KR970028858A - 광 강도를 증가시킨 투영노광 장치 - Google Patents
광 강도를 증가시킨 투영노광 장치 Download PDFInfo
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Abstract
광 강도의 손실없이 사입사 조명을 수행할 수 있는 투영노광 장치에 대해 기재되어 있다.
이는, 광원부, 광원부에서 발산하는 빛을 제한하는 조절부, 조절부에서 나온 빛을 굴절 및 회절시키는 굴절 및 회절부, 굴절 및 회절부에서 나오는 빛을 웨이퍼 상에 집광시키는 집광부를 구비하는 투영노광 장치에 있어서, 조절부의 전단에, 광원으로부터 발산된 빛을 집광하는 집광수단과, 집광된 빛의 경로를 바꾸는 굴절전달수단을 구비한다.
따라서, 광 강도의 손실이 없이 사입사조명을 수행할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 투영노광 장치를 도시한 개략도이다.
Claims (3)
- 광원부, 상기 광원부에서 발산하는 빛을 제한하는 조절부, 상기 조절부에서 나온 빛을 굴절 및 회절시키는 굴절 및 회절부, 상기 굴절 및 회절부, 상기 굴절 및 회절부에서 나오는 빛을 웨이퍼 상에 집광시키는 집광부를 구비하는 투영노광 장치에 있어서, 상기 조절부의 전단에, 상기 광원으로부터 발산된 빛을 집광하는 집광수단과, 상기 집광된 빛의 경로를 바꾸는 굴절전달수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투영노광 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 굴절전달수단은, 상기 광원으로부터 발산된 빛이 상기 조절부의 투광영역으로 입사되도록 하는 것을 특징으로 하는 투영노광 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 굴절전달수단의 끝부분은 상기 조절부의 투광영역의 모양에 따라 여러 가지의 모양인 것을 특징으로 하는 투영노광 장치.※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042639A KR970028858A (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 광 강도를 증가시킨 투영노광 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042639A KR970028858A (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 광 강도를 증가시킨 투영노광 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970028858A true KR970028858A (ko) | 1997-06-24 |
Family
ID=66588022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950042639A KR970028858A (ko) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 광 강도를 증가시킨 투영노광 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970028858A (ko) |
-
1995
- 1995-11-21 KR KR1019950042639A patent/KR970028858A/ko not_active Application Discontinuation
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