SU654924A1 - Устройство дл равномерного освещени объекта - Google Patents
Устройство дл равномерного освещени объектаInfo
- Publication number
- SU654924A1 SU654924A1 SU772509731A SU2509731A SU654924A1 SU 654924 A1 SU654924 A1 SU 654924A1 SU 772509731 A SU772509731 A SU 772509731A SU 2509731 A SU2509731 A SU 2509731A SU 654924 A1 SU654924 A1 SU 654924A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- uniform illumination
- illumination
- condenser
- optical
- light source
- Prior art date
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области оптического приборостроени и может найти применение в контактной фотолитографии, а также во всех устройствах, где требуетс получить равномерную освещенность на больших пол х зрени .
Известны устройства дл освещени объектов , состо щие из линзовых элементов, например осветительное устройство дл микроскопов 1. Осветитель представл ет линзовую систему, включающую апертурную и полевую диафрагмы. Оптическа система , рассчитанна по принципу Келора, позвол ет получить равномерную освещенность объекта.
Недостатком осветительного устройства вл етс то, что оно имеет сложную конструкцию . Размеры освещаемого объекта не могут быть большими из-за отсутстви больших свет щихс тел источников свечени , используемых в фотолитографии.
Известны также зеркально-линзовые осветители , например оптический конденсор дл источника света . Система зеркал рассчитана и расположена так, что световой ноток, исход щий из источника света, отража сь, равномерно распредел етс по всей площади освещаемого объекта.
Такое устройство имеет следующие недостатки: оно имеет сложную конструкцию;
изготовление зеркал эллиптической формы вл етс сложной технологической задачей; из-за высоких температур зеркала следует изготовл ть из кварца, что очень дорого; с ростом размеров освещаемого объекта растут габариты оптического конденсора.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс устройство дл равномерного освещени объекта, содержащее источник света, конденсор, выполненный в виде положительного компонента и набора микролинз 3.
Дл этого устройства характерна недостаточна равномерность освещенности.
Цель изобретени - повышение равномерности освещени с одновременным упрощением конструкции.
Поставленна цель достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве дл равномерного освещени объекта микролинзы выполнены с отрицательной оптической силой, удовлетвор ющей соотношению
D-d
9
dS
где D - диаметр освещаемого объекта;
d - световой размер микролинз;
S - рассто ние от конденсора до плоскости объекта, при этом плоскость объекта совмещена с
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772509731A SU654924A1 (ru) | 1977-07-06 | 1977-07-06 | Устройство дл равномерного освещени объекта |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772509731A SU654924A1 (ru) | 1977-07-06 | 1977-07-06 | Устройство дл равномерного освещени объекта |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU654924A1 true SU654924A1 (ru) | 1979-03-30 |
Family
ID=20718877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU772509731A SU654924A1 (ru) | 1977-07-06 | 1977-07-06 | Устройство дл равномерного освещени объекта |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU654924A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002520A (en) * | 1997-04-25 | 1999-12-14 | Hewlett-Packard Company | Illumination system for creating a desired irradiance profile using diffractive optical elements |
-
1977
- 1977-07-06 SU SU772509731A patent/SU654924A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002520A (en) * | 1997-04-25 | 1999-12-14 | Hewlett-Packard Company | Illumination system for creating a desired irradiance profile using diffractive optical elements |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69317103T2 (de) | Beleuchtungssystem zur Inspektion von Kontaktlinsen | |
| ATE359540T1 (de) | Beleuchtungsvorrichtung | |
| JPS5282246A (en) | Light source device | |
| ATE89671T1 (de) | Kombinierte hellfeld-dunkelfeldauflichtbeleuchtungseinrichtung. | |
| SU654924A1 (ru) | Устройство дл равномерного освещени объекта | |
| JPS6442821A (en) | Lighting device | |
| GB825638A (en) | Improvements relating to lighting apparatus | |
| JPS52100775A (en) | Fluorescent lamp | |
| SU609024A1 (ru) | Устройство дл фокусировки светового потока прожектора | |
| JPS5445124A (en) | Lighting unit for copier | |
| JPS53122471A (en) | Fluorescent photometric microscope | |
| SU509854A1 (ru) | Эпидиапроектор | |
| JPS589206Y2 (ja) | 高輝度照明装置 | |
| SU708288A1 (ru) | Устройство дл осуществлени способа фотометрировани негативов | |
| SU700743A1 (ru) | Светильник | |
| ATE102325T1 (de) | Beleuchtungseinrichtung fuer eine zylindrische lichtquelle. | |
| SU1640665A1 (ru) | Устройство дл фокусировани световых приборов с эллипсоидными отражател ми | |
| SU1700334A1 (ru) | Осветитель дл светодозатора | |
| JPS5629207A (en) | Microspope illuminating device | |
| JPS57173983A (en) | Illuminating device using solid light emitting element | |
| JPS5343549A (en) | Lighting device of instruments | |
| JPS5541457A (en) | Lighting optical system of printer device | |
| KR980007612A (ko) | 위상지연 보정렌즈부재를 구비한 프로젝터용 조명장치 | |
| JPS5389424A (en) | Control method for light amount of lens | |
| JPS5484723A (en) | Lighting device |