KR960701459A - 플레이너형 전자 릴레이 및 그 제조방법(planar solenoid relay and production method thereof) - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조기술을 이용하여 제조하는 박형 동시에소형의 전자 릴레이에 관한 것이다.

반도체 제조기술을 이용하여, 실리콘 기판(2)에, 평판상의 가동판(5)과, 이 가동판(5)을 축받이하는 토션바(6)와를 일체로 형서하고, 가동판(5)의 상면에 평면 코일(7)을 설치하고 하면쪽에 가동접정(9)을 설치하고, 또, 실리콘 기판(2)의 상하면에 글라스 기판(3, 4)을 설치하고, 아래쪽 글라스 기판(4)에는 상기 가동접점(9)과 접촉 가능한 고정접정(11)을 설치한다. 또, 글라스 기판(3, 4)에 평면 코일에 자계를 작용시키는 영구자석(13A, 13B 및 14A, 14B)를 고정하여 구성하고, 평면 코일(7)에 통전하여 자기력을 발생시키고, 토션바(6)의 비트는 힘에 저항하여 가동판(5)을 회동제어하여, 가동접점(9)과 고정접점(11)과를 접촉 또는 이격시킨다.

Description

플레이너형 전자 릴레이 및 그 제조방법(PLANAR SOLENOID RELAY AND PRODUCTION METHOD THEREOF)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 전자 릴레이의 제1실시례를 예시하는 구성도,

제2도는 제1실시례의 확대 종단면도,

제3도는 제1실시례의 가동판(가動板)의 상면쪽의 확대 사시도,

제4도는 제1실시례의 가동판의 하면쪽의 확대 사시도,

제5도는 본 발명의 전자 릴레이의 동작원리를 설명하는 도면.

Claims (18)

1. 반도체 기판에, 평판상의 가동판과 그 가동판을 반도체 기판에 대하여 기판 상하방향으로 요동가능하게 축받이하는 토션바와를 일체로 형성하고, 상기 가동판의 윗면 주변부에 통전에 의하여, 자계를 발생하는 평면 코일을 부설함과 동시에, 아래쪽에 가동접점부를 설치하는 한편, 반도체 기판의 아랫면에 상기 가동판의 접점부에 대응하는 위치에 고정 접점부를 설치한 절연기판을 설치하고, 상기 토션바의 축방향과 평행인 가동판의 대변의 평면 코일부에 자계를 작용시키도록 서로 짝을 이룬 자석을 배치하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자릴레이.
2. 제1항에 있어서, 상기 자석은, 상기 반도체 기판의 윗면에 위쪽 기판을 설치하고, 상기 위쪽 기판과 반도체 아랫면의 상기 절연기판에 고정하는 구성인 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
3. 제2항에 있어서, 상기 우쪽 기판과 절연기판은, 가동판 수납공간을 폐색하고, 이 가동판 수납공간을 진공 상태로 하는 구성인 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
4. 제3항에 있어서, 상기 위쪽 기판은, 가동판 위쪽에 상당하는 중앙부에 홈을 보유하고, 상기 가동판 수납 공간을 형성하는 구성인 것을 특징으로 하는 프레이너형 전자 릴레이.
5. 제2항에 있어서, 상기 위쪽 기판이, 절연기판인 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
6. 제1항에 있어서, 상기 자석이, 영구자석인 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
7. 반도체 기판에, 평판상의 가동판과 그 가동판을 반도체 기판에 대하여 기판 상하방향으로 요동가능하게 축받이 하는 토션바와를 일체로 형성하고, 상기 가동판의 적어도 윗면 주변부에 영구자석을 설치함과 아울러 아랫면쪽에 가동접접부를 설치하는 한편, 상기 토션바의 축방향과 평행인 가동판의 대변족방향의 반도체 기판 부분에, 통전에 의하여 자계를 발생하는 평면 코일을 설치하고, 반도체 기판의 아랫면에 상기 가동판의 가동 접점부에 대응하는 위치에 고정접점부를 설치한 절연기판을 설치하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
8. 제7항에 있어서, 상기 반도체 기판의 윗면에 위쪽 기판을 설치하고, 그 위쪽 기판과, 반도체 아랫면의 상기 절연기판과로, 가동판 수단공간을 폐쇄하고, 이 가동판 수납공간을 진공상태로 구성하는 한 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
9. 제8항에 있어서, 상기 위쪽 기판은, 가동판 위쪽에 상당하는 중앙부에 홈을 가지고, 상기 가동판 수납공간을 형성하는 구성인 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
10. 제8항에 있어서, 상기 위쪽 기판이, 절연기판인 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
11. 제7항에 있어서, 상기 영구자석은, 가동판 윗면 전면에 형성되는 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
12. 제7항에 있어서, 상기 영구자석이, 박막구조인 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이.
13. 반도체 기판의 토션바 형성 부분을 제외하고 기판의 아랫면에서 윗면을 향하여 이방성 에칭으로부터 관통시켜서 상기 토션바 부분에서 반도체 기판에 요동가능하게 축받이 되는 가동판을 형성하는 공정과, 가동판 윗면 주위에 전해 도금에 의하여 평면코일을 형성하는 공정과, 가동판 아랫면쪽에 가동접점부를 형성하는 공정과, 절연기판의 상면에 상기 가동접점에 접리가능한 고정접점부를 형성하는 공정과, 반도체 기판의 상하면에 양극접합에 의하여 위쪽 절연기판과, 아래쪽 절연기판을 고정하는 공정과, 토션바 축방향과 평행인 가동판의 대변에 대응하는 위쪽 절연기판부분과, 아래쪽 절연기판부분에 자석을 고정하는 공저으로서 된 플레이너형 전자 릴레이의 제조방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 평면코일을 형성하는 공정은, 반도체 기판상에 스퍼터링으로 니켈층을 형성한 후, 니켈층상에 전해 도금에 의하여 동충을 형성하고, 다음에, 평면코일부분에 상당하는 부분을 마스크하여, 동 애칭 및 니켈 에칭을 순차로 행하고, 다음에, 상기 마스크를 제거한 후에 코일 패턴상에 동 전해 도금을 행하도록 한 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이의 제조방법.
15. 제14항에 있어서, 니켈층상에 동층을 형성하는 경우에, 동 전해 도금에 대산하여 스피터링을 사용하는 것을 특징으로 하는 전자 릴레이의 제조방법.
16. 반도체 기판의 토션바 형성 부분을 제외하고 기판의 아랫면에서 윗면을 향하여 이방성 에칭부터 관통시켜서 상기 토션바 부분에서 반도체 기판에 요동가능하도록 축받이 되는 가동판을 형성하는 공정과, 가동판 윗면에 박막의 영구자석을 형성하는 공정과, 가동판 아랫면쪽에 가동 접점부를 형성하는 공정과, 상기 토션바의 축방향과 평행인 가동판의 대변쪽방향의 반도체 기판 부분에 전해 도금에 의하여 평면코일을 형성하는 공정과, 아래쪽 절연기판의 윗면에 상기 가동접점 접리 가능한 고정접점부를 형성하는 공정과, 반도체 기판의 상하면에 양극접합에 의하여 위쪽 절연기판과 아래쪽 절연기판을 고정하는 공정으로 된 플레이너형 전자 릴레이의 제조방법.
17. 제16항에 있어서, 상기 평면 코일을 형성하는 공정은, 반도체 기판상에 스피터링으로 니텔층을 형성한 후, 니켈층상에 동 전해 도금에 의하여 동층을 형성하고, 다음에, 평면코일 부분에 상당하는 부분을 마스크하여 동 애칭 및 니켈 에칭을 순차로 행하고, 다음에 상기 마스크를 제거한 후 코일 패턴상에 동 전해도금을 행하도록 한 것을 특징으로 한 플레이너형 전자 릴레이의 제조방법.
18. 제17항에 있어서, 니켈층상에 동층을 형성하는 경우에, 동 전해 도금에 대신하여 스피터링을 사용하는 것을 특징으로 하는 플레이너형 전자 릴레이의 제조방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.