JPS5954484A - レ−ザ加工機 - Google Patents
レ−ザ加工機Info
- Publication number
- JPS5954484A JPS5954484A JP57163376A JP16337682A JPS5954484A JP S5954484 A JPS5954484 A JP S5954484A JP 57163376 A JP57163376 A JP 57163376A JP 16337682 A JP16337682 A JP 16337682A JP S5954484 A JPS5954484 A JP S5954484A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- laser beam
- head
- duct
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/127—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an enclosure
- B23K26/128—Laser beam path enclosures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ加工機、特にレーザ光照射ノズルから照
射されるレーザ光を被加工物に対して走査するこどがで
きるレーザ加工機に．関する。
射されるレーザ光を被加工物に対して走査するこどがで
きるレーザ加工機に．関する。
レーザ光照射ノズルを走査させながらレーザ光を被加工
物に向けて照射し被加工物の加工を行うレーザ加工機が
周知であり、例えば炭酸ガスレーザを使用した炭酸ガス
レーザ加工機として広く使用されている。
物に向けて照射し被加工物の加工を行うレーザ加工機が
周知であり、例えば炭酸ガスレーザを使用した炭酸ガス
レーザ加工機として広く使用されている。
第１図には従来のレーザ加工機が示され、図においてレ
ーザ光１００を被加工物１０に向けて照射するために、
被加工物１０には所定の間隙を隔ててレーザ光収束ヘッ
ド部（以下ヘッド部という）１２が対向配置され、この
ヘッド部１２はレーザ光’１００の照射口となるレーザ
光照射ノズル１４を有している。
ーザ光１００を被加工物１０に向けて照射するために、
被加工物１０には所定の間隙を隔ててレーザ光収束ヘッ
ド部（以下ヘッド部という）１２が対向配置され、この
ヘッド部１２はレーザ光’１００の照射口となるレーザ
光照射ノズル１４を有している。
そして、ヘッド部１２を所定の高さに支持した状態で該
ヘッド部１２を被加工物１０に対して走査させるために
、レーザ加工機は次のようなヘッド駆動機構１６を備え
ている。すなわちヘッド部１２はその上部に設けられた
ヘッド支持機構１８にてボールネジ２０に支持されてお
り、このボールネシ２０を駆動モータ２２にて回転する
ことにより、ヘッド部１２が矢印で示されるように被加
工物１０に対して平行に駆動される。
ヘッド部１２を被加工物１０に対して走査させるために
、レーザ加工機は次のようなヘッド駆動機構１６を備え
ている。すなわちヘッド部１２はその上部に設けられた
ヘッド支持機構１８にてボールネジ２０に支持されてお
り、このボールネシ２０を駆動モータ２２にて回転する
ことにより、ヘッド部１２が矢印で示されるように被加
工物１０に対して平行に駆動される。
また．、レーザ発振機２４から発振されたレーザ光１０
０をレーザ光照射ノズル１４に導くためにレーザ加工機
は次のような機構を備えている。すなわちレーザ発振器
２４から発振されたレーザ光１００は光搬送路機構２６
を介して一旦光中継部２８に供給されたのち、ヘッド部
１２のレーザ光照射ノズル１４に導かれる。上記光搬送
路機構２６および光中継部２８の外周部は、レーザ光１
００が外部に洩れないようにするためにダクト３０、３
２で構成され、ダクト３２にはレーザ発振器２４から発
振されたレーザ光１００をヘッド部１２内へ導くための
ベンドミラー３４ａ、３４ｂ等が内蔵されている。更に
ヘッド部１２には、前記光中継部２８から供給されたレ
ーザ光１００をレーザ光照射ノズル１４へ導くためのベ
ンドミラー３４ｃ及びレーザ光１００を収束するための
集束レンズ３６などが内蔵されている。
０をレーザ光照射ノズル１４に導くためにレーザ加工機
は次のような機構を備えている。すなわちレーザ発振器
２４から発振されたレーザ光１００は光搬送路機構２６
を介して一旦光中継部２８に供給されたのち、ヘッド部
１２のレーザ光照射ノズル１４に導かれる。上記光搬送
路機構２６および光中継部２８の外周部は、レーザ光１
００が外部に洩れないようにするためにダクト３０、３
２で構成され、ダクト３２にはレーザ発振器２４から発
振されたレーザ光１００をヘッド部１２内へ導くための
ベンドミラー３４ａ、３４ｂ等が内蔵されている。更に
ヘッド部１２には、前記光中継部２８から供給されたレ
ーザ光１００をレーザ光照射ノズル１４へ導くためのベ
ンドミラー３４ｃ及びレーザ光１００を収束するための
集束レンズ３６などが内蔵されている。
従って、レーザ発振器２４から弁振されたレーザ光１０
０は、ベンドミラー３４ａ〜３４ｃ、集束レンズ３６な
どの光伝送部３８を介してレーザ光照射ノズル１４から
被加工物１０に向けて照射される。そして、この状態で
ヘット部１２をヘッド駆動機構にて第１図において左右
方向へ駆動することにより、レーザ光１００が被加工物
１０に対して走査され、所望のレーザ加工を行うこどが
できる。
０は、ベンドミラー３４ａ〜３４ｃ、集束レンズ３６な
どの光伝送部３８を介してレーザ光照射ノズル１４から
被加工物１０に向けて照射される。そして、この状態で
ヘット部１２をヘッド駆動機構にて第１図において左右
方向へ駆動することにより、レーザ光１００が被加工物
１０に対して走査され、所望のレーザ加工を行うこどが
できる。
しかしながら、従来のレーザ加工機においては光中継部
２８とヘッド部１２との間には、加工作業中に通過する
レーザ光１００による危険防止のために、簡単なカバー
が取付けられているに過ぎず、このためヘッド部１２、
光中継部２８の内部等に塵埃等が入り易く、内蔵された
バンドミラー３４ａ〜３４ｃ、収束レンズ３６などの表
面に塵埃等が付着し、光伝送部３８の光学的性能を充分
に発揮することができないという欠点があった。
２８とヘッド部１２との間には、加工作業中に通過する
レーザ光１００による危険防止のために、簡単なカバー
が取付けられているに過ぎず、このためヘッド部１２、
光中継部２８の内部等に塵埃等が入り易く、内蔵された
バンドミラー３４ａ〜３４ｃ、収束レンズ３６などの表
面に塵埃等が付着し、光伝送部３８の光学的性能を充分
に発揮することができないという欠点があった。
特にレーザ加工機が塵埃等の多い作業場に設置されてい
る場合、ベンドミラー３４ａ〜３４ｃ、集束レンズ３６
等の表面に付着する塵埃量が多くなり、この結果、レー
ザ光１００の散乱、吸収等が生じ、被加工物１０に照射
されるレーザ光１００が弱められ、充分なレーザ加工を
行うことができないという欠点があった。
る場合、ベンドミラー３４ａ〜３４ｃ、集束レンズ３６
等の表面に付着する塵埃量が多くなり、この結果、レー
ザ光１００の散乱、吸収等が生じ、被加工物１０に照射
されるレーザ光１００が弱められ、充分なレーザ加工を
行うことができないという欠点があった。
このため、ヘッド部１２、光中継部２８等の内部に塵埃
等が入り込まないようにするために、従来第２図で示さ
れるような改良されたレーザ加工機が使用されていた。
等が入り込まないようにするために、従来第２図で示さ
れるような改良されたレーザ加工機が使用されていた。
図において前述した従来例と同一部材には同一符号を付
して説明を省略する。
して説明を省略する。
光中継部２８におけるレーザ光１００の取出口には固定
ダクト４０が固定され、またヘッド部１２におけるレー
ザ光１００の取入口には前記固定ダクト４０の外周ど摺
動する摺動ダクト４２が固定されており、両ダクト４０
、４２間にはＯリング４４が貫入され、光伝送部３８は
密閉状態に保持されている。そして、ヘッド部１２およ
び各ダクト３０、３２、４０、４２で形成された密閉室
内に窒素ガス、乾燥空気等の清浄気体を充填するために
、レーザ加工機は気体封入装置４６を備え、更に密閉室
内の圧力を一定に保持するための圧力調整用バッファー
タンク４８を備えている。
ダクト４０が固定され、またヘッド部１２におけるレー
ザ光１００の取入口には前記固定ダクト４０の外周ど摺
動する摺動ダクト４２が固定されており、両ダクト４０
、４２間にはＯリング４４が貫入され、光伝送部３８は
密閉状態に保持されている。そして、ヘッド部１２およ
び各ダクト３０、３２、４０、４２で形成された密閉室
内に窒素ガス、乾燥空気等の清浄気体を充填するために
、レーザ加工機は気体封入装置４６を備え、更に密閉室
内の圧力を一定に保持するための圧力調整用バッファー
タンク４８を備えている。
従来の改良されたレーザ加工機は以上の構成からなり、
ヘッド部１２が第２図において左右方向へ移動すると、
これに伴なって摺動ダクト４２が固定ダクト４０の外周
面を摺動するので、ヘッド部１２および各ダクト３０、
３２、４０、４２の内部は密閉状態に保持される。上記
ヘッド部１２の移動に住い密閉室内の容積が変動夏する
が、圧力調整用バッファータンク４８が容積変動に応じ
て伸縮するので、密閉室内の清浄気体の圧力は一定に保
持される。
ヘッド部１２が第２図において左右方向へ移動すると、
これに伴なって摺動ダクト４２が固定ダクト４０の外周
面を摺動するので、ヘッド部１２および各ダクト３０、
３２、４０、４２の内部は密閉状態に保持される。上記
ヘッド部１２の移動に住い密閉室内の容積が変動夏する
が、圧力調整用バッファータンク４８が容積変動に応じ
て伸縮するので、密閉室内の清浄気体の圧力は一定に保
持される。
このような装置においては、外部から密閉室内に塵埃等
が入り込むことがなく、ベンドミラー３４ａ〜３４ｃ、
収束レンズ３６等の光伝送部３８は清浄状態に保持され
るので、この光学的性能を充分に発揮することができる
という利点を有している。
が入り込むことがなく、ベンドミラー３４ａ〜３４ｃ、
収束レンズ３６等の光伝送部３８は清浄状態に保持され
るので、この光学的性能を充分に発揮することができる
という利点を有している。
しかしながら、この改良された従来のレーザ加工機にお
いては、前述したよう圧力調製用バッファータンク４８
を設置して密閉な室内の清浄気体の圧力を一定に保持す
る必要があり、このためヘッド部１２の駆動可能範囲が
長くなるに伴い圧力調整用バッファータンク４８の外形
寸法を大きくする必要があり、設置面積が増大するとと
もに構造が複雑化するどいう欠点があった。
いては、前述したよう圧力調製用バッファータンク４８
を設置して密閉な室内の清浄気体の圧力を一定に保持す
る必要があり、このためヘッド部１２の駆動可能範囲が
長くなるに伴い圧力調整用バッファータンク４８の外形
寸法を大きくする必要があり、設置面積が増大するとと
もに構造が複雑化するどいう欠点があった。
本発明は上述した従来の課題に鑑み為されたものであり
、その目的は、圧力調整装置を設置することなく光伝送
部を清浄状態に保持しその光学的性能を充分に発揮する
ことができるレーザ加工機を提供することにある。
、その目的は、圧力調整装置を設置することなく光伝送
部を清浄状態に保持しその光学的性能を充分に発揮する
ことができるレーザ加工機を提供することにある。
上記従来の目的を達成するために木発明は、レーザ光を
被加工物に向けて照射するレーザ光照射ノズルを有する
ヘッド部と、少なくとも一部がダクトにて覆われレーザ
光をレーザ光照用ノズルに導く光伝送部と、ヘッド部を
駆動するヘッド駆動機構とを含むレーザ加工機において
、両端がそれぞれ前記ダクト端部及び固定部に固定され
その中間部に前記ヘッド部を担持しかつ前記ダクトとと
もに光伝送部を密閉状態に保持するジャバラ体を有し、
ダクト及びジャバラ体で形成された密閉室内に清浄気体
を充填し、前記ヘッド部の移動時に各ジャバラ空間で清
浄気体を相互に移動（させ、密閉室内の清浄気体の圧力
を常時一定に保持するこどを特徴する。
被加工物に向けて照射するレーザ光照射ノズルを有する
ヘッド部と、少なくとも一部がダクトにて覆われレーザ
光をレーザ光照用ノズルに導く光伝送部と、ヘッド部を
駆動するヘッド駆動機構とを含むレーザ加工機において
、両端がそれぞれ前記ダクト端部及び固定部に固定され
その中間部に前記ヘッド部を担持しかつ前記ダクトとと
もに光伝送部を密閉状態に保持するジャバラ体を有し、
ダクト及びジャバラ体で形成された密閉室内に清浄気体
を充填し、前記ヘッド部の移動時に各ジャバラ空間で清
浄気体を相互に移動（させ、密閉室内の清浄気体の圧力
を常時一定に保持するこどを特徴する。
以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する。
第３図には本発明に係るレーザ加工機の好適な実施例が
示され、第１図及び第２図で示される従来例と同一部材
には同一符合を付して説明を省略する。
示され、第１図及び第２図で示される従来例と同一部材
には同一符合を付して説明を省略する。
本実施例においては、第２図で示される従来のレーザ加
工機における各ダクト４０、４２及び圧力調整用バッフ
ァータンク４８の両機能を次に説明するようなジャバラ
体５０、５２で兼用している。すなわち本実施例のレー
ザ加工機は端部がそれぞれダクト３２におけるレーザ光
の１００の取出口及ひ固定部５４に固定されたジャバラ
体５０、５２を有し、各ジャバラ体５０、５２の中間部
には前記ヘッド部１２が担持されている。そして、各ジ
ャバラ体５０、５２はヘッド部１２、ダクト３０、３２
とともに光伝送部３８を密閉状態に保持しており、これ
らヘッ一部１２、ダクト３０、３２及びジャバラ体５０
、５２で形成された密閉室内に窒素ガス、乾燥空気等の
清浄気体が充填されている。そして、第３図には詳細に
示されていないがベッド部１２と各ジャバラ体５０、５
２との接続部は．各ジャバラ体５０、５２内充填された
清浄気体がヘッド部１２を介して各ジャバラ室５６、５
８の間で相互に移動するこができるようにこ構成されて
いる。
工機における各ダクト４０、４２及び圧力調整用バッフ
ァータンク４８の両機能を次に説明するようなジャバラ
体５０、５２で兼用している。すなわち本実施例のレー
ザ加工機は端部がそれぞれダクト３２におけるレーザ光
の１００の取出口及ひ固定部５４に固定されたジャバラ
体５０、５２を有し、各ジャバラ体５０、５２の中間部
には前記ヘッド部１２が担持されている。そして、各ジ
ャバラ体５０、５２はヘッド部１２、ダクト３０、３２
とともに光伝送部３８を密閉状態に保持しており、これ
らヘッ一部１２、ダクト３０、３２及びジャバラ体５０
、５２で形成された密閉室内に窒素ガス、乾燥空気等の
清浄気体が充填されている。そして、第３図には詳細に
示されていないがベッド部１２と各ジャバラ体５０、５
２との接続部は．各ジャバラ体５０、５２内充填された
清浄気体がヘッド部１２を介して各ジャバラ室５６、５
８の間で相互に移動するこができるようにこ構成されて
いる。
本発明の実施例は以上の横成からなり、以下にその作用
を説明する。
を説明する。
ヘッド部１２がヘッド駆動機構１６にて（第３図におい
て左方向に駆動されたとすると、ジャバラ室５６の容積
か小さくなり、このジャバラ室５６内の清浄気体の圧力
が増加しようとするが、ヘッド部１２の移動に伴い一方
のジャバラ室５６から他方のジャバラ室５８へ清浄気体
が移動するので、密閉室内の清浄気体の圧力は一定に保
持される。このことは、ヘッド部１２が右方向へ駆動さ
れた揚合も同様である。
て左方向に駆動されたとすると、ジャバラ室５６の容積
か小さくなり、このジャバラ室５６内の清浄気体の圧力
が増加しようとするが、ヘッド部１２の移動に伴い一方
のジャバラ室５６から他方のジャバラ室５８へ清浄気体
が移動するので、密閉室内の清浄気体の圧力は一定に保
持される。このことは、ヘッド部１２が右方向へ駆動さ
れた揚合も同様である。
ごのように本実施例においては、ヘッド部１２、ダクト
３０、３２及びジャバラ体５０、５２により光伝送部３
８が密閉状態に保持されているので、外部から塵埃等が
侵入することがなく、ベンドミラー３４ａ〜３４ｃ、収
束レンズ３６等の光伝送部３８の光学的性能を充分に発
揮することができる。しかし、各ジャバラ体５０、５２
は従来使用されていた圧力調整用バッファータンク４８
としての機能も有しており、本実施例においては、この
ような圧力調整装置を設置する必要がなくなる。
３０、３２及びジャバラ体５０、５２により光伝送部３
８が密閉状態に保持されているので、外部から塵埃等が
侵入することがなく、ベンドミラー３４ａ〜３４ｃ、収
束レンズ３６等の光伝送部３８の光学的性能を充分に発
揮することができる。しかし、各ジャバラ体５０、５２
は従来使用されていた圧力調整用バッファータンク４８
としての機能も有しており、本実施例においては、この
ような圧力調整装置を設置する必要がなくなる。
従って、装置の設置面積が減少するとともに構造が簡素
化され、特に狭い作業場で加工作業を行う場合に作業能
率を向上するこどができる。更に本実茄例においては圧
力調整用バッファータンク４８を設置する必要がないの
で、レーザ加工機の保守が容易となり、また故障などが
少なくなるという利点を有している。
化され、特に狭い作業場で加工作業を行う場合に作業能
率を向上するこどができる。更に本実茄例においては圧
力調整用バッファータンク４８を設置する必要がないの
で、レーザ加工機の保守が容易となり、また故障などが
少なくなるという利点を有している。
なお、前述した実施例においては、２個のジャバラ体５
０、５２によりヘッド部１２を担持するように構成され
ているが、１個のジャバラ体の各端部をダクト３２にお
けるレーザ光１００の取出口及び固定部５４にそれぞれ
固定し、その中間部にヘッド部１２を担持するように構
成したり、或いはヘッド駆動機構１６を同時にジャバラ
体５０、５２の内部に収納するように構成しても、同様
な効果を得ることができる。
０、５２によりヘッド部１２を担持するように構成され
ているが、１個のジャバラ体の各端部をダクト３２にお
けるレーザ光１００の取出口及び固定部５４にそれぞれ
固定し、その中間部にヘッド部１２を担持するように構
成したり、或いはヘッド駆動機構１６を同時にジャバラ
体５０、５２の内部に収納するように構成しても、同様
な効果を得ることができる。
また、ジャバラ体５０、５２の材質はジャバラ室５６、
５８内に充填される清浄気体の圧力に耐えるこどができ
るものであれば良く、更にヘッド駆動機構１６の外周全
体を伸縮自在の鋼板ダクト等で覆い、作業者かヘッド駆
動機構１６の上部を踏む等外部からの圧力に充分耐える
強度をもたすように構成してもよい。
５８内に充填される清浄気体の圧力に耐えるこどができ
るものであれば良く、更にヘッド駆動機構１６の外周全
体を伸縮自在の鋼板ダクト等で覆い、作業者かヘッド駆
動機構１６の上部を踏む等外部からの圧力に充分耐える
強度をもたすように構成してもよい。
更に、前述した実施例においてはヘッド部１２、ダクト
３０、３２及びジャバラ体５０、５２により密閉構造と
されているが、密閉室内の清浄気体の一部を常時外部に
少量排出するように構成すれば、密閉室内の清浄作用が
充分に行われ、またレーザ光１００により発熱したベン
トミラー３４ａ〜３４ｃ、収束レンズ３６等の光伝送部
３８の放熱効果を得ることができる。
３０、３２及びジャバラ体５０、５２により密閉構造と
されているが、密閉室内の清浄気体の一部を常時外部に
少量排出するように構成すれば、密閉室内の清浄作用が
充分に行われ、またレーザ光１００により発熱したベン
トミラー３４ａ〜３４ｃ、収束レンズ３６等の光伝送部
３８の放熱効果を得ることができる。
以上説明した様に本発明によれば、両端がそれぞれダク
ト端部及び固定部に固定されその中間部にヘッド部を担
持し前記ダクトとともに光伝送部を密閉状態に保持する
ジャバラ体を有し、ダクト及びジャバラ体で形成された
密閉室内に消浄気体を充填し、前記ヘッド部の移動時に
各ジャバラ室間で清浄気体を相互に移動させ、密閉室内
の清浄気体の圧力を常時一定に保持するように構成され
ているので、圧力調整装置を設置することなく光伝送部
を清浄状態に保持し、その光学的性能を充分に発揮する
ことができる。
ト端部及び固定部に固定されその中間部にヘッド部を担
持し前記ダクトとともに光伝送部を密閉状態に保持する
ジャバラ体を有し、ダクト及びジャバラ体で形成された
密閉室内に消浄気体を充填し、前記ヘッド部の移動時に
各ジャバラ室間で清浄気体を相互に移動させ、密閉室内
の清浄気体の圧力を常時一定に保持するように構成され
ているので、圧力調整装置を設置することなく光伝送部
を清浄状態に保持し、その光学的性能を充分に発揮する
ことができる。
第１図は従来のレーザ加工機の１例を示す構成図、第２
図は改良された従来のレーザ加工機の１例を示す構成図
、第３図は本発明に係るレーザ加工機の好適な実施例を
示す構成図である。 各図中同一部材には同一符合を付し、１０は被加工物、
１２はレーザ光収束ヘッド部、１６はヘッド駆動機構、
３０、３２はダクト３４ａ〜３４ｃはベンドミラー、３
６は収束レンズ、３８は光伝送部、５０、５２はジャバ
ラ体、５４は固定部、５６、５８はジャバラ室である。
図は改良された従来のレーザ加工機の１例を示す構成図
、第３図は本発明に係るレーザ加工機の好適な実施例を
示す構成図である。 各図中同一部材には同一符合を付し、１０は被加工物、
１２はレーザ光収束ヘッド部、１６はヘッド駆動機構、
３０、３２はダクト３４ａ〜３４ｃはベンドミラー、３
６は収束レンズ、３８は光伝送部、５０、５２はジャバ
ラ体、５４は固定部、５６、５８はジャバラ室である。
Claims (1)
- （１）レーザ光を被加工物に向けて照射するレーザ光照
射ノズルを有するヘッド部と、少なくとも一部がダクト
にて覆われレーザ光をレーザ光照射ノズルに導く光伝送
部と、ヘッド部を駆動するヘッド駆動機構とを含むレー
ザ加工機において、両端がそれぞれ前記ダクト端部及び
固定部に固定されその中間部に前記ヘッド部を担持しか
つ前記ダクトとともに光伝送部を密閉状態に保持するジ
ャバラ体を有し、ダクト及びジャバラ体で形成された密
閉室内に清浄気体を充填し、前記ヘッド部の移動時に各
ジャバラ室間で清浄気体を相互に移動させ、密閉室内の
清浄気体の圧力を常時一定に保持するこどを特徴とする
レーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163376A JPS5954484A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | レ−ザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163376A JPS5954484A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | レ−ザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954484A true JPS5954484A (ja) | 1984-03-29 |
| JPS6211953B2 JPS6211953B2 (ja) | 1987-03-16 |
Family
ID=15772702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57163376A Granted JPS5954484A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | レ−ザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5954484A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60176888U (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-22 | 三菱電機株式会社 | レ−ザ加工装置の光路ダクト |
| JPS615589U (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-14 | 新明和工業株式会社 | レ−ザ加工用ロボツト |
| US5811753A (en) * | 1995-06-19 | 1998-09-22 | Trumpf Gmbh & Co. | Laser machine tool with gas filled beam delivery conduit |
| EP0896851A3 (de) * | 1997-08-13 | 2003-01-22 | Trumpf GmbH & Co | Laserbearbeitungsmaschine mit Gasausgleichsvolumen |
| FR2858474A1 (fr) * | 2003-07-28 | 2005-02-04 | Safmatic | Machine laser a chemin optique equipe d'une chicane de contournement du miroir de renvoi |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6314740U (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-30 | ||
| JP3138613B2 (ja) † | 1995-05-24 | 2001-02-26 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP57163376A patent/JPS5954484A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60176888U (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-22 | 三菱電機株式会社 | レ−ザ加工装置の光路ダクト |
| JPS615589U (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-14 | 新明和工業株式会社 | レ−ザ加工用ロボツト |
| US5811753A (en) * | 1995-06-19 | 1998-09-22 | Trumpf Gmbh & Co. | Laser machine tool with gas filled beam delivery conduit |
| EP0896851A3 (de) * | 1997-08-13 | 2003-01-22 | Trumpf GmbH & Co | Laserbearbeitungsmaschine mit Gasausgleichsvolumen |
| FR2858474A1 (fr) * | 2003-07-28 | 2005-02-04 | Safmatic | Machine laser a chemin optique equipe d'une chicane de contournement du miroir de renvoi |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6211953B2 (ja) | 1987-03-16 |
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