JP3179188B2 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光伝導路の長さの変化
を少なくしたレーザ加工機に関する。
を少なくしたレーザ加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来のレーザ加工機の概要を示す
説明図である。全体を符号１で示すレーザ加工機は、ベ
ッド２上にＸ軸方向に移動するテーブル３を有する。ベ
ッド２上に門型に立設されるコラム５の前面には案内面
６が設けられ、案内面６に対して加工ヘッド１０が摺動
自在に支持される。サーボモータにより駆動される送り
ねじ８は加工ヘッド１０をＹ軸に沿って制御する。コラ
ム５にはレーザ発振器が装備され、レーザ発振器から出
力されたレーザ光は、導光管２０を介してミラー２２へ
送られる。ミラー２２で反射されたレーザ光は、送りね
じ８に平行な導光管２４の一端部に入光する。導光管２
４の他端部は、加工ヘッド１０の上端部に設けられたミ
ラー部２６に連結される。したがって、導光管２４はヘ
ッド１０がＹ軸上を移動するのに伴ない、そのＹ軸移動
のストローク分だけ長さが変化する。ヘッド１０に入光
したレーザ光は、ヘッド１０内の焦点レンズにより集光
される。集光されたビームはノズル１２からテーブル３
上に照射され、テーブル３上のワークを加工する。レー
ザ光は平行光線ではなく、実際には、かなりの拡散光と
なる。そこで、レーザ発振器からヘッド内に配設された
焦点レンズまでの光路長が変化すると、焦点レンズへの
入光ビーム径が変化し、焦点位置がずれてしまう。
説明図である。全体を符号１で示すレーザ加工機は、ベ
ッド２上にＸ軸方向に移動するテーブル３を有する。ベ
ッド２上に門型に立設されるコラム５の前面には案内面
６が設けられ、案内面６に対して加工ヘッド１０が摺動
自在に支持される。サーボモータにより駆動される送り
ねじ８は加工ヘッド１０をＹ軸に沿って制御する。コラ
ム５にはレーザ発振器が装備され、レーザ発振器から出
力されたレーザ光は、導光管２０を介してミラー２２へ
送られる。ミラー２２で反射されたレーザ光は、送りね
じ８に平行な導光管２４の一端部に入光する。導光管２
４の他端部は、加工ヘッド１０の上端部に設けられたミ
ラー部２６に連結される。したがって、導光管２４はヘ
ッド１０がＹ軸上を移動するのに伴ない、そのＹ軸移動
のストローク分だけ長さが変化する。ヘッド１０に入光
したレーザ光は、ヘッド１０内の焦点レンズにより集光
される。集光されたビームはノズル１２からテーブル３
上に照射され、テーブル３上のワークを加工する。レー
ザ光は平行光線ではなく、実際には、かなりの拡散光と
なる。そこで、レーザ発振器からヘッド内に配設された
焦点レンズまでの光路長が変化すると、焦点レンズへの
入光ビーム径が変化し、焦点位置がずれてしまう。
【０００３】図８は焦点レンズ３０に対する入光ビーム
が小径（φ1）のビームＬＢ１から大径（ψ2）のビーム
ＬＢ２に変化した場合の焦点位置Ｓ1、Ｓ2の変化を示
す。小径の入力光ＬＢ１の焦点Ｓ1と大径の入力光ＬＢ
２の焦点Ｓ2の間には距離Ｐ1で示す位置変化が発生して
しまう。レーザ加工においては、ビームの焦点とワーク
との位置関係が加工条件の重要な要因であるので、ヘッ
ドの移動により焦点位置が変化することは望ましくな
い。 図９は、図８のＦ部の拡大図であるが、焦点位置
の変化と同時に、焦点スポット径Ｐ1や焦点深度Ｌ1も変
化してしまう。さらに、レーザエネルギーの分布状態で
あるビームモードも変化してしまい、加工条件が一定と
ならない。特開平４ー２６８１７号公報は、レーザ光路
内にビーム径検出装置を移動自在に設け、その検出結果
に基づいて、コリメートレンズの位置を調節する制御手
段を設けることによりレーザビーム径を安定させる技術
が開示されている。また、特開平３ー２９４０７９号公
報は、加工ヘッドの移動に応じて、光路長を調整する装
置を開示している。
が小径（φ1）のビームＬＢ１から大径（ψ2）のビーム
ＬＢ２に変化した場合の焦点位置Ｓ1、Ｓ2の変化を示
す。小径の入力光ＬＢ１の焦点Ｓ1と大径の入力光ＬＢ
２の焦点Ｓ2の間には距離Ｐ1で示す位置変化が発生して
しまう。レーザ加工においては、ビームの焦点とワーク
との位置関係が加工条件の重要な要因であるので、ヘッ
ドの移動により焦点位置が変化することは望ましくな
い。 図９は、図８のＦ部の拡大図であるが、焦点位置
の変化と同時に、焦点スポット径Ｐ1や焦点深度Ｌ1も変
化してしまう。さらに、レーザエネルギーの分布状態で
あるビームモードも変化してしまい、加工条件が一定と
ならない。特開平４ー２６８１７号公報は、レーザ光路
内にビーム径検出装置を移動自在に設け、その検出結果
に基づいて、コリメートレンズの位置を調節する制御手
段を設けることによりレーザビーム径を安定させる技術
が開示されている。また、特開平３ー２９４０７９号公
報は、加工ヘッドの移動に応じて、光路長を調整する装
置を開示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上に述べた従来のも
のにあっては、レーザビーム径を安定させる為に、コリ
メートレンズ、及びビーム径検出装置を新設したり、ま
たは光路長の変化を排除するために、ミラーやミラー位
置の調整装置等の複雑な機構を必要としていた。そこで
本発明は、レンズやミラーを増設することなく、加工ヘ
ッドの移動による光路長の変化を可及的に小さくする装
置を提供するものである。
のにあっては、レーザビーム径を安定させる為に、コリ
メートレンズ、及びビーム径検出装置を新設したり、ま
たは光路長の変化を排除するために、ミラーやミラー位
置の調整装置等の複雑な機構を必要としていた。そこで
本発明は、レンズやミラーを増設することなく、加工ヘ
ッドの移動による光路長の変化を可及的に小さくする装
置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ加工機に
装備される導光装置は、テーブル中心線上に配設される
入光部と、入光部に連結される第１の旋回装置を備え
る。第１の旋回装置は、長尺の導光管の一端部を旋回自
在に支持し、導光管の他端部は伸縮装置を介して加工ヘ
ッド上に設けた第２の旋回装置に支持される。
装備される導光装置は、テーブル中心線上に配設される
入光部と、入光部に連結される第１の旋回装置を備え
る。第１の旋回装置は、長尺の導光管の一端部を旋回自
在に支持し、導光管の他端部は伸縮装置を介して加工ヘ
ッド上に設けた第２の旋回装置に支持される。
【０００６】
【作用】加工ヘッドはテーブルの移動軸に直交する軸に
沿って移動する。したがって、第１の旋回装置と第２の
旋回装置との間の距離は変化する。そこで、レーザ光の
光路長も変化するが、この変化量は光路長全体に比べて
きわめて小さく、加工条件に影響を与えない。
沿って移動する。したがって、第１の旋回装置と第２の
旋回装置との間の距離は変化する。そこで、レーザ光の
光路長も変化するが、この変化量は光路長全体に比べて
きわめて小さく、加工条件に影響を与えない。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の実施例を示す平面図、図２は
正面図、図３は図２の左側面図である。全体を符号１０
０で示すレーザ加工機は、ベッド１１０上にＸ軸方向に
移動するテーブル１２０を有し、テーブル１２０は上面
にワーク１３０を載置する。ベッド１１０上にはコラム
１５０が立設される。このコラム１５０は、２本の案内
面３３３を介して、加工ヘッド３００のサドル３１０を
摺動自在に支持する。サドル３１０は、サーボモータに
より駆動されるリードスクリュー３３０によりＸ軸に直
交するＹ軸方向に駆動される。
正面図、図３は図２の左側面図である。全体を符号１０
０で示すレーザ加工機は、ベッド１１０上にＸ軸方向に
移動するテーブル１２０を有し、テーブル１２０は上面
にワーク１３０を載置する。ベッド１１０上にはコラム
１５０が立設される。このコラム１５０は、２本の案内
面３３３を介して、加工ヘッド３００のサドル３１０を
摺動自在に支持する。サドル３１０は、サーボモータに
より駆動されるリードスクリュー３３０によりＸ軸に直
交するＹ軸方向に駆動される。
【０００８】ベッド１１０のコラム１５０の後部にはチ
ャンネル材によるフレーム１６０が立設され、フレーム
１６０上にレーザ光発振器２００が配設される。この発
振器２００の両側部のベッド１１０上には、レーザ光発
振器の電源装置２２０とレーザ加工機全体の制御装置を
含む強電盤２１０が配設される。レーザ光発振器２００
から出光されたレーザ光は全体を符号５００で示す導光
装置を介して加工ヘッド３００へ供給される。
ャンネル材によるフレーム１６０が立設され、フレーム
１６０上にレーザ光発振器２００が配設される。この発
振器２００の両側部のベッド１１０上には、レーザ光発
振器の電源装置２２０とレーザ加工機全体の制御装置を
含む強電盤２１０が配設される。レーザ光発振器２００
から出光されたレーザ光は全体を符号５００で示す導光
装置を介して加工ヘッド３００へ供給される。
【０００９】図４は導光装置５００の平面図、図５は側
面図、図６は要部の平面図である。レーザ光発振器２０
０で発振されたレーザ光は入光部５１０から導光装置５
００へ導入される。入光部５１０は箱型のレーザ光発振
器２００の後端部にあって、テーブル１２０の中心線上
に配設される。入光部５１０は垂直にとりつけられた第
１の導光管５２０を備え、レーザ光を上方へ送る。第１
の導光管５２０の上端部はフレキシブルチューブ５２２
を介して第２の導光管５２４の下端部に、Ｖ型シール部
材等によって、外気と導光管内部とを遮断する形で当接
されている。第２の導光管５２４は第１の旋回装置５３
０の中心線上に配設される。
面図、図６は要部の平面図である。レーザ光発振器２０
０で発振されたレーザ光は入光部５１０から導光装置５
００へ導入される。入光部５１０は箱型のレーザ光発振
器２００の後端部にあって、テーブル１２０の中心線上
に配設される。入光部５１０は垂直にとりつけられた第
１の導光管５２０を備え、レーザ光を上方へ送る。第１
の導光管５２０の上端部はフレキシブルチューブ５２２
を介して第２の導光管５２４の下端部に、Ｖ型シール部
材等によって、外気と導光管内部とを遮断する形で当接
されている。第２の導光管５２４は第１の旋回装置５３
０の中心線上に配設される。
【００１０】第１の旋回装置５３０は、フレーム１６０
にとりつけられる外筒部材５３１を有し、外筒部材５３
１の内側にはベアリング５３４を介して内筒部材５３２
が回転自在にとりつけられる。内筒部材５３２の上端部
はフランジ部材５５２に連結される。フランジ部材５５
２は、旋回する第３の導光管５５０の一端部を支持す
る。第３の導光管５５０は長尺の導光管であって、水平
方向に旋回自在に配設される。垂直方向の第２の導光管
５２４と水平方向の第３の導光管５５０の間には第１の
ミラー装置５４０が設けられて、光軸を９０°直角方向
に折り曲げる。
にとりつけられる外筒部材５３１を有し、外筒部材５３
１の内側にはベアリング５３４を介して内筒部材５３２
が回転自在にとりつけられる。内筒部材５３２の上端部
はフランジ部材５５２に連結される。フランジ部材５５
２は、旋回する第３の導光管５５０の一端部を支持す
る。第３の導光管５５０は長尺の導光管であって、水平
方向に旋回自在に配設される。垂直方向の第２の導光管
５２４と水平方向の第３の導光管５５０の間には第１の
ミラー装置５４０が設けられて、光軸を９０°直角方向
に折り曲げる。
【００１１】第３の導光管５５０の他端部５５５は、加
工ヘッド３００を支持するサドル３１０側に設けられる
伸縮装置６００により支持される。伸縮装置６００は、
サドル３１０の上部フレーム３２０に旋回自在にとりつ
けられるベース部材６０５と、ベース部材６０５に植設
される１対のガイド部材６１０を有する。ガイド部材６
１０にはスライドベアリング６２２を介して摺動部材６
２０が摺動自在に支持される。摺動部材６２０は、第３
の導光管５５０の端部５５５を支持する。伸縮装置６０
０の摺動部材６２０とベース部材６０５の間には、伸縮
部材６４０が設けられ、必要に応じて伸縮部材６４０を
支持する支持部材６３０がとりつけられる。
工ヘッド３００を支持するサドル３１０側に設けられる
伸縮装置６００により支持される。伸縮装置６００は、
サドル３１０の上部フレーム３２０に旋回自在にとりつ
けられるベース部材６０５と、ベース部材６０５に植設
される１対のガイド部材６１０を有する。ガイド部材６
１０にはスライドベアリング６２２を介して摺動部材６
２０が摺動自在に支持される。摺動部材６２０は、第３
の導光管５５０の端部５５５を支持する。伸縮装置６０
０の摺動部材６２０とベース部材６０５の間には、伸縮
部材６４０が設けられ、必要に応じて伸縮部材６４０を
支持する支持部材６３０がとりつけられる。
【００１２】サドルの上部フレーム３２０と、伸縮装置
６００のベース部材６０５の間には第２の旋回装置５７
０が設けられる。第２の旋回装置は上部フレーム３２０
とベース部材６０５と一体の内筒５７２の間に配設され
るベアリング５７５を有する。サドル３１０は、上部フ
レーム３２０とともにＹ軸上を移動する。第３の導光管
５５０は、第１の旋回装置５３０を介して旋回するが、
その端部は伸縮装置６００に支持されているので、サド
ルの移動に伴う第１の旋回装置５３０とサドル３１０と
の間の軸間距離の変化は伸縮装置６００により吸収され
る。
６００のベース部材６０５の間には第２の旋回装置５７
０が設けられる。第２の旋回装置は上部フレーム３２０
とベース部材６０５と一体の内筒５７２の間に配設され
るベアリング５７５を有する。サドル３１０は、上部フ
レーム３２０とともにＹ軸上を移動する。第３の導光管
５５０は、第１の旋回装置５３０を介して旋回するが、
その端部は伸縮装置６００に支持されているので、サド
ルの移動に伴う第１の旋回装置５３０とサドル３１０と
の間の軸間距離の変化は伸縮装置６００により吸収され
る。
【００１３】第２の旋回装置５７０の内筒５７２の上部
には、第２のミラー装置５６０が設けられて第３の導光
管５５０から送られてくるレーザ光の光軸を９０°直角
方向に折り曲げる。内筒５７２の下端部にＶ型シール部
材等によって、外気と導光管内部とを遮断する形で当接
されている第４の導光管５８０は、第２のミラー装置５
６０で折り曲げられたレーザ光を加工ヘッド３００のノ
ズル３５０へ供給する。ノズル３５０から照射されるレ
ーザビームは、ワーク１３０に必要な加工を施す。
には、第２のミラー装置５６０が設けられて第３の導光
管５５０から送られてくるレーザ光の光軸を９０°直角
方向に折り曲げる。内筒５７２の下端部にＶ型シール部
材等によって、外気と導光管内部とを遮断する形で当接
されている第４の導光管５８０は、第２のミラー装置５
６０で折り曲げられたレーザ光を加工ヘッド３００のノ
ズル３５０へ供給する。ノズル３５０から照射されるレ
ーザビームは、ワーク１３０に必要な加工を施す。
【００１４】本発明の導光装置５００は以上のように構
成される。図１において、加工ヘッド３００がＹ軸上で
最大距離移動したときの第１の旋回装置５３０の中心
と、第２の旋回装置５７０の中心の間の光路長をＲ1と
し、加工ヘッド３００がテーブル１２０の中心と一致す
るときの光路長をＲ2とする。そして、両光路の交差角
度をθとすると、光路長の差ｒは、 ｒ＝Ｒ1−Ｒ2 ＝Ｒ1−Ｒ1ｃｏｓθ ＝Ｒ1（１−ｃｏｓθ） となる。したがって、従来技術のごとく、加工ヘッドの
Ｙ軸方向移動ストローク分だけ光路長が変化する場合に
比べて全体の光路長の変化は少なくて済み、ノズル３５
０での加工条件の変化は小さい。さらに第３の導光管５
５０の全長を大きくとることにより、旋回角度θも小さ
くなり、光路長の変化をより小さくすることができる。
尚、本実施例に於いては、第１の旋回装置５３０は、テ
ーブル１２０の中心線上で、かつ加工ヘッド３００のＹ
軸方向移動ストロークの半分の位置に配設されている例
が示されているが、これに限定される必要はなく、レー
ザ加工機上の任意の固定部に設けることは可能である
し、さらに第２の旋回装置５７０も、サドル連結部材３
２０上に配設されている例が示してあるが、任意の移動
物体上の任意の位置に設けられても支障がないことは明
らかである。
成される。図１において、加工ヘッド３００がＹ軸上で
最大距離移動したときの第１の旋回装置５３０の中心
と、第２の旋回装置５７０の中心の間の光路長をＲ1と
し、加工ヘッド３００がテーブル１２０の中心と一致す
るときの光路長をＲ2とする。そして、両光路の交差角
度をθとすると、光路長の差ｒは、 ｒ＝Ｒ1−Ｒ2 ＝Ｒ1−Ｒ1ｃｏｓθ ＝Ｒ1（１−ｃｏｓθ） となる。したがって、従来技術のごとく、加工ヘッドの
Ｙ軸方向移動ストローク分だけ光路長が変化する場合に
比べて全体の光路長の変化は少なくて済み、ノズル３５
０での加工条件の変化は小さい。さらに第３の導光管５
５０の全長を大きくとることにより、旋回角度θも小さ
くなり、光路長の変化をより小さくすることができる。
尚、本実施例に於いては、第１の旋回装置５３０は、テ
ーブル１２０の中心線上で、かつ加工ヘッド３００のＹ
軸方向移動ストロークの半分の位置に配設されている例
が示されているが、これに限定される必要はなく、レー
ザ加工機上の任意の固定部に設けることは可能である
し、さらに第２の旋回装置５７０も、サドル連結部材３
２０上に配設されている例が示してあるが、任意の移動
物体上の任意の位置に設けられても支障がないことは明
らかである。
【００１５】
【発明の効果】本発明は以上のように、レーザ加工機の
レーザ光の導光装置にあって、レーザ発振器からのレー
ザビームが供給される入光部をレーザ加工機のベッド端
部のテーブル中心線上に配設してある。そして入光部と
テーブルの中心線に直交するコラム上を案内される加工
ヘッドとの間を導光管で連結してある。導光管の入光部
側は第１の旋回装置に支持されており、一方導光管の加
工ヘッド側は加工ヘッド上部に設けた第２の旋回装置に
支持されており、加工ヘッドがＹ軸方向に移動するにつ
れ、各々の旋回装置の内部において旋回可能なように支
持されている。この構成により、発振器からのレーザ光
は常に導光管の中心軸線に沿って加工ヘッドのノズルま
で伝導される。加工ヘッドがコラム上を移動するのに伴
い、第１の旋回装置と第２の旋回装置との間の軸間距離
は変化する。この変化は伸縮装置により吸収される。軸
間距離の変化に伴いレーザ光の光路長も変化するが、こ
の変化量は光路全長に比べてきわめて小さく、加工条件
に悪影響を与えない。したがって、加工ヘッドのＹ軸上
での全ストロークにあって、均一な加工状態となり、加
工面の粗度等も均一の品質となる。加工状態が一定とな
るので、加工プログラム上で加工条件を補正する等の操
作を必要とせず、発振器の最大能力を利用した加工が達
成できる。
レーザ光の導光装置にあって、レーザ発振器からのレー
ザビームが供給される入光部をレーザ加工機のベッド端
部のテーブル中心線上に配設してある。そして入光部と
テーブルの中心線に直交するコラム上を案内される加工
ヘッドとの間を導光管で連結してある。導光管の入光部
側は第１の旋回装置に支持されており、一方導光管の加
工ヘッド側は加工ヘッド上部に設けた第２の旋回装置に
支持されており、加工ヘッドがＹ軸方向に移動するにつ
れ、各々の旋回装置の内部において旋回可能なように支
持されている。この構成により、発振器からのレーザ光
は常に導光管の中心軸線に沿って加工ヘッドのノズルま
で伝導される。加工ヘッドがコラム上を移動するのに伴
い、第１の旋回装置と第２の旋回装置との間の軸間距離
は変化する。この変化は伸縮装置により吸収される。軸
間距離の変化に伴いレーザ光の光路長も変化するが、こ
の変化量は光路全長に比べてきわめて小さく、加工条件
に悪影響を与えない。したがって、加工ヘッドのＹ軸上
での全ストロークにあって、均一な加工状態となり、加
工面の粗度等も均一の品質となる。加工状態が一定とな
るので、加工プログラム上で加工条件を補正する等の操
作を必要とせず、発振器の最大能力を利用した加工が達
成できる。
【図１】本発明の実施例を示す平面図。
【図２】本発明の実施例を示す側面図。
【図３】図２の左側面図。
【図４】導光装置の平面図。
【図５】導光装置の側面図。
【図６】導光装置の要部の平面図。
【図７】従来の装置を示す斜視図。
【図８】焦点レンズの説明図。
【図９】図８の下部の拡大図。
１００ レーザ加工機 １１０ ベッド １２０ テーブル １３０ ワーク １５０ コラム １６０ フレーム ２００ レーザ発振器 ２１０ 強電盤 ２２０ レーザ発振器電源装置 ３００ 加工ヘッド ３１０ サドル ３５０ ノズル ５００ 導光装置 ５１０ 入光部材 ５３０ 第１の旋回装置 ５５０ 旋回導光管 ５７０ 第２の旋回装置 ６００ 伸縮装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森下 昭夫 愛知県丹羽郡大口町大字小口字乗船１番 地 ヤマザキマザック株式会社本社工場 内 (56)参考文献 特開 平５−8076（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−175022（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−9294（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−295695（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−132785（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23K 26/08 B23K 26/06
Claims (1)
- 【請求項１】 ベッドと、ベッド上を移動するテーブル
と、テーブルの移動軸に直交して配設されるコラムと、
コラム上を移動する加工ヘッドと、ベッドの端部に固定
される箱形のレーザ光の発振器と、発振器と加工ヘッド
を結ぶ導光装置を備えたレーザ加工機であって、導光装
置は箱形のレーザ発振器の後端部に設けられるレーザ光
の入光部と、入光部に設けられる第１の旋回装置と、第
１の旋回装置に一端部が支持されて水平方向に旋回する
長尺の導光管と、加工ヘッドに設けられる第２の旋回装
置と、導光管の他端部と第２の旋回装置を連絡する伸縮
装置を備え、伸縮装置は、加工ヘッドを支持するサドル
の上部フレームに旋回自在にとりつけられるベース部材
と、ベース部材に植設される１対のガイド部材と、導光
管にとりつけられてガイド部材が摺動自在に挿入される
摺動ベアリングと、伸縮部材を備え、加工ヘッドの移動
により伸縮されるレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15163192A JP3179188B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15163192A JP3179188B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | レーザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05337674A JPH05337674A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3179188B2 true JP3179188B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=15522768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15163192A Expired - Fee Related JP3179188B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3179188B2 (ja) |
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1992
- 1992-06-11 JP JP15163192A patent/JP3179188B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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