KR960700103A - 액도포 방법 및 도포장치(method of and appartus for application of liquid) - Google Patents

Abstract

본 발명은 LCD 컬러 필터용 대형 유리 기판에 감광성 수지의 도포막을 형성하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 기판(S)은 그 도포되는 주표면을 하향으로 하여 가동 홀더(8)에 흡착 유지된다. 가동 홀더(8)는 수평에 대해 경사각(θ)을 이루는 안내레일(7)에 따라 이동 가능하게 되어 있다. 기판(S)이 홀더(8)에 의해 유지되어 이동하는 영역이 아래 방향중에, 상방으로 향해 도포액을 이송시키는 직선상 슬릿(13)을 가지는 도포헤드(H)가 설치되어 있다.도포헤드(H)와 일정 틈새(I₂)을 갖고 기판(S)이 기울어져 상방으로 이동될 때, 슬릿(13)과 기판(S)이 기울어져 상방으로 이동될 때, 슬릿(13)과 기판(S)의 하향 주표면과의 사이중에 표면 장력에 의해 도포액 비이드(B)가 형성된다. 도포액 비이(B)는 기판의 주표면을 따라 점차 기울어져 아래 방향으로 이동되어 도포(Ra)을 형성한다. 도포액 비이드(B)의 기판(S)의 높은 측에 면한 메니스커스(L₁)보다 큰 높이 치수(h₂)를 가지며, 기판(S)의 높은 측의 메니스커스(L₁)보다 큰 높이 치수(h₂)를 가지며, 기판(S)의 높은 측의 메니스커스의 높이 치수는 액 도포막의 두께보다 충분히 크게 된다. 이것에 의해, 기판면의 요철이 도포액 비이드(B)에 미치는 인장력의 차에 의한 전단력의 발생을 완화하여, 도포액이 높은 이용 효율로 기판 주표면의 요철에 영향을 받지 않는 균일한 도포막이 안정적으로 형성된다.

Description

액도포 방법 및 도포 장치(METHOD OF AND APPARTUS FOR APPLICATION OF LIQUID)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 액 도포 장치의 배치를 나타낸 평면도,

제2도는 제1도의 액도포 장치의 액 도포 유닛을 나타낸 정면도,

제3A도는 제2도의 일부를 나타낸 원리적 설명도,

제3B도는 제3A도의 일부를 확대해서 나타낸 설명도,

제4도는 액도포시의 현상 설명도,

제5도는 액도포 개시시의 상태를 나타낸 도면,

제6도는 액도포시의 상태를 나타낸 도면,

제7도는 액도포 완료시의 상태를 나타낸 도면

제8도는 도포 헤드 일례를 나타낸 사시도.

Claims (26)

1. 수평방향으로 직선상의 도포액 공급수단을 갖는 도포헤드의 상기 도포액 공급 수단으로 부터 도포액을 공급하는 단계; 도포액 공급수단에 인접하여 배치된 기판과의 사이에 선상 또는 띠모양으로 도포액 비이드를 형성시키는 단계; 상기 도포액 비이드를 횡단하는 방향중에 상방을 향해서 기판을 도포액 비이드에 대해 상대적으로 이동시키는 단계; 그리고 상기 도포액 공급 수단으로 부터 도포액을 공급하여 형성된 도포액 비이드를 기판의 상기 상대적 이동에 따라 기판의 도포 주표면에 점차로 접촉시켜 도포 주표면에 도포막을 형성하는 단계들로 이루어진 액 도포 방법에 있어서,도포액 공급 수단을 상향으로 설치하고; 도포 개시전에 실질적으로 평판상의 매엽기판을 경사진 상태로 두고, 그 가장 높은 끝 가장자리 부근의 아래면에 인접하여 상기 도포액 공급 수단이 위치되도록 기판과 도포헤드의 상대 위치를 결정하며; 도포액 공급 수단과 기판 하면과의 사이에 있어서의, 기판의 높은 측에 면한 도포액 비이드의 메니스커스가 기판의 바닥측에 면한 메니스커스 보다 큰 높이 치수를 갖도록 하고; 다음으로, 도포액 비이드가 상기 치수 관계를 유지한 상태에서 판의 바닥 끝 가장자리 근처로 이동하도록 기판과 도포 헤드를 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 액 도포 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 경사진 매엽 기판이 수평에 대해 이루는 경사각을 0°내지 90°의 값으로 함을 특징으로 하는 액 도포 방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 경사각을 5°내지 20°로 함을 특징으로 하는 액 도포 방법.
4. 제2항에 있어서, 상기 경사각을 11°로 함을 특징으로 하는 액 도포 방법.
5. 제1항에 있어서, 도포액이 도포막의 형성을 위해 소비된 시간 당 소비량에 동일하게 시간 당 공급량으로 도포헤드에 공급액을 공급함을 특징으로 하는 액 도포 방법.
6. 제1항에 있어서, 도포액 비이드로 형성된 메니스커스 중에서 경사진 기판의 높은 측에 면한 메니스커스의 높이치수 즉, 기판과 도포헤드의 간극이, 형성된 액 도포막이 두께보다 충분히 크게 되도록 함을 특징으로 하는 액 도포 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 간극이, 형성된 액 도포막 두께의 10배 이상인 것을 특징으로 하는 액 도포 방법.
8. 제6항에 있어서, 상기 간극이, 형성된 액 도포막 두께의 20배 이상인 것을 특징으로 하는 액 도포 방법.
9. 제6항에 있어서, 상기 간극이 형성된 액 도포막 두께의 10배 내에 100배인 것을 특징으로 하는 액 도포 방법.
10. 제6항에 있어서, 상기 간극이, 형성된 액 도포막의 두께의 20배 내지 100배인 것을 특징으로 하는 액 도포 방법.
11. 제1항에 있어서, 도포액 비이드가 기판의 바닥 끝 가장자리 근처의 도포 종료 위치에 도달된 후에, 도포액 비이드를 제거함을 특징으로 하는 도포 방법.
12. 제11항에 있어서, 도포액 비이드의 제거는 흡인에 의해 수행됨을 특징으로 하는 액 도포 방법.
13. 제11항에 있어서, 도포액 비이드의 제거는 추출에 의해 수행됨을 특징으로 하는 액 도포 방법.
14. 수평방향으로 직선상의 도포액 공급수단을 갖는 도포헤드; 상기 도포액을 이송시키는 수단; 및 상기 도포헤드와 기판의 도포 주표면과의 사이에 선상 또는 띠모양의 도포액 비이드가 형성되도록 도포헤드와 기초재를 위치시켜, 둘다를 상대적으로 이송시키는 수단을 갖는 액 도포 장치로서, 상기 도포액 공급수단을 상방으로 도포액을 공급하는 수단; 실질적으로 평판상의 매엽기판을 경사 상태로 하면서 경사 각도 조절 가능하게 또한 기판 하측의 도포주표면이 아래 방향으로 노출되도록 지지하는 기판 지지수단; 및 상기 도포액 비이드의 기판이 높은 측에 면한 메니스커스가 기판의 바닥측에 면한 메니스커스 보다 큰 높이치수를 갖도록 상태를 유지하면서 상기 기판이 높은 끝 가장자리 근처 부분으로 부터 낮은 끝 가장자리 근처 부분으로 기판이 상기 도포헤드의 도포액 공급수단을 횡단하여 상대 이동되도록, 기판과 도포헤드를 상대적으로 이동시키는 이동수단을 갖추는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 도포헤드가 고정되어, 상기 기판 지지 수단이 상기 이동 수단에 의해 도포 헤드에 대해서 이동되는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
16. 제15항에 있어서, 상기 기판 지지 수단이 흡인식 기판 홀더인 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
17. 제16항에 있어서, 상기 홀더가 경사 조절 가능한 직선상 안내 레일에 안내되어 이동 자유롭게 되어 있는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
18. 제17항에 있어서, 상기 홀더가 고정 추축 주위로 반회전 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
19. 제14항에 있어서, 상기 도포헤드가 경사 조절 가능한 직선상 안내레일에 안내되어 이동 자유롭게 되어, 상기 기판 지지 수단이 고정 추축 주위로 회전 운동 자유롭게 되어 있는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
20. 제14항에 있어서 상기 도포액 공급 수단의 길이가 조절 자유롭게 되어 있는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
21. 제14항에 있어서, 상기 도포액 공급 수단의 단면 형상이 상방으로 향하여 확대되어 있는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
22. 제14항에 있어서, 도포액 비이드가 기판의 바닥 끝 가장자리 근처 도포 종료 위치로 도달된 후에 도포액 비이드를 제거하는 수단을 갖추는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
23. 제22항에 있어서, 액 도포 비이드를 제거하는 수단이 도포헤드에 반대방향 흡인력을 작용하는 수단으로부터 되는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
24. 제22항에 있어서, 도포액 비이드를 제거하는 수단이 도포액 비이드를 추출하는 수단으로 부터 되는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
25. 제14항에 있어서, 상기 도포액 공급 수단이 직선상 슬릿인 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.
26. 제14항에 있어서, 도포헤드로 도포액을 이송하는 수단이 도포액을 저장하는 도포액 탱크, 도포액 탱크와 도포헤드를 접속하는 관, 및 도포액 탱크를 도포헤드에 대해 상승시키는 수단으로 부터 되는 것을 특징으로 하는 액 도포 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.