KR950033490A - 프로우브 장치 - Google Patents

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KR950033490A
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도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
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Abstract

프로우브 장치는, 웨이퍼를 테스트하기 위한 테스트부와, 웨이퍼를 출납하기 위한 개구를 측면부에 구비하고, 웨이퍼를 유지하기 위한 홈이 내면에 형성되고, 그 바닥부로부터 아래쪽으로 돌출하는 볼록형상 부재를 구비한 카세트와, 웨이퍼가 실질적으로 수평이 되도록 카세트가 얹어놓이는 카세트 얹어놓는 대와, 이 카세트 얹어놓는 대 위에 돌출하여 설치되고, 카세트의 볼록형상 부재가 빠지는 오목부를 가지는 유지부재를 가지며, 볼록형상 부재를 오목부이외의 유지부재에 맞닿게 하였을 때의 카세트내의 웨이퍼가 비스듬히 기울고, 볼록형상 부재를 오목부에 들어가게 하였을 때는 카세트내의 웨이퍼가 실질적으로 수형하게 되고, 이 결과, 카세트가 테스트부에 대하여 위치결정된다.

Description

프로우브 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 관계된 프로우브장치의 개요를 나타낸 부분단면도, 제2도는, 제1실시예의 카세트 얹어놓은 대 및 웨이퍼 카세트를 나타낸 사시도.

Claims (20)

  1. 기판을 테스트하기 위한 테스트부와, 기판을 출납하기 위한 개구를 측면부에 구비하고, 기판을 유지하기 위한 홈이 내면에 형성되고, 그 바닥부로부터 아래쪽으로 돌출하는 볼록형상 부재를 구비한 카세트와, 기판이 실질적으로 수평이 되도록 카세트가 얹어 놓이는 카세트 얹어놓는 대와, 이 카세트 얹어놓는 대 위에 돌출하여 설치되고, 상기 카세트의 볼록형상 부재가 빠져드는 오목부를 가지는 유지부재를 가지며, 상기 볼록형상 부재를 상기 오목부 이외의 유지부재에 맞닿게 하였을 때는 카세트내의 기판이 비스듬히 기울고, 볼록형상 부재를 오목부에 들어가게 하였을 때는 카세트내의 기판이 실질적으로 수평이 되고, 이 결과, 카세트가 테스트부에 대하여 위치결정되는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  2. 제1항에 있어서, 유지부재는 원활한 곡면으로 이루어진 가이드부를 가지며, 이 가이드부에 볼록형상 부재를 접촉시키면서 카세트를 유지부재에 따라서 이동시키고, 볼록형상 부재를 오목부에 들어가게 하는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  3. 제1항에 있어서, 유지부재는 카세트 얹어놓는 대의 폭방향 중앙부에 카세트의 이동방향에 따라서 이어져 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  4. 제1항에 있어서, 또, 얹어놓인 카세트의 개구가 윗방향이 되도록 카세트 얹어놓는 대를 경사시키는 경사수단을 더욱 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  5. 제1항에 있어서, 또, 카세트는 카세트를 지지하기 위한 다리부를 가지며, 이 다리부는 상기 볼록형상 부재를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  6. 제1항에 있어서, 유지부재는 상부에 둥근 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  7. 제1항에 있어서, 볼록형상 부재는, 카세트의 한 끝단부로부터 다른 끝단부까지 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  8. 제1항에 있어서, 유지부재는 직렬로 이간하여 배열된 제1부재와 제2부재로 이루어지고, 오목부는 이들 제1 및 제2부재의 상호간에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  9. 제8항에 있어서, 볼록형상 부재는 평행한 3개의 가늘고 긴 각을 가진 봉으로 이루어지고, 가늘고 긴 각을 가진 봉의 상호간거리(L2)는 상기 제1 및 제2부재의 길이(L1)보다 큰 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  10. 기판을 테스트하기 위한 테스트부와, 테스트할 기판을 카세트로부터 꺼내는 로드수단과, 이 로드수단에 의해서 꺼내어진 기판이 통과하는 스페이스를 가로지르는 광축을 가지는 센서와, 이 센서로부터의 광검출신호에 의거하여 기판의 사이즈를 구하는 연산수단과 구한 기판 사이즈에 의거하여 기판을 테스트부에 대하여 위치맞춤하는 얼라이먼트수단과, 테스트를 끝낸 기판을 테스트부로부터 카세트로 되돌리는 언로드수단을 가지는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  11. 제10항에 있어서, 센서는 발광소자와 수광소자를 가지며, 이들 발광소자와 수광소자는 얼라이먼트수단의 근방에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  12. 제10항에 있어서, 로드수단은 기판을 지지하기 위한 제1아암부를 가지고, 언로드수단은 기판을 지지하기 위한 제2아암부를 가지며, 이들 제1 및 제2아암부는 센서의 광축을 차단하지 않도록 절결부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  13. 제12항에 있어서, 제1아암부는 제2아암부 보다도 윗쪽에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  14. 제10항에 있어서, 센서는 여러개의 발광소자 및 여러개의 수광소자를 가지며, 또한, 각 발광소자로부터 출력되는 빛을 변환수단을 가지는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  15. 제10항에 있어서, 로드수단은 기판을 일정속로도 반송하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  16. 제10항에 있어서, 로드수단은 제1레벨구동기구를 가지며, 언로드수단은 제2레벨구동기구를 가지는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  17. 제16항에 있어서, 제1벨트구동기구는, 제2벨트구동기구와는 독립하여 구동되게 되어 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  18. 제10항에 있어서, 또, 기판을 로드/언로드하는 위치에서, 카세트개구의 직전을 가로지르는 광축을 가지는 제2센서를 더욱 가지며, 이 제2센서에 의해서 카세트내로부터의 기판이 튀어나오는 것을 검지하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  19. 기판을 테스트하기 위한 테스트부와 테스트할 기판을 카세트로부터 꺼내는 로드수단과, 이 로드수단에 의해서 꺼내진 기판이 통과하는 스페이스를 가로지르는 광축을 가지는 제1센서와, 이 제1센서로부터의 광검출신호에 의거하여 기판의 사이즈를 구하는 연산수단과, 구한 기판사이즈에 의거하여 기판을 테스트부에 대하여 위치맞춤하는 얼라이먼트수단과, 테스트를 끝낸 기판을 테스트부로부터 카세트로 되돌리는 언로드수단과, 기판을 로드/언로드하는 위치에서, 카세트개구의 직전을 가로지른 광축을 가지는 제2센서를 가지며, 이 제2센서에 의해서 카세트 내로부터의 기판이 튀어나옴을 검지하는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
  20. 제19항에 있어서, 제2센서의 광축과 얼라이먼트수단의 중심과의 상호간거리 (P)를 일정하게 하고, 로드수단은, 기판을 일정속도(V)로 반송하게 되어 있고, 연산수단은, 카세트로부터 꺼내어지는 기판이 제2센서의 광축을 가로지르는 시간을 게측하고, 이 계측시간(T)과 상기 반송속도(V) 및 거리(P)에 의거하여 기판의 센터를 얼라이먼트수단의 센터에 서로 겹치게 하는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950012842A 1994-05-23 1995-05-23 프로우브 장치 KR100213991B1 (ko)

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