KR960700858A

KR960700858A - 마킹장치의 제어장치

Info

Publication number: KR960700858A
Application number: KR1019950704027A
Authority: KR
Inventors: 마사시 이찌하라; 유키노리 마쯔무라; 아키라 모리
Original assignee: 안자끼 사토루; 가부시끼가이샤 고마쯔 세이사꾸쇼
Priority date: 1994-01-28
Filing date: 1995-01-30
Publication date: 1996-02-24
Also published as: DE69526152D1; EP0692335A1; CA2159497A1; EP0692335B1; WO1995020457A1; EP0692335A4; US6046794A; DE69526152T2; JPH07214350A; JP3258804B2; EP0961215A1

Abstract

마킹장치에서의 각인시간의 단축을 꾀하기 위한 제어장치이다. 이제어장치는 원화상으로부터 전체[ABCDE]에 외접하는 영역의 화상(20)을 꺼내고, 이 외접영역화상(20)을 소정사이즈의 화상(19)으로 복수로 분할하고, 이들 복수의 분할화상(21)을 마스크상에 1화면마다 순차적으로 표시시키는 제어를 행한다.

Description

마킹장치의 제어장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 의한 마킹장치와 실시예의 구성을 개념적으로 나타내는 사시도이다.

Claims

각인할 패턴을 나타내는 원화상을 소정사이즈의 화상으로 복수로 분할하고, 액정마스크상에 상기 복수의 분할화상을 1화상마다 순차적으로 표시시킴과 함께 상기 마스크의 표시면상에 빛을 조사시킴에 의해 상기 마스크를 투과한 빛을 공작물상에 안내하고 상기 공작물상에 상기 패턴을 각인하도록 한 마킹장치의 제어장치에 있어서, 상기 원화상으로부터 상기 패턴전체에 외접하는 영역의 화상을 꺼내어 그 외접영역화상을 상기 소정사이즈의 화상으로 복수로 분할하는 처리를 행한 후, 그 복수의 분할화상을 상기 마스크상에 1화상마다 순차적으로 표시시키도록 한 마킹장치의 제어장치.
상기 원화상 및 상기 외접영역화상은 함께 장방형이며, 상기 분할화상의 횡방향의 길이를 x,종방향의 길이를 y로 하고, 또한 상기 외접영역화상의 횡방향의 길이를 α,종방향의 길이를 β로 했을때, 상기 외접영역 화상의 상기 분할화상에 의한 분할수 n×m은

α≤nx

β≤my 를 만족하는 최소의 자연수 n, m에 의해 정해지는 청구의 범위 제1항기재의 마킹장치의 제어장치.
각인패턴을 각 패턴으로 분리하기 전의 패턴전체의 외접영역화상을 분할화상으로 분할한 경우의 분할수와, 상기 분리패턴의 외접영역화상을 분할화상으로 분할한 경우의 분할수의 합계치를 비교하고, 그 비교결과에 근거하여 분리패턴마다 외접영역화상을 꺼내는 처리를 행할 것인지 아닌지를 판단하도록 한 청구의 범위 제1항 기재의 마킹장치의 제어장치.
상기 패턴이 상기 원화상에서 상하로 또는 좌우로 분리되어 있는 경우에는 분리패턴마다 상기 외접영역화상을 꺼내도록 한 청구의 범위 제1항 또는 제2항기재의 마킹장치의 제어장치.
분리전의 패턴전체의 외접영역화상을 분할한 분할수 n1,1×m1,1의 분할화상중에 패턴이외의 배경만을 나타내는 분할화상의 수를 p로 하고, 분리되는 패턴의 수를 k로 하고, 그 분리패턴의 각 외접영역화상의 분할 수를 각각 n2,i×m2,i(i=1···k)로 했을때

k

n1,1×m1,1-p〉∑(n2,i×m2,i) (2)

i=1 로 한 경우에는, 당해분리패턴마다 외접영역화상을 꺼내는 처리를 행한다고 판단하는 청구의 범위 제4항기재의 마킹장치의 제어장치.
상기 마킹장치는, 상기 마스크에 표시되는 분할화상의 패턴을 공작물상의 대응개소에 각인시키도록 상기 투과광의 공작물상에 조사위치를 이동시키는 구동장치를 구비하고 있고, 각 분리패턴에 대응하는 외접영역화상마다 원화상에서의 좌표위치를 구하고, 상기 마스크에 표시되는 분할화상이 소정의 외접영역화상에서의 분할화상으로부터 다른 외접영역화상에서의 분할화상으로 전환될때, 상기 소정의 외접영역화상의 좌표위치와 상기 다른 외접영역화상의 좌표위치에 근거하여 상기 투과광의 조사위치이동량을 연산하고, 그 연산한 이동량만큼 상기 구동장치를 구동시키고, 상기 원화상의 패턴을 공작물상에 각인하도록 한 청구의 범위 제4항기재의 마킹장치의 제어장치.
액정마스크의 표시화면에 빛을 조사시킴과 함께 그 조사된 빛을 상기 표시화면상에 있어서 X방향으로 소정의 속도로 주주사하고, 또한 상기 X방향과 수직한 Y방향으로 소정의 속도로 부주사하는 주사장치를 가지며, 각인할 패턴을 나타내는 화상을 상기 마스크의 표시화면상에 표시시키고, 상기 주사장치에 의해 빛을 주사함에 의해 상기 마스크를 투과한 빛을 공작물상으로 안내하고 상기 공작물상에 상기 패턴을 각인하도록 한 마킹장치의 제어장치에 있어서, 상기 마스크의 표시화면을 부주사하고 있는 동안, 그 부주사를 등속으로 행하도록 상기 주사장치를 제어하는 마킹장치의 제어장치.
상기 주주사의 속도가 소정의 문턱치이상이 된 경우에 상기 부주사를 등속으로 행하는 청구의 범위 제7항 기재의 마킹장치의 제어장치.
상기 부주사의 속도는 1회의 주주사에 요하는 시간과, 상기 표시화면을 주주사하는 회수와, 표시화면의 Y방향의 길이에 따라서 결정되는 청구의 범위 제7기재의 마킹장치의 제어장치.
상기 주주사하는 회수는 상기 표시화면에 조사되는 광의 직경과 상기 표시화면의 Y방향의 길이에 따라서 결정되는 청구의 범위 제9항기재의 마킹장치의 제어장치.
각인할 패턴을 나타내는 원화상을 소정사이즈의 화상으로 복수로 분할하고, 액정마스크상에 상기 복수의 분할화상을 1화면마다 순차적으로 표시시키는 표시절환장치와, 상기 마스크의 표시화면의 표시화면에 빛을 조사시킴과 동시에 그 조사된 빛을 상기 표시화면상에서 X방향으로 소정의 속도로 주주사하고, 또한 상기 X방향과 수직한 Y방향으로 소정의 속도로 부주사하는 주주사장치와, 상기 마스크에 표시된 분할화상의 패턴을 공작물상의 대응개소에 각인시키도록 상기 마스크를 투과한 빛의 공작물상으로의 조사위치를 X방향 및 Y방향으로 이동시키는 구동장치를 가지며, 상기 표시절환장치, 상기 주사장치 및 상기 구동장치를 제어함에 의해 상기 공작물상에 상기 원화상의 패턴을 각인하도록 한 마킹장치의 제어장치에 있어서, 상기 구동장치에 의해 상기 조사위치의 X방향이동시간 및 Y방향이동시간중에 이동시간이 큰 이동방향의 이동회수가 최소가 되도록 분할화상의 표시절환순서를 결정하고, 그 결정한 표시절환순서로 분할화상의 절환을 행하도록 상기 주사장치를 제어함과 함께 상기 결정한 표시절환순서에 대응하는 조사위치의 이동이 행해지도록 상기 구동장치를 제어하는 마킹장치의 제어장치.
각인할 패턴을 나타내는 원화상을 소정사이즈의 화상으로 복수로 분할하고, 액정마스크상에 상기 복수의 분할화상을 1화면마다 순차적으로 표시시키는 표시절환장치와, 상기 마스크의 표시화면의 표시화면에 빛을 조사시킴과 동시에 그 조사된 빛을 상기 표시화면상에서 X방향으로 소정의 속도로 주주사하고, 또한 상기 X방향과 수직한 Y방향으로 소정의 속도로 부주사하는 주주사장치와, 상기 마스크에 표시된 분할화상의 패턴을 공작물상의 대응개소에 각인시키도록 상기 마스크를 투과한 빛의 공작물상으로의 조사위치를 X방향 및 Y방향으로 이동시키는 구동장치를 가지며, 상기 표시절환장치, 상기 주사장치 및 상기 구동장치를 제어함에 의해 상기 공작물상에 상기 원화상의 패턴을 각인하도록 한 마킹장치의 제어장치에 있어서, 상기 구동장치에 의해 1화면의 전체주사가 종료한 시점의 부주사위치로부터 다음에 주사할 표시화면의 주사가 개시되도록 상기 주사장치를 제어하는 마킹장치의 제어장치.
각인할 패턴을 나타내는 원화상을 소정사이즈의 화상으로 복수로 분할하고, 액정마스크상에 상기 복수의 분할화상을 1화면마다 순차적으로 표시시키는 표시절환장치와, 상기 마스크의 표시화면의 표시화면에 빛을 조사시킴과 동시에 그 조사된 빛을 상기 표시화면상에서 X방향으로 소정의 속도로 주주사하고, 또한 상기 X방향과 수직한 Y방향으로 소정의 속도로 부주사하는 주주사장치와, 상기 마스크에 표시된 분할화상의 패턴을 공작물상의 대응개소에 각인시키도록 상기 마스크를 투과한 빛의 공작물상으로의 조사위치를 X방향 및 Y방향으로 이동시키는 구동장치를 가지며, 상기 표시절환장치, 상기 주사장치 및 상기 구동장치를 제어함에 의해 상기 공작물상에 상기 원화상의 패턴을 각인하도록 한 마킹장치의 제어장치에 있어서, 상기 패턴이 상기 원화상에서 상하로 또는 좌우로 분리되어 있는 경우에, 상기 원화상으로부터 분리패턴마다 당해 분리패턴에 외접하는 영역의 화상을 꺼내어 상기 외접영역화상을 상기 소정사이즈의 화상으로 복수로 분할함과 함께, 제1의 분리 패턴에 대응하는 외접영역화상의 전체분할화상에 대하여 표시절환을 행한 후에 제2의 분리패턴에 대응하는 외접영역화상의 전체분할화상에 대하여 표시절환을 행하는 제1의 절환순서에 의한 표시절환을 행한 경우의 상기 구동장치에 의한 조사위치이동의 시간과, 상기 제1의 분리패턴에 대응하는 외접영역화상의 분할화상과 상기 제2의 분리패턴에 대응하는 외접영역화상의 분할화상의 사이에서 적어도 2회의 표시절환을 행하는 제2의 절환순서에 따른 표시절환을 행한 경우의 상기 구동장치에 의한 조사위치이동의 시간을 비교하고, 그 비교의 결과, 조사위치이동시간이 작은쪽의 절환순서로 분할화상의 표시절환이 행해지도록 상기 표시절환장치를 제어함과 함께 상기 절환순서에 대응하는 조사위치의 이동이 행해지도록 상기 구동장치를 제어하는 마킹장치의 제어장치.
상기 제1 및 제2의 분리패턴에 대응하는 외접영역화상마다 원화상상에서의 좌표위치를 구하고, 상기 마스크에 표시되는 분할화상이 상기 제1 또는 제2의 분리패턴에 대응하는 외접영역화상에서의 분할화상으로부터 다른쪽의 분리패턴에 대응하는 외접영역화상에서의 분할화상으로 절환될때에 상기 제1의 분리패턴에 대응하는 외접영역화상의 좌표위치와 상기 제2의 분리패턴에 대응하는 외접영역화상의 좌표위치에 근거하여 상기 투과광의 조사위치이동량을 연산하고, 그 연산한 이동량만큼 상기 구동장치를 구동시키고, 상기 원화상의 패턴을 공작물상에 각인하도록 한 청구의 범위 제13항기재의 마킹장치의 제어장치.
상기 제1의 분리패턴에 대응하는 제1의 외접영역화상의 좌표위치와, 상기 제2의 분리패턴에 대응하는 제2의 외접영역화상의 좌표위치와, 상기 제1의 외접영역화상의 X방향에서의 분할화상에 의한 분할수와 그 제1의 화상의 Y방향에서의 분할화상에 의한 분할수와, 상기 제2의 외접영역화상의 X방향에서의 분할화상의 의한 분할수와, 그 제2의 화상의 Y방향에서의 분할화상에 의한 분할수와, 상기 분할화상의 X방향의 길이와, 그 분할화상의 Y방향의 길이에 근거하여, 상기 제1의 절환순서에 의한 표시절환을 행한 경우의 상기 구동장치에 의한 조사위치이동시간을 연산함과 함께 상기 제2의 절환순서에 의한 표시절환을 행한 경우의 상기 구동장치에 의한 조사위치이동시간을 연산하도록 한 청구의 범위 제14항기재의 마킹장치의 제어장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.