KR960024441A - 테스트 헤드를 장치 핸들러에 자동 결합시키는 방법 및 장치 - Google Patents

테스트 헤드를 장치 핸들러에 자동 결합시키는 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자 테스트 헤드와 장치 핸들러의 결합 및 분리를 촉진하는 포지셔너에 관한 것이다. 본 발명의 포지셔너는 제1축 주위로 테스트 헤드가 회전하도록 한다. 포지셔너는 제1축에 수직인 제2축을 따라서 테스트 헤드를 이동시키는 결합 아암 구조를 포함한다. 모터, 센서 및 프로세서를 사용하여, 결합 아암 구조는 전자테스트 헤드와 장치 핸들러를 정확하게 결합시킨다.

Description

테스트 헤드를 장치 핸들러에 자동 결합시키는 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 예시적인 실시예를 도시한 투시도, 제2도는 본 발명의 예시적인 실시예의 일부를 형성하는 갠트리(gantry)를 그 바닥에서 도시한 투시도, 제3도는 크래들 후방(롤 회전에서 나타냄)과 캐리지 베이스 사이의 결합을 도시한 투시도.

Claims (29)

  1. 전자 테스트 헤드를 제1축 주위로 회전시키는 헤드 회전 수단; 상기 회전 수단에 결합된 복수의 아암 구조를 포함하는 수직 이동 수단; 상기 전자 테스트 헤드를 상기 제1축에 직각인 제2축을 따라서 수직으로 이동시키는 중가성 및 감소성 가위형 부재를 형성하기 위한 상기 복수의 아암 구조 중 제2의 아암 구조에 결합된 상기 복수의 아암 구조 중의 제1의 아암 구조; 상기 복수의 아암 구조 중의 상기 제1아암 구조의 작도 방향에 대응하는 신호를 제공하는 상기 복수의 아암 구조 중의 제2아암 구조에 결합된 경사계; 및 상기 테스트 헤드와 장치 핸들러 사이의 거리 측정에 대한 신호를 전환하는 처리 수단으로 이루어짐을 특징으로 하여, 전자 테스트 헤드와 장치 핸들러를 결합 및 분리하는 포지셔너.
  2. 제1항에 있어서, 복수의 정렬 핀이 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러 중의 하나에 고착되고, 복수의 정렬 홀이 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러 중의 다른 하나에 형성되며, 상기 전자 테스트 헤드가 상기 장치 핸들러와 결합하는 경우, 상기 복수의 정렬 핀 각각이 상기 각각의 복수의 정렬 홀의 하나로 연장됨을 특징으로 하는 포지셔너.
  3. 제1항에 있어서, 추가로 상기 전자 테스트 헤드의 표면의 복수의 위치와 상기 장치 핸들러의 표면의 각각의 복수의 위치 사이의 거리를 측정하고 상기 측정 거리에 해당하는 신호를 발생시키는 센서 수단으로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  4. 제3항에 있어서, 상기 센서 수단이 LVDT1, LVDT2, LVDT3 및 LVDT4로 표시되는 4개의 신호를 발생시키며, 상기 각 4개의 신호가 상기 전자 테스트 헤드의 상기 표면 위의 복수의 위치와 상기 각각의 복수의 위치사이의 상기 거리 각각에 해당함을 특징으로 하는 포지셔너.
  5. 제3항에 있어서, 상기 헤드 회전 수단이 상기 제1축 주위로 상기 전자 테스트 헤드를 회전시키며 상기 수직 운동 수단이 상기 센서 수단에 의해 발생된 상기 신호에 반응하는 상기 제2축을 따라서 상기 테스트 헤드를 이동시킴을 특징으로 하는 포지셔너.
  6. 제3항에 있어서, 상기 헤드 회전 수단이 상기 전자 테스트 헤드를 상기제1축 주위로 회전시키며, 상기 수직 운동 수단이 상기 테스트 헤드를 핏치가 다음과 같이 산출되고 : 핏치=〔(LVDT+LVDT3)-(LVDT1+LVDT2〕/2롤이 다음과 같이 산출되는; 롤=〔(LVDT3+LVDT4)-(LVDT1+LVDT2)〕/2 상기 장치 핸들러에 대한 상기 전자 테스트 헤드의 핏치 및 롤에 기초하여 상기 제2축을 따라서 이동시킴을 특징으로 하는 포지셔너.
  7. 제2항에 있어서, 추가로 상기 복수의 정렬 핀 중의 각각의 하나 아래에 각각 위치한 복수의 트랜스듀서로 이루어지며, 상기 복수의 정렬 핀과 상기 복수의 정렬 홀 사이의 오정렬에 의해 상기 트랜스듀서가 상기 오정렬을 나타내는 신호를 발생시킴을 특징으로 하는 포지셔너.
  8. 제1항에 있어서, 추가로 a) 상기 테스트 헤드를 상기 제1축을 따라서 이동시키거나; b) 상기 테스트 헤드를 상기 제2축 주위로 이동시키거나; c) 상기 테스트 헤드를 상기 제1축 및 상기 제2축 모두에 수직인 제3축을 따라서 이동시키거나; d) 상기 테스트 헤드를 상기 제3축 주위로 이동시키거나 하는 적어도 한가지를 위한 이동수단으로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  9. 제1항에 있어서, 상기 헤드 회전 수단 및 상기 수직 운동 수단이 전력 공급됨을 특징으로 하는 포지셔너.
  10. 제3항에 있어서, 상기 센서 수단이 복수의 센서를 포함하며, 추가로 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러가 결합된 상태에서 각각 소정의 신호를 발생시키는 각각의 복수의 센서를 캘리브레이션하기 위한 캘리브레이션 수단으로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  11. 제3항에 있어서, 추가로 상기 정렬 핀 및 상기 정렬 홀 중의 하나를 다른 상기 정렬 핀 및 상기 정렬 홀에 대하여 위치 결정하는 캘리브레이션 고정구로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  12. 제10항에 있어서, 추가로 상기 정렬 핀 및 상기 정렬 홀 중의 하나를 다른 상기 정렬 핀 및 상기 정렬 홀에 대하여 위치 결정하는 캘리브레이션 고정구로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  13. 제3항에 있어서, 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러가 각각의 접촉부를 포함하며, 상기 센서 수단이 복수의 센서를 포함하며, 상기 복수의 센서가 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러 중의 하나에서 각각의 상기 두 개의 접촉부 사이에 위치함을 특징으로 하는 포지셔너.
  14. 제3항에 있어서, 상기 센서 수단이 세 개의 신호를 LVDT1, LVDT2 및 LVDT3으로 발생시키며, 상기 3개의 신호 각각이 상기 전자 테스트 헤드의 상기 표면 위의 상기 복수의 위치와 상기 각 복수의 위치 사이의 상기 거리 중의 각각의 하나에 해당함을 특징으로 하는 포지셔너.
  15. 제14항에 있어서, 상기 수직 운동 수단이 상기 테스트 헤드를 상기 수직 방향으로 이동시키고 상기 헤드 회전 수단이 상기 전자 테스트 헤드를 핏치가 다음과 같이 산출되고 :핏치=(LVDT1+LVDT2-2×LVDT3)/2롤이 다음과 같이 산출되는; 롤=LVDT2-LVDT1 상기 장치 핸들러에 대한 상기 전자 테스트 헤드의 핏치 및 롤에 기초하여 상기 제1축 주위를 회전시킴을 특징으로 하는 포지셔너.
  16. 전자 테스트 헤드를 제1축 주위로 회전시키는 헤드 회전 수단; 상기 전자 테스트 헤드를 상기 제1축에 수직인 제2축을 따라서 수직으로 이동시키는 수직 이동 수단; 상기 전자 테스트 헤드의 표면 위의 복수의 위치와 상기 장치 핸들러의 표면 위의 각각의 복수의 위치 사이의 각 거리를 측정하는 센서 수단; 및 상기 전자 테스트 헤드와 상기 장치 핸들러를 결합시키기 위해 상기 센서 수단에 의해 측정된 상기 각 거리에 반응하여 a) 상기 전자 테스트 헤드를 상기 제1축 주위로 회전시키기 위해 상기 헤드 회전 수단에 신호를 주고, b) 상기 전자 테스트 헤드를 상기 제2축을 따라서 이동시키기 위해 상기 수직 이동 수단에 신호를 주는 수단으로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  17. 제16항에 있어서, 복수의 정렬 핀이 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러 중의 하나에 고착되고, 복수의 정렬 홀이 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러 중의 다른 하나에 형성되며, 상기 전자 테스트 헤드가 상기 장치 핸들러와 결합하는 경우, 상기 복수의 정렬 핀 각각이 상기 각각의 복수의 정렬 홀의 하나로 연장됨을 특징으로 하는 포지셔너.
  18. 제16항에 있어서, 상기 센서 수단이 LVDT1, LVDT2, LVDT3 및 LVDT4로 표시되는 4개의 신호를 발생시키며, 상기 각 4개의 신호가 상기 전자 테스트 헤드의 상기 표면 위의 복수의 위치와 상기 각각의 복수의 위치사이의 상기 거리 각각에 해당함을 특징으로 하는 포지셔너.
  19. 제18항에 있어서, 상기 헤드 회전 수단이 상기 전제 테스트 헤드를 상기 제1축 주위로 회전시키며, 상기 수직 운동 수단이 상기 테스트 핏치가 다음과 같이 산출되고 : 핏치=〔(LVDT2+LVDT3)-(LVDT1+LVDT2)〕/2롤이 다음과 같이 산출되는; 롤=〔(LVDT3+LVDT4)-(LVDT1+LVDT2)〕/2 상기 장치 핸들러에 대한 상기 전자 테스트 헤드의 핏치 및 롤에 기초하여 상기 제2축을 따라서 이동시킴을 특징으로 하는 포지셔너.
  20. 제16항에 있어서, 추가로 상기 복수의 정렬 핀 중의 각각의 하나 아래에 각각 위치한 복수의 트랜스듀서로 이루어지며, 상기 복수의 정렬 핀과 상기 복수의 정렬 홀 사이의 오정렬에 의해 상기 트랜스듀서가 상기 오정렬을 나타내는 신호를 발생시킴을 특징으로 하는 포지셔너.
  21. 제1항에 있어서, 추가로 a) 상기 테스트 헤드를 상기 제1축을 따라서 이동시키거나; b) 상기 테스트 헤드를 상기 제2축 주위로 이동시키거나; c) 상기 테스트 헤드를 상기 제1축 및 상기 제2축 모두에 수직인 제3축을 따라서 이동시키거나; d) 상기 테스트 헤드를 상기 제3축 주위로 이동시키거나 하는 적어도 한가지를 위한 이동수단을 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  22. 제16항에 있어서, 상기 센서 수단이 복수의 센서를 포함하며, 추가로 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러가 결합된 상태에서 각각 소정의 신호를 발생시키는 각각의 복수의 센서를 캘리브레이션하기 위한 캘리브레이션 수단으로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  23. 제16항에 있어서, 추가로 상기 정렬 핀 및 상기 정렬 홀 중의 하나를 다른 상기 정렬 핀 및 상기 정렬 홀에 대하여 위치 결정하는 캘리브레이션 고정구로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  24. 제22항에 있어서, 추가로 상기 정렬 핀 및 상기 정렬 홀 중의 하나를 다른 상기 정렬 핀 및 상기 정렬 홀에 대하여 위치 결정하는 캘리브레이션 고정구로 이루어짐을 특징으로 하는 포지셔너.
  25. 제17항에 있어서, 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러가 각각의 접촉부를 포함하며, 상기 센서 수단이 복수의 센서를 포함하며, 상기 복수의 센서가 상기 전자 테스트 헤드 및 상기 장치 핸들러 중의 하나에서 각각의 상기 두 개의 접촉부 사이에 위치함을 특징으로 하는 포지셔너.
  26. 제17항에 있어서, 상기 센서 수단이 세 개의 신호를 LVDT1, LVDT2 및 LVDT3으로 발생시키며, 상기 3개의 신호 각각이 상기 전자 테스트 헤드의 상기 표면 위의 상기 복수의 위치와 상기 각 복수의 위치 사이의 상기 거리 중의 각각의 하나에 해당함을 특징으로 하는 포지셔너.
  27. 제26항에 있어서, 상기 수직 운동 수단이 상기 테스트 헤드를 상기 수직 방향으로 이동시키고 상기 헤드 회전 수단이 상기 전자 테스트 헤드를 핏치가 다음과 같이 산출되고 :핏치=(LVDT1+LVDT2-2×LVDT3)/2롤이 다음과 같이 산출되는; 롤=LVDT2-LVDT1 상기 장치 핸들러에 대한 상기 전자 테스트 헤드의 핏치 및 롤에 기초하여 상기 제1축 주위를 회전시킴을 특징으로 하는 포지셔너.
  28. 테스트 헤드를 서로에 대해서 각도를 이루는 상기 테스트 헤드 및 장치 핸들러 중의 하나 위에 위치한 복수의 센서가 상기 테스트 헤드와 상기 장치 핸들러 사이의 각각의 거리를 표시할 때까지 상기 장치 핸들러 쪽으로 이동시키는 단계; 상기 테스트 헤드 표면 및 상기 장치 핸들러 표면이 평행해지도록 상기 테스트 헤드의 상기 표면과 상기 장치 핸들러의 상기 표면 사이의 상기 각도를 변화시키도록 상기 테스트 헤드를 이동시키는 단계; 및 상기 테스트 헤드를 상기 제1접촉 수단 및 상기 제2접촉 수단이 결합하도록 상기 장치 핸들러 쪽으로 이동시키는 단계로 이루어짐을 특징으로 하여 테스트 헤드의 표면에 장착된 제1접촉 수단을 장치 핸들러의 표면에 장착된 제2접촉 수단과 결합시키도록 포지셔너 시스템을 이용하는 방법.
  29. 평면의 캘리브레이션 고정구를 제공하는 단계; 상기 캘리브레이션 고정구가 상기 복수의 센서 주위에 직접 연장되도록 상기 캘리브레이션 고정구의 상기 표면을 상기 접촉부 위에 놓는 단계; 및 상기 캘리브레이션 고정구를 접촉시키고 테스트 헤드와 장치 핸들러 사이의 결합을 지시하는 각 캘리브레이션 신호를 발생시키도록 상기 복수의 센서 각각을 조절하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하여, 장치 핸들러에 결합된 전자 테스트 헤드에 장착되고, 상기 테스트 헤드의 표면 위의 복수의 위치와 상기 장치 핸들러의 표면 위의 각각의 복수의 위치 사이의 각 거리를 결정하는 복수의 센서를 캘리브레이션하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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