KR960019426A - 전자 방출 소자, 전자원 및 화상 생성 장치의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 한쌍의 소자 전극과 전기 전도성 박막을 갖고 있는 전자 방출 소자, 이러한 전자 방출 소자를 구비한 전자원 및 이러한 전자원을 구비한 화상 생성 장치를 제조하는 방법을 제공하는데 있다.

본 발명에 따른 방법은 전기 전도성 박막을 변화시키는 단계와, 전기 전도성 박막에 전류를 흐르게 하는 단계를 포함한다.

Description

전자 방출 소자, 전자원 및 화상 생성 장치의 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제4도는 본 발명에 따른 방법으로 제조된 표면 전도형 전자 방출 소자의 전자 방출 성능을 측정하는데 사용될 수 있는 계측 시스템의 개략적인 회로도,

제5도는 본 발명에 따른 방법으로 제조된 표면 전도형 전자 방출 소자의 소자 전압 Vf와 소자 전류 If 및, 소자 전압 Vf의 방출 전류 Ie간의 전형적인 관계를 나타내는 그래프,

제6도는 본 발명의 방법에 따라 제조된 단순 매트릭스형의 전자원에 대한 개략 평면도,

제7도는 본 발명에 따른 방법으로 제조된 단순 매트릭스형의 전자원을 갖는 표시 패널을 부분 절단한 개략 사시도.

Claims (26)

1. 한쌍의 전극과, 상기 전극 간에 위치되는 전자 방출 영역을 포함한 전기 전도성 박막을 구비하는 전자 방출 소자를 제조하는 방법에 있어서, 상기 전자 방출 영역은, 상기 전기 전도성 박막 중 일부 영역의 조성물을 변화시키는 단계와, 상기 전기 전도성 박막에 전류를 흐르게 하는 단계에 의해 형성되어지는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막에 금속 영역과 상기 금속의 산화물인 다른 영역을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막 내의 금속 영역 부분을 산화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 금속 영역 부분을 산화시키는 상기 단계는 금속 영역 부분을 산화 분위기 중에서 가열시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 가열 단계는 상기 전기 전도성 박막을 광으로 조사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
6. 제4항에 있어서, 상기 가열 단계는 상기 전기 전도성 박막에 전류를 흐르게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
7. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부 영역의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막 내의 금속 산화물 영역 부분을 환원시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 금속 산화물 영역 부분을 환원시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막의 금속 산화물 영역 부분을 전자 빔으로 조사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
9. 제7항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 금속 산화물 영역 부분을 환원시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막의 금속 산화물 영역 부분을 불활성 기체 또는 환원 기체 중에서 광에 의해 조사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
10. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부 영역의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 유기 금속 화합물로 이루어진 막에 금속 영역과 상기 금속의 산화물인 다른 영역을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 유기 금속 화합물로 이루어진 막에 금속 영역과 상기 금속의 산화물인 다른 영역을 형성하는 상기 단계는 유기 금속 화합물로 이루어진 상기 막을 대기 또는 산소 중에서 상시 유기 금속 화합물을 금속으로 전환시키는 온도 이상과 상기 유기 금속 화합물을 금속 산화물로 전환시키는 온도 이하로 유지시키고 상기 유기 금속 화합물 영역을 자외선에 의해 조사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
12. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부 영역의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 금속과 반도체의 혼합물 영역과 상기 금속의 산화물과 상기 반도체의 혼합물인 다른 영역을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
13. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부 영역의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막에 금속과 반도체의 혼합물 영역 부분을 산화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 금속과 반도체의 혼합물 영역 부분을 산화시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막 중 금속과 반도체의 혼합물 영역 부분을 산화 분위기 중에서 가열시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
15. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부 영역의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막 중 금속 산화물과 반도체의 혼합물 영역 부분을 환원시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
16. 제15항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 금속 산화물과 반도체의 혼합물 영역 부분을 환원시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막 중 금속 산화물과 반도체의 혼합물 영역 부분을 가열시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
17. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부 영역의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 금속 영역과 상기 금속의 질화물인 다른 영역을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
18. 제1항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 일부 영역의 조성물을 변화시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막 중 금속 영역 부분을 질화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
19. 제18항에 있어서, 상기 전기 전도성 박막 중 금속 영역 부분을 질화시키는 상기 단계는 상기 전기 전도성 박막 중 금속 영역 부분을 가열시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
20. 제1 내지 19항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 표면 전도형 전자 방출 소자인 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자의 제조 방법.
21. 한쌍의 소자 전극 간에 전자 방출 영역을 각각 갖고 기판 상에 배열되어 있는 다수의 전자 방출 소자를 구비한 전자원을 제조하는 방법에 있어서, 상기 전자 방출 소자들은 제1 내지 19항 중의 어느 한 항에 따른 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 전자원 제조 방법.
22. 제21항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 표면 전도형 전자 방출 소자인 것을 특징으로 하는 전자원 제조 방법.
23. 한쌍의 소자 전극 사이에 전자 방출 영역을 각각 갖고 기판 상에 배열되어 있는 다수의 전자 방출 소자를 구비한 전자원과, 상기 전자원으로부터 방출된 전자 빔에 의해 조사됨으로써 화상을 생성시키는 화상 생성 부재를 포함하는 화상 생성 장치를 제조하는 방법에 있어서, 상기 전자 방출 소자들은 제1 내지 19항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 화상 생성 장치의 제조 방법.
24. 제23항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 표면 전도형 전자 방출 소자인 것을 특징으로 하는 화상 생성 장치의 제조 방법.
25. 제23항에 있어서, 상기 화상 생성 부재는 형광체인 것을 특징으로 하는 화상 생성 장치의 제조 방법.
26. 제24항에 있어서, 상기 화상 생성 부재는 형광체인 것을 특징으로 하는 화상 생성 장치의 제조 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.