KR960026057A - 주사형 전자현미경 및 그것을 이용한 시료상 관찰방법 - Google Patents

주사형 전자현미경 및 그것을 이용한 시료상 관찰방법 Download PDF

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Abstract

〔목적〕
저가속전압으로 고분해능 관찰을 행하는 주사형 전자현미경에 있어서, 지료스테이지를 경사지게 하거나 시료에 요철이나 돌기가 있는 경우, 비점수차에 증대를 방지하여 고분해능상 관찰을 행한다.
〔구성〕
대물렌즈(6)의 자극의 전자선 통로부에 일차전자선(4)이 통과할 수 있는 축대칭의 전극(10a,10b)을 설치하고, 대물렌즈(6)를 통과하는 일차전자선의 에너지를 최종 가속전압에 의하여 높게 한다. 시료스테이지(13)는 시료의 경사각도를 검출하는 센서(25)를 구비하고, 시료경사각도가 클 때 제어수단(11)에 의하여 전극(10a)에의 인가전압을 작은 값 또는 제로로 한다.

Description

주사형 전자현미경 및 그것을 이용한 시료상 관찰방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예의 설명도, 제2도는 본 발명의 다른 실시예의 설명도이다.

Claims (15)

  1. 일차전자선을 미세하게 조절하여 시료에 조사하기 위한 접속렌즈계와, 상기 일차전자선을 시료상에서 이차원적으로 주사하기 위한 전자선 편향수단과, 대물렌즈와, 대물렌즈와, 시료를 경사시키는 기구를 구비하는 시료스테이지를 포함하는 주사형 전자현미경에 있어서, 상기 시료스테이지에 경사각도 검출수단을 설치하고, 상기 대물렌즈의 자극의 전자선 통로부에 일차전자선이 통과할 수 있는 축대칭의 전극을 설치하고, 상기 전극에의 인가전압을 상기 경사각도 검출수단의 출력에 의하여 시료스테이지의 경사각도에 연동하여 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 시료스테이지의 경사각도가 소정치를 초과할 때, 상기 전극에의 인가전압을 시료스테이지의 경사각도가 제로일 때의 인가전압보다 작은 소정치 또는 제로로 전환되는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 시료스테이지의 경사각도에 따라 상기 전극에의 인가전압을 연속적으로 변화시키는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  4. 제1항 내지 제3항 중 한개 항에 있어서, 상기 전극에의 인가전압에 연동하여 상기 대물렌즈의 여자전류를 제어하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  5. 제1항 내지 제4항 중 한개 항에 있어서, 상기 전극에의 인가전압에 연동하여 상기 일차전자선의 주사폭을 제어하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  6. 일차전자선을 미세하게 시료에 조사하기 위한 접속렌즈계와, 상기 일차전자선을 시료상에서 이차원적으로 주사하기 위한 전자선편향수단과, 대물렌즈와, 시료를 경사시키는 기구를 구비하는 시료스테이지를 포함하는 주사형 전자현미경에 있어서, 상기 시료스테이지에 경사각도 검출수단을 설치하고, 상기 대물렌즈의 자극의 전자선 통로부에 일차전자선이 통과할 수 있는 축대칭의 전극을 축방향으로 이간시켜 복수개 설치하고, 상기 복수개의 전극 중 시료에 가까운 측의 전극에의 인가전압을 상기 경사각도 검출수단의 출력에 의하여 시료스테이지의 경사각도에 연동하여 제어하는 제어수단과, 시료로부터 먼측의 전극에 정의 일정전압을 인가하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  7. 일차전자선을 미세하게 조절하여 시료에 조사하기 위한 집속렌즈계와, 상기 일차전자선을 시료상에서 이차원적으로 주사하기 위한 전자선 편향수단과, 대물렌즈와, 시료를 경사시키는 기구를 구비하는 시료스테이지를 포함하는 주사형 전자현미경에 있어서, 상기 시료스테이지에 경사각도 검출수단을 설치하고, 상기 대물렌즈의 전자선 통로부에 일차전자선이 통과할 수 있는 축대칭의 전극을 축방향으로 이간시켜 복수개 설치하고, 상기 복수개의 전극 중 시료에 가까운 측의 전극에의 인가전압을 상기 경사각도 검출수단의 출력에 의하여 시료스테이지의 경사각도에 연동하여 제어하는 제1제어수단과, 시료로부터 먼 측의 전극에의 인가전압을 상기 시료에 가까운 측의 전극에의 인가전압에 연동하여 제어하는 제2제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  8. 제6항 또는 7항에 있어서, 상기 복수개의 전극에의 인가전압에 연동하여 상기 대물렌즈의 여자전류를 제어하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  9. 제1항 내지 4항 중 한개 항에 있어서, 상기 복수개의 전극에의 인가전압에 연동하여 상기 일차전자선의 주사폭을 제어하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  10. 제1항 내지 제9항 중 한개 항에 있어서, 상기 대물렌즈는 내측자극이 외측자극보다 시료측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  11. 제1항 내지 제10항 중 한개 항에 있어서, 상기 대물렌즈의 위쪽에 이차전자 검출수단이 위치하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  12. 대물렌즈의 자극의 전자선 통로부에 일차전자선이 통과할 수 있는 축대칭의 전극을 설치하고, 정전압을 인가한 상기 전극을 통과한 일차전자선으로 시료스테이지상에 설치된 시료를 주사하고, 시료에서 발생한 이차전자를 상기 대물렌즈의 위쪽에 설치한 이차전자 검출기로 검출하여 시료상을 형성하는 주사형 전자현미경에 의한 시료상 관찰방법에 있어서, 상기 전극에 인가하는 전압을 시료스테이지의 경사각도에 연동하여 제어하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경에 의한 시료상 관찰방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 시료스테이지의 경사각도가 소정치를 초과할 때 상기 전극에의 인가전압을 시료스테이지의 경사각도가 제로일 때의 인가전압보다 작은 소정치 또는 제로로 전환하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경에 의한 시료상 관찰방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 시료스테이지의 경사각도에 따라 상기 전극에의 인가전압을 연속적으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경에 의한 시료상 관찰방법.
  15. 대물렌즈의 자극의 전자선 통로부에 일차전자선이 통과할 수 있는 축대칭의 전극을 설치하고, 정전압을 인가한 상기 전극을 통과한 일차전자선으로 시료스테이지상에 설치한 시료를 주사하고, 시료에서 발생한 이차전자를 상기 대물렌즈의 위쪽에 설치한 이차전자 검출기로 검출하여 시료상을 형성하는 주사형 전자현미경에 의한 시료상 관찰방법에 있어서, 상기 전극에 인가하는 전압을 시료표면의 요철에 따라 선택하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경에 의한 시료상 관찰방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950058264A 1994-12-28 1995-12-27 주사형전자현미경및그것을이용한시료상관찰방법 KR100384727B1 (ko)

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