KR970022566A - 투영노광장치에 사용되는 조리개 - Google Patents
투영노광장치에 사용되는 조리개 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체장치의 제조공정중 포토리소그라피 기술에 사용되는 토영노광장치의 4극형 조리개에 관한 것으로서, 4극형 홀의 중앙에 형성되어 있는 4극형 그레이팅과 상기 4극 홀사이에 위치한 2극형 그레이팅을 구비하는 구성을 갖는다. 본 발명의 4극형 조리개는 투영노광장치를 크게 개조하지도 않은 상태에서, 단순히상기 4극형 조리개만을 교체하므로서 종래의 사입사조명법의 단점인 광세기를 크게 높힐 수 있는 효과를 얻는다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 밭명의 4극형 조리개를 투영노광장치에 적용시킨 경우 광경로를 보여주는 도면.
Claims (1)
- 반도체제조의 포토리소그라피 기술에 사용되는 투영노광장치의 적용되는 4극형 조리개에 있어서, 상기 4극홀의 중앙에 형성되어 있는 4극형 그레이팅과 2극형 그레이팅을 구비하는 것을 특징으로 하는 4극형 조리개.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950037285A KR970022566A (ko) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 투영노광장치에 사용되는 조리개 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950037285A KR970022566A (ko) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 투영노광장치에 사용되는 조리개 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022566A true KR970022566A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66584541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950037285A KR970022566A (ko) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 투영노광장치에 사용되는 조리개 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022566A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100513440B1 (ko) * | 1998-09-22 | 2005-11-25 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 제조용 노광장비의 조명장치 및 이를 이용한 변형조명방법 |
-
1995
- 1995-10-26 KR KR1019950037285A patent/KR970022566A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100513440B1 (ko) * | 1998-09-22 | 2005-11-25 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 제조용 노광장비의 조명장치 및 이를 이용한 변형조명방법 |
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