KR960037184A - 고밀도 ito 소결체 및 그 제조방법과 스퍼터링 타깃 - Google Patents

고밀도 ito 소결체 및 그 제조방법과 스퍼터링 타깃 Download PDF

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Abstract

ITO 소결체는 노듈의 형성이나 입자의 발생을 방지할 수 있도록 준비된다.
ITO 소결체는 인듐, 주석 및 산소로 이루어지며, 평균길이 0.7㎛이하인 보이드크기를 갖는다. 이 ITO 소결체는 산화인듐분말과 산화주석분말과의 혼합분말로부터 형성된 성형체를 실질적으로 산소분위기에서 소결함으로써 제조되며, 이때 혼합분말이 5~15%의 함량범위로 산화주석분말을 함유하며, 산화주석분말은 그 90%이상을 차지하는 입자의 입자크기가 1㎛이하이며, 산화인듐분말과 산화주석분말과의 혼합분말로부터 형성된 성형체를 실질적으로 산소분위기에서 소결함으로써 제조되며, 이때 혼합분말은 1.8g/㎤ 이상의 탭밀도를 가지며, 산화주석분말은 최대입자크기가 1㎛ 이하이며, 메디안직경이 0.4㎛ 이하이다.

Description

고밀도 ITO 소결체 및 그 제조방법과 그 스퍼터링 타깃
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (18)

  1. 실질적으로 인듐, 주석 및 산소로 이루어진 ITO 소결체이며, 그 표면사의 단위면적 중에서 직경법으로 구할 때 평균길이 0.7㎛이하인 보이드 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체.
  2. 제1항에 있어서, ITO 소결체는 7.08g/㎤ 이상의 소결밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체.
  3. 제1항에 있어서, 보이드크기의 최대길이는 직경법으로 구할 때 5.0㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체.
  4. 제2항에 있어서, 보이드크기의 최대길이는 직경법으로 구할 때 5.0㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 ITO 소결체.
  5. 제1항의 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스퍼터링타깃.
  6. 제2항의 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스퍼터링타깃.
  7. 제3항의 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스퍼터링타깃.
  8. 제4항의 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스퍼터링타깃.
  9. 산화인듐분말과 산화주석분말의 혼합분말로부터 형성된 성형체를 산소분위기에서 소결시키는 공정을 포함하여 이루어지며, 여기서 혼합분말이 5~15%의 함량범위로 산화주석분말을 함유하며, 산화주석분말은 그 90%이상을 차지하는 입자가 1㎛이하의 입자크기를 갖는 것을 특징으로 하는 산화인듐-산화주석(ITO) 소결체의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 산화주석분말의 90%이상의 입자가 1㎛ 이하의 크기를 가지며, 산화주석분말의 80%이상의 입자가 0.5㎛ 이하의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법.
  11. 제9항에 있어서, 산화인듐분말의 90%이상의 입자가 1㎛이하의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법.
  12. 제10항에 있어서, 산화인듐분말의 90%이상의 입자가 1㎛이하의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체의 제조방법.
  13. 제9항의 방법에 의해 제조된 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 ITO 스퍼터링타깃.
  14. 제10항의 방법에 의해 제조된 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 ITO 스퍼터링타깃.
  15. 제11항의 방법에 의해 제조된 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 ITO 스퍼터링타깃.
  16. 제12항의 방법에 의해 제조된 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 ITO 스퍼터링타깃.
  17. 산화인듐분말과 산화주석분말과의 혼합분말로부터 형성된 성형체를 산소분위기에서 소결시키는 공정을 포함하여 이루어지는 것이며, 여기서 혼합분말 1.8g/㎤ 이상의 탭밀도를 가지며, 산화주석분말은 최대입자크기가 1㎛ 이하이며, 메디안직경(누적입경분포의 50%에 상당하는 입경)이 0.4㎛ 이하인 입자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 산화인듐-산화주석(ITO)소결체의 제조방법.
  18. ITO 소결체는 산화인듐분말과 산화주석분말과의 혼합분말로부터 형성된 성형체를 산소분위기에서 소결함으로써 제조되며, 여기서 혼합분말 1.8g/㎤ 이상의 탭밀도를 가지며, 산화주석분말은 최대입자크기가 1㎛ 이하이며, 메디안직경(누적입경분포의 50%에 상당하는 입경)이 0.4㎛ 이하인 입자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 ITO 소결체로부터의 ITO 스퍼터링타긱의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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