KR960040544A - 레이저 가공장치 - Google Patents

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Abstract

유체압력에 의해 탄성변형가능한 재재질로 된 곡율가변반사경을 공기등의 유체압력에 의해 구면경화하고, 집중광학부품에 입사하는 레이저빔경을 고속도로 단계적으로 혹은 원활하게 변화시키도록 구성한다.
그리고 유체압력을 제어하여, 피가공물의 종류 또는 두께에 따라 단계적으로 또 원활하게 제어함으로서, 항상 최적인 레이저빔경에 의해 가공을 행할 수 있다.

Description

레이저 가공장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명의 실시예 1에 의한 레이저가공장치의 광로구성, 홀더구조 및 배관계통을 나타낸 구성도, 제2도는 이 발명의 실시예 1에 의한 레이저가공장치의 광로구멍 및 배관계통을 나타내는 다른 구성도, 제3도는 이 발명의 실시예 1에 의한 레이저가공장치의 곡율가변반사경홀더에서 배출된 공기를 정화공기로서 사용하는 경우의 배관계통 및 구조를 나타내는 구성도, 제4도는 이 발명의 실시예 1에 의한 레이저가공장치의 가공렌즈의 위치에서, 레이저빔경을 일정하게 하기 위한 제어회로를 나타내는 구성도, 제5도는 이 발명의 실시예 1에 의한 레이저가공장치의 가공렌즈에서 최소집광스봇경까지의 거리의 변환에 합치되게, 가공헤드를 Z축 방향으로 이동을 행하는 제어회로를 나타내는 구성도, 제6도는 이 발명의 실시예 1에 의한 레이저가공장치의 곡율가변반사경홀더에 공급되는 공기압력에 관한 경보회로를 나타내는 구성도, 제7도는 이 발명의 실시예 2에 의한 레이저가공장치의 홀더구조 및 배관계통을 나타내는 구성도.

Claims (16)

  1. 레이저발진기에서 출력되는 레이저빔을 집광광학부재를 이용하여 집광시켜, 절단, 용접등의 가공을 하는 레이저가공장치에 있어서, 레이저빔의 전송로에 구비된 유체압력에 의해 탄성변형하는 레이저빔 반사부재와, 레이wu반사부재의 주위부를 지지하고 레이저빔반사부재와 함께 레이저빔 반사면의 반대측에 공간을 형성하는 반사부재지지부와, 이 반사부재 지지부의 공간에 유체를 공급하는 유체공급수단과, 상기 반사부재지지부의 공간에서 유체를 배출하는 유체배출수단과를 구비하고, 상기 공간은 유체공급경로와 유체배출경로를 제외하고는 밀폐구성으로 하고 레이저빔 반사면에 레이저빔반사부재가 탄성변형하는데 요하는 유체압력을 싣는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  2. 제1항에 있어서, 레이저빔반사부재를 탄성변형하기 위해 공급되는 유체가 유체배출수단에서 배출된 후, 레이저전송로내에 공급되여, 레이저빔 전송로내를 정화하는 정화공기로서 사용됨을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  3. 제1항에 있어서, 가공헤드의 본체 또는 Z축방향으로 이동하기 위해 가공헤드상에 장착된 집광광학부재를 제어하는 수단을 구비함으로 최소집광스폿경의 Z축방향위치를 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  4. 제1항에 있어서, 유체압력에 의해 탄성변형하는 레이저빔 반사부재를 레이저빔전송로내에 복수 구비한 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  5. 제1항에 있어서, 반사부재지지부의 공간에 공급되는 유체의 압력제어시, 공급되는 유체압력을 감시하고, 지령압력치와 소정의 차이가 발생하였을시, 경보를 발하거나 또는 운전을 정지하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  6. 제1항에 있어서, 최적 레이저빔경을 미리 가공조건으로 등록하고, 피가공물의 재질 또는 판두께에 따라 레이저빔을 선택하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  7. 제1항에 있어서, 공급하는 유체압력을 연속적으로 제어하는 유압력제어수단을 구비하고, 레이저빔반사부재의 탄성변형에 의한 곡율을 연속적으로 변화시켜, 집광광학부재에 입사하는 레이저빔경을 연속적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  8. 제7항에 있어서, 가공헤드가 X-Y평면상을 이동하여, 가공을 시행하는 광주사형의 레이저가공을 행하는 경우, 가공헤드에 장착되여 있는 집광광학부재에 입사하는 레이저빔경이 가공헤드의 위치에 관계없이 항상 일정하게 되도록 레이저빔반사부재의 곡율를 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  9. 제7항에 있어서, 유체압력에 의해 탄성변형하는 레이저빔반사부재를 레이저빔전송로내에 복수 구비한 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  10. 제7항에 있어서, 가공조건으로서 최적레이저빔경을 미리 등록하고, 피가공물의 재질 또는 판두께에 따라 레이저빔경을 선택하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  11. 제7항에 있어서, 레이저빔반사부재를 탄성변형하기 위해 공급된 유체를 유체배출수단에서 배출후, 레이저전송로에 공급하여 레이저빔전송로의 내부를 정화하는 정화공기로서 이용함을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  12. 제11항에 있어서, 유체압력에 의해 탄성변형하는 레이저빔 반사부재를 레이저빔전송로내에 복수 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  13. 제11항에 있어서, 가공헤드가 X-Y 평면상을 이동하여 가공을 시행하는 광주사형의 레이저가공을 하는 경우, 가공헤드에 장착된 집광광학부재에 입사하는 레이저빔경이 가공헤드의 위치에 관계없이 항상 일정하게 되도록 레이저빔반사부재의 곡율을 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  14. 제13항에 있어서, 유체압력에 의해 탄성변형하는 레이저빔반사부재를 레이저전송로내에 복수 구비한 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  15. 제13항에 있어서, 가공조건으로서 최적레이저빔경을 미리 등록하고, 피가공물의 재질 또는 판두께에 따라 레이저빔경을 선택하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
  16. 제13항에 있어서, 가공헤드의 본체 또는 가공헤드에 장착된 집광광학부재를 Z축방향으로 이동하도록 제어하는 수단을 구비하고, 최소집광스폿경의 Z축방향위치가 일정하게 되도록 하는 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999058289A1 (fr) * 1998-05-13 1999-11-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Machine a faisceau laser
US6392192B1 (en) 1999-09-15 2002-05-21 W. A. Whitney Co. Real time control of laser beam characteristics in a laser-equipped machine tool
US6128138A (en) * 1999-07-15 2000-10-03 W. A. Whitney Co. Reflective laser collimator
JP2001121278A (ja) * 1999-10-22 2001-05-08 Sumitomo Electric Ind Ltd レーザ切断方法
FR2803918B1 (fr) 2000-01-17 2003-05-16 Commissariat Energie Atomique Dispositif de balayage d'un foyer de faisceau de laser
WO2001074529A2 (en) 2000-03-30 2001-10-11 Electro Scientific Industries, Inc. Laser system and method for single pass micromachining of multilayer workpieces
JP4659300B2 (ja) 2000-09-13 2011-03-30 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法
ATE534142T1 (de) 2002-03-12 2011-12-15 Hamamatsu Photonics Kk Verfahren zum auftrennen eines substrats
DE50209599D1 (de) * 2002-11-29 2007-04-12 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Spiegel einer Laserbearbeitungsmaschine
EP1599757B1 (de) * 2003-02-26 2007-05-30 Universität Bern Verfahren und anordnung zur veränderung einer wellenfront eines optischen strahls
AU2003295382A1 (en) * 2003-11-19 2005-07-14 Picanol N.V. Device for drying at least one yarn
US7060934B2 (en) * 2003-12-04 2006-06-13 Universal Laser Systems, Inc. High resolution laser beam delivery apparatus
ATE416878T1 (de) * 2004-08-06 2008-12-15 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Laserbearbeitungskopf
US6986585B1 (en) * 2004-11-01 2006-01-17 Southeastern Univ. Research Assm Radius of curvature controlled mirror
ATE460248T1 (de) * 2005-02-25 2010-03-15 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Anordnung zur laserbearbeitung, insbesondere zum laserschweissen von 3d-bauteilen, mit einem ersten optischen element zur aufteilung eines laserstrahles und einem zweiten optischen element zur fokusierung der teilstrahlen
CN101208642A (zh) * 2005-06-24 2008-06-25 通快机床两合公司 激光加工机的光学系统的自适应反射镜
CN100496855C (zh) * 2005-08-19 2009-06-10 中国科学院光电技术研究所 精密加工激光切割机
TWI271568B (en) * 2006-01-18 2007-01-21 Micro Star Int Co Ltd Mirror structure and image-taking apparatus
JP2007266387A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Mitsubishi Electric Corp レーザ発振器
DE102007024701A1 (de) * 2007-05-25 2008-11-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Materialabtragung sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
JP2008168352A (ja) * 2008-01-23 2008-07-24 Rezakku:Kk レーザ加工装置の使用方法
US7740362B1 (en) * 2008-02-19 2010-06-22 Jefferson Science Associates Mirror with thermally controlled radius of curvature
ES2375880T3 (es) * 2008-07-30 2012-03-07 Ipg Photonics Corporation Útil de soldadura por l�?ser con un l�?ser de fibra.
EP2684636B1 (en) * 2011-03-08 2017-12-13 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Laser machining device with an optical scanning device
CN103056531A (zh) * 2013-01-14 2013-04-24 苏州领创激光科技有限公司 一种激光切割机自动变焦的方法与装置
DE102013008646B4 (de) * 2013-05-21 2020-06-10 Lt-Ultra Precision Technology Gmbh Adaptiver Spiegel für eine Laserbearbeitungsvorrichtung
US10359603B1 (en) * 2013-08-21 2019-07-23 The Board Of Trustees Of The University Of Alabama, For And On Behalf Of The University Of Alabama In Huntsville Lightweight adaptive metal cooled mirrors
US9360600B2 (en) * 2013-11-20 2016-06-07 Asml Netherlands B.V. System and method for correcting the focus of a laser beam
CN107813060A (zh) * 2016-08-30 2018-03-20 奔腾激光(温州)有限公司 一种光纤激光切割机用反射式切割头及控制方法
KR102263215B1 (ko) * 2016-12-16 2021-06-09 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 형상가변경 및 레이저 가공 장치
JP7285713B2 (ja) * 2019-07-05 2023-06-02 三菱電機株式会社 レーザ加工ヘッド及びレーザ加工装置
CN110842355A (zh) * 2019-11-29 2020-02-28 奔腾楚天激光（武汉）有限公司 一种光纤激光切割机快速换气的装置及控制方法

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS576804A (en) * 1980-06-17 1982-01-13 Toshiba Corp Light reflection method
JPS5954484A (ja) † 1982-09-20 1984-03-29 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ加工機
JPS60187492A (ja) * 1984-02-21 1985-09-24 Mitsubishi Electric Corp レ−ザビ−ムによる加工装置
JPS61159613A (ja) * 1985-01-07 1986-07-19 Kokuritsu Kogai Kenkyusho 反射曲面鏡
JPS61242778A (ja) * 1985-04-18 1986-10-29 アマダ　エンジニアリング　アンド　サ−ビス　カンパニ−　インコ−ポレ−テツド レ−ザ加工装置における加工ヘツド位置制御装置
FR2584824B1 (fr) * 1985-07-10 1987-09-25 Commissariat Energie Atomique Miroir deformable
JPS63146479A (ja) * 1986-07-16 1988-06-18 Amada Co Ltd レ−ザビ−ムの発散角調整方法および装置
JPS63159613A (ja) * 1986-12-23 1988-07-02 Sanshin Ind Co Ltd 水冷エンジン用ポンプのドレン装置
JPH0534860Y2 (ko) * 1987-06-11 1993-09-03
US4837708A (en) * 1987-07-01 1989-06-06 Maraven, S.A. Process and apparatus for determining flow rate of a flow medium in a flow line
JPH01113192A (ja) * 1987-10-23 1989-05-01 Hitachi Ltd レーザ加工機用集光装置
JPH01166894A (ja) * 1987-12-21 1989-06-30 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工機
JPH01219801A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Meitetsuku:Kk 可変焦点式反射鏡
DE3900467C2 (de) † 1989-01-10 1995-09-07 Trumpf Lasertechnik Gmbh Vorrichtung mit einem Spiegelkopf
JPH0351402U (ko) * 1989-09-25 1991-05-20
JPH03128187A (ja) * 1989-10-12 1991-05-31 Yoshizawa Kogyo Kk レーザ切断装置
JPH03174995A (ja) * 1989-12-01 1991-07-30 Amada Co Ltd レーザ加工装置の加工ヘッド
JPH03189089A (ja) * 1989-12-18 1991-08-19 Koike Sanso Kogyo Co Ltd レーザー加工装置
DE4137832A1 (de) * 1991-11-16 1993-05-19 Kugler Gmbh Feinmechanik & Opt Vorrichtung zum lagern einer gesteuert deformierbaren platte geringer dicke, insbesondere eines spiegels als reflektionseinrichtung fuer laserstrahlen o. dgl.
DE9205810U1 (de) * 1992-04-30 1993-08-26 Diehl Gmbh & Co Einrichtung zur Beeinflussung der Fokuslage eines Laser-Bearbeitungskopfes
JPH0736551A (ja) * 1993-07-20 1995-02-07 Smc Corp 電空レギュレータ用圧力制御装置
US5493095A (en) * 1994-02-14 1996-02-20 Data Technology, Inc. Laser beam divergence compensation apparatus
DE9407288U1 (de) * 1994-05-02 1994-08-04 Trumpf Gmbh & Co Laserschneidmaschine mit Fokuslageneinstellung

Also Published As

Publication number Publication date
DE19613252A1 (de) 1996-11-28
JP3138613B2 (ja) 2001-02-26
KR100193952B1 (ko) 1999-06-15
CN1137430A (zh) 1996-12-11
US5889256A (en) 1999-03-30
JPH08318383A (ja) 1996-12-03
TW283107B (en) 1996-08-11
DE19613252C2 (de) 2000-06-15
CN1117648C (zh) 2003-08-13

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