KR950034406A - 정전 척 및 웨이퍼 사이의 전류 정전기력을 제거하는 디척킹 전압 결정 방법 - Google Patents

정전 척 및 웨이퍼 사이의 전류 정전기력을 제거하는 디척킹 전압 결정 방법 Download PDF

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딩 지안
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제임스 조셉 드롱
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Abstract

정전 척및 웨이퍼 사이의 잔류 정전기력을 제거하는 디척킹 전압 결정방법.
＜공개를 위한 요약＞
본 발명은 척으로 부터 웨이퍼를 제거하기 위하여 정전 척에서 웨이퍼 상의 잔류 정전기력을 상쇄하기 위한 최적 디척킹 전압을 결정하며, 척에 정전 전위를 공급함으로써 정전 척 상에 웨이퍼를 조정하는 것을 포함하며, 웨이퍼와 척 사이에 기체를 삽입하고, 척의 정전 전위를 감소하면서 웨이퍼와 척 사이로 부터 기체의 누설율을 조사하며, 그 누설율이 미리 결정된 문턱값을 넘어설 때 얻어지는 정전 전위값을 최적 디척킹 전압으로 기록하는 방법의 실시예이다.

Description

정전 척 및 웨이퍼 사이의 전류 정전기력을 제거하는 디척킹 전압 결정 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명을 실행하기 위한 장치를 포함하는 플라즈마 반응로의 단순 개략도.

Claims (61)

  1. 척으로부터 웨이퍼를 제거하기 위하여 정전 척에 있는 웨이퍼상의 잔류 정전기력을 상쇄시키기 위한 최적 디척킹 전압 결정 방법에 있어서, 상기 척에 정전 전위를 공급함으로써 상기 정전 척 상에 상기 웨이퍼를 고정하는 단계; 상기 웨이퍼와 상기 척 사이에 기체를 삽입하는 단계; 상기 웨이퍼와 상기 척 사이로부터 상기 기체의 누설율을 조사하면서 상기 척의 상기 정전 정위를 감소시키는 단계; 및 상기 누설율이 미리 결정된 문턱값을 넘을 때 얻어지는 상기 정전 전위의 값을 상기 최적 디척킹 전압으로 기록하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 누설율을 조사하는 단계가 상기 기체의 유동율의 현재 값과 상기 정전 전위가 감소하는 단계보다 먼저 측정된 상기 기체의 유동율 값을 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 정전 전위의 감소 단계가 이산적인 간격으로 수행되며, 누설율을 조사하는 단계가 매 단계마다 반복되는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 미리 결정된 문턱값이 상기 웨이퍼가 상기 정전 척 상에서 뜨기 시작하는 점에 대응하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 문턱값이 거의 25%정도인 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 결정 방법에 알맞은 압력으로 상기 웨이퍼와 상기 척 사이에 상기 기체를 유지하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 압력이 거의 4토르 정도인 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 미리 결정된 문턱값이 거의 25%정도인 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  9. 제3항에 있어서, 상기 간격들이 상기 정전 전위에서 거의 50볼트 정도로 매번 감소하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  10. 제9항에 있어서, 감소 단계에 앞서, 상기 정전 전위가 약 천에서 몇 천 볼트 사이의 범위에 있는 초기값을 갖는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 기체가 비활성 기체를 포함하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  12. 제2항에 있어서, 상기 웨이퍼와 상기 척 사이에 기체를 압입하기 전에 상기 유동율을 측정하는 것을 더 포함하며, 조사 간격은 다음 식에 따라 얻어지며: (Fnew-Finitial)/(Finitial-F0) 이때 Finitial은 감소 단계보다 먼저 조사된 초기 유동율이고, Fnew는 감소 단계동안 측정된 유동율이며 F0는 상기 웨이퍼와 상기 척 사이에 기체를 압입하기 전에 측정된 유동율인 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 척이 상기 정전 전위가 공급되는 척 전극과 상기 척 전극 및 상기 웨이퍼 사이에 절연층을 포함하며, 상기 잔류 정전기력은 상기 웨이퍼에서 상기 절연층에 트랩된 전기 전하로부터 발생하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 방법.
  14. 정전 척으로 부터 웨이퍼를 디척킹 하는 방법에 있어서, 상기 척에 정전 전위를 공급함으로써 상기 정전척 상에 상기 웨이퍼를 고정하는 단계; 상기 웨이퍼와 상기 척 사이에 기체를 삽입하는 단계; 상기 웨이퍼와 상기 척 사이로부터 상기 기체의 누설율을 조사하면서 상기 척의 상기 정전 전위를 감소시키는 단계; 상기 누설율이 미리 결정된 문턱값을 넘어설 때 얻어지는 상기 정전 전위의 값을 최적 디척킹 전압으로 기록하는 단계; 및 상기 기록 단계 동안 그것으로 부터 기록된 값으로 상기 정전 전위를 되돌려주며 상기 척으로부터 상기 웨이퍼를 기계적으로 리프팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 웨이퍼가 상기 정전 척 상에서 고정되는 동안 상기 기록 단계가 상기 웨이퍼의 플라즈마-증대된 처리 과정 수행에 뒤따르는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 누설율을 조사하는 단계가 상기 기체의 유동율의 현재값과 상기 정전 전위가 감소하는 단계보다 먼저 측정된 상기 기체의 유동율값을 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  17. 제14항에 있어서, 상기 정전 전위의 감소 단계가 이산적인 간격으로 수행되며, 누설율을 조사하는 단계가 매 단계마다 반복되는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  18. 제14항에 있어서, 상기 미리 결정된 문턱값이 상기 웨이퍼가 상기 정전 척상에서 뜨기 시작하는 점에 대응하는 것을 특징으로 하는 정전척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  19. 제14항에 있어서, 상기 문턱값이 거의 25%정도인 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  20. 제14항에 있어서, 상기 결정 방법을 위해 적당한 압력에서 상기 웨이퍼와 상기 척 사이에 상기 기체를 유지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 압력이 거의 4토르 정도인 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 미리 결정된 문턱값이 거의 25%정도인 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  23. 제16항에 있어서, 상기 간격들이 상기 정전 전위에서 거의 50볼트 정도로 매번 감소되는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  24. 제23항에 있어서, 감소되는 단계보다 먼저, 상기 정전 전위가 약 천 볼트에서 몇 천 볼트 사이의 법위에 있는 초기값을 갖는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  25. 제14항에 있어서, 상기 기체가 비활성 기체를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  26. 제16항에 있어서, 상기 웨이퍼와 상기 척 사이에 기체를 압입하기 전에 상기 유동율을 측정하는 것을 더 포함하고, 조사 간격은 다음 식에 따라 수행되며 (Fnew-Finitial)/(Finitial-F0) 이때 Finitial은 감소 단계보다 먼저 조사된 초기 유동율이고, Fnew는 감소 단계동안 측정된 유동율이며 F0는 상기 웨이퍼와 상기 척 사이에 기체를 압입하기 전에 측정된 유동율인 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 웨이퍼 디척킹 방법.
  27. 척으로부터 웨이퍼를 제거하기 위하여 정전 척에시 웨이퍼상에 잔류 정전기력을 상쇄하기 위한 최적 디척킹 전압을 결정하는 장치에 있어서, 상기 웨이퍼를 상기 척에 고정하기에 충분한 초기값의 정전 전위를 상기 척에 공급하기 위한 가변 전력 공급기; 상기 웨이퍼와 상기 척 사이의 기체의 압력을 조절하고 상기 웨이퍼와 상기 척 사이로 부터 상기 기체의 누설율을 표시하는 질량 흐름 제어기; 상기 웨이퍼와 상기 척 사이로부터 상기 기체의 누설율을 조사하면서 상기 척의 상기 정전 전위를 감소시키고 상기 누설율이 미리 결정된 문턱값을 넘어설 때를 결정하기 위한 척 제어기; 및 상기 누설율이 미리 결정된 문턱값을 넘어설 때 얻어진 상기 정전 전위의 값을 상기 최적 디척킹 전압으로 기록하기 위해 상기 척 제어기에 응답하는 메모리를 포함하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  28. 제27항에 있어서, 상기 척 제어기가 상기 기체의 현재 유동율 값과 상기 정전 전위를 감소하는 단계보다 먼저 측정된 상기 기체의 유동율 값을 비교함으로써 상기 누설율이 미리 결정된 문턱값을 넘어설 때를 결정하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  29. 제27항에 있어서, 상기 척 제어기가 이산적인 간격으로 상기 정전 전위를 감소시키기 위한 수단을 포함하며, 상기 척 제어기가 매 간격마다 상기 누설율을 조사하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  30. 제27항에 있어서, 상기 미리 결정된 문턱값이 상기 웨이퍼가 상기 정전 척 상에 뜨기 시작하는 점에 해당하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  31. 제27항에 있어서, 상기 문턱값이 거의 25%정도인 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  32. 제27항에 있어서, 상기 질량 흐름 제어기가 상기 결정 장치를 위해 적당한 압력에서 상기 웨어퍼와 상기척 사이의 상기 기체를 유지하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  33. 제32항에 있어서, 상기 압력이 거의 4토르 정도인 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  34. 제33항에 있어서, 상기 미리 결정된 문턱값이 거의 25%정도인 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  35. 제28항에 있어서, 상기 간격이 상기 정전 전위에서 거의 50볼트 정도로 매번 감소되는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  36. 제35항에 있어서, 상기 정전 전위가 약 천 볼트에서 몇 천 볼트 사이의 범위에 있는 초기값을 갖는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  37. 제27항에 있어서, 상기 기체가 비활성 기체를 포함하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  38. 제27항에 있어서, 상기 척이 상기 정전 전위가 공급되기 위한 척 전극 및 상기 척 전극과 상기 웨이퍼 사이에 절연층을 포함하며, 상기 잔류 정전기력이 상기 웨이퍼로에서 상기 절연층에 트랩된 전기적 전하로 부터 발생하는 것을 특징으로 하는 최적 디척킹 전압 결정 장치.
  39. 진공 처리 환경에서, 정전 척으로 부터 워크피스를 제거하는 방법에 있어서, 척이 유전체 요소 및 제1정전기력을 갖는 척에 워크피스를 정전기적으로 접촉시키기 위해 제1전압을 가할 수 있는 적어도 하나의 전극을 포함하며, 그 척이 그것을 통과하는 기체 통로를 더 포함하며, 그 워크피스가 정전인력에 의해 척에 고정되는 동안 워크피스와 척 사이의 기체 통로를 통해 열 전달 기체를 제공하는 단계; 통로에 열 전달 기체의 공급을 최소화하는 동안, 제1전압보다 크기는 작고 상기 제1전압ㅈ과 동일한 극성의 제2전압을 전극에 인가하고, 상기 제1정전기 인력 보다 작지만 척력보다는 큰 제2정전기 인력으로 귀착되는 전압이 열 전달 기체에 의해 워크피스 상에 정상적으로 가해지는 단계; 그리고 그 이후에 척으로 부터 워크피스를 물리적으로 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  40. 제39항에 있어서, 웨이퍼와 척 사이로부터 기체의 누설율을 모니터링하며 하나 또는 그 이상의 미리 결정된 누설율 레벨과 같은지를 비교하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  41. 제40항에 있어서, 웨이퍼가 열 전단 기체의 영향하에서 받침대 상에 뜨기 시작하도록 하기 위하여 상기 누설 레벨은 감소된 크기를 갖는 상기 더 작은 정전기 인력에 해당하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  42. 제41항에 있어서, 제2전압이 상기 더 작은 정전기 인력을 생성하기 위한 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  43. 제40항에 있어서, 웨이퍼를 받침대 상에 뜨기 시작하도록 허용할 수 있는 감소된 크기의 제2정전기력을 생성하는 제2전압을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  44. 제43항에 있어서, 시험용 워크피스가 상기 제2전압값을 결정하기 위해 상기 모니터링, 비교 및 선택단계를 사용하여 처리되고, 처리된 워크피스는 하나 또는 그 이상의 상기 모니터링, 비교 및 선택 단계가 없이 처리되는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  45. 제44항에 있어서, 시험용 워크피스를 사용하여 얻어진 제2전압의 값을 기억하고, 처리된 워크피스를 위한 상기 제2전압으로 상기 기억된 값을 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  46. 제39항에 있어서, 상기 제2전압이 전극에 인가되는 동안 워크 피스가 척으로 부터 제거되는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  47. 제39항에 있어서, 열 전달 기체가 미리 선택된 압력에서 공급되는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  48. 제39항에 있어서, 웨이퍼가 받침대 상에 뜨기 시작하는 것을 허용하는 크기를 갖는 제2전압을 선택하는 단계; 및 그 선택된 제2전임값을 고정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  49. 제39항에 있어서, 상기 선택 단계가 다수의 처리된 제1워크피스에 대해서 수행되며, 그것에 의해 선택된 제2전압 값이 그 이후로부터 상기 복수개의 잔여분을 위한 상기 제2전압으로 사용되는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  50. 진공 처리 환경에서, 척이 유전체 요소 및 제1정전기력을 가진 척에 워크피스를 정전기적으로 접촉하기 위해 제1전압을 공급할 수 있는 적어도 하나의 전극을 포함하며, 그 척은 전극을 통과하는 기체 통로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법에 있어서, 워크피스가 정전기 인력에 의해 척에 고정되는 동안 워크피스와 척 사이의 기체 통로를 통해 열 전달 기체를 공급하는 단계; 통로에 열 전달 기체의 공급을 최소화하면서, 제1전압보다 크기가 작은 제2전압을 전극에 인가하여, 만약 기체가 공급된다면 열 전달 기체의 누설율이 미리 결정된 레벨을 넘어서는 진공처리 환경을 허용하도록 정전기 인력을 감소시키는 단계; 그리고 그 후에 척으로 부터 웨이퍼를 물리적으로 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  51. 제50항에 있어서, 공급하는 단계가 미리 선택된 압력에서 상기 기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  52. 제50항에 있어서, 상기 제2전압이 상기 제1전압과 동일한 극성인 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  53. 제50항에 있어서, 웨이퍼와 척 사이로부터 기체의 누설율을 모니터링하고 미리 결정된 하나 또는 그 이상의 누설율 레벨과 동일한지 비교하는 단계를 더 포함하는것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  54. 제53항에 있어서, 웨이퍼가 열 전달 기체의 영향하에서 받침대상에 뜨기 시작하도록 허용하기 위하여 상기 누설 레벨이 감소된 크기를 갖는 상기 더 작은 정전기 인력에 해당하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  55. 제54항에 있어서, 제2전압이 상기 더 작은 정전기력을 생성하기 위한 크기인 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  56. 제53항에 있어서, 웨이퍼가 받침대상에 뜨기 시작하도록 허용하는 감소된 크기의 제2정전기력을 생성하 위해 제2전압을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  57. 제56항에 있어서, 시험용 워크피스가 상기 제2전압의 값을 결정하기 위해 모니터링, 비교 및 선택하는 상기 단계를 사용하여 처리되며, 그 이후 워크피스는 하나 또는 그 이상의 상기 모니터링, 비교 및 선택 단계없이 처리되는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  58. 제57항에 있어서, 시험용 워크피스를 사용하여 얻어진 제2전압값을 기억하고, 그 이휴의 워크피스에 대해 상기 제2전압으로 상기 기억된 값을 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  59. 제50에 있어서, 전극에 상기 제2전압이 인가되는 동안 워크피스가 척으로 부터 제거되는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  60. 제50에 있어서, 웨이퍼가 받침대상에 뜨기 시작하도록 허용하는 크기의 제2전압을 선택하는 단계; 및 그렇게 선택된 제2전압 값을 고정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
  61. 제50에 있어서, 복수의 제1워크피스를 위해 수행된 상기 선택 단계가 처리되고, 그 이후에 그것에 의해 선택된 제2전압의 값이 상기 다수개의 잔여분을 위한 상기 제2전압으로 사용되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척으로 부터 워크피스 제거 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950010292A 1994-04-28 1995-04-28 정전 척 및 웨이퍼 사이의 전류 정전기력을 제거하는 디척킹 전압 결정 방법 KR950034406A (ko)

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