03 | 삼성전자주식회사 | 투영 노광 장치 |
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