JPH02333A - 半導体ウエハ測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は半導体ウェハ測定方法に関する。

（従来の技術） 半導体ウェハ測定装置例えばウエハプローバはウェハキ
ャリア内に収納されたウェハを一枚づつ取り出し、測定
後ウェハカセットにウェハを収納するシステムになって
いる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながらウェハの集積度が高くなったため。

電極パッド間隔や電極パッド面積が狭くなり、ブロービ
ング工程時のオーバドライブ量によって電極パッドから
プローブ針先が離脱して測定している場合がある。この
ような測定においては、−枚のウェハ中の不良チップの
発生率が異常に多く発生する。

本発明は上記点に対処してなされたもので、測定済みウ
ェハ中、再度測定を必要とするウェハを選択的に取出す
ことができるようにした半導体ウェハ測定装置を提供す
るものである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は測定済みウェハが収納された収納箱から上記測
定結果に基づき再度測定を所望するウェハを選択的に取
り出し、再度測定するようにした半導体ウェハ測定装置
を特徴としている。

（作　用） この発明は収納箱に収容された各ウェハの測定結果に基
づいて再度測定する必要性のあるウエハを抜き取りテス
トできる機能を備えさせたことにより、不適正な測定条
件による不良の発生を防止し、歩留りを向上させ、特に
高集積ＩＣのテストに極めて有効である。

（実施例） 次に本発明方法の実施例を説明する。

半導体ウェハを測定装置により測定した後収納箱に収納
する。この収納箱の任意の位置にあるウェハ例えば、収
納箱の中間にある測定不良の比較的多いウェハを再度測
定しようとするときは、不良のウェハのみを選択して取
出し測定する。

このウェハを選択的に取出す手段を次に説明する。

スタート・スイッチａの操作時に記憶手段ｇは、選択手
段すを介してウェハ位置検出器ｅからの情報をもとに、
アドレスを指定手段ｆで収納箱内にあるウェハ位置を定
める。

取出し制御手段Ｃ（ウェハを収納箱から取出す手段。）
と収納制御手段ｄ（取出しアームに載っているウェハを
収納箱に収納する手段、）は、前記記憶手段ｇと取出し
ウェハ位置と収納ウェハ位置によりアドレスｍｎが決め
られ、そこから読み出された位置決め情報を保持すると
共に位置決め情報により各駆動装置（ウェハ取出し収納
装置りのパルスモータ−１及びエレベータ−の上昇時の
パルスモータ−、）に必要な情報を決定する。

ウェハ取出し収納装置りのパルスモータ−とエレベータ
−駆動装置ｉは取出し制御装置手段Ｃ１又は収納制御手
段ｄからの情報に基づき位置決めを行い、ウェハの取出
し、収納を行う。

検出手段ｊは毎回ウェハがどこに置かれているかの情報
により選択手段すに供給され、それによリウエハを取り
出すのか、ウェハを収納箱に収納するのか選択する。こ
の発明を実施する具体例を図に基づいて説明する。

第３図、第４図は収納箱に入っているウェハ位置を検出
する手段を説明する。

発光素子７から発射する光ビーム１９は、ハーフミラ６
を通過し、反射鏡３で反射したビーム１９がもとの光軸
を通ってハーフミラ６に戻り、受光素子８に入射される
ようにエレベータ−に取り付けておき、本体１に対して
平行にエレベータ−が上下稼動するようにしておく、下
から上にエレベータ−をスキャンすることで、収納箱内
のウェハ４でビーム１９に強弱がつき、受光素子８の微
電流の変化が生じることによりウェハの位置を読み、Ｒ
ＡＭに記憶させる。

第５図において、まず個々の部品の関係を示す。

エレベータ−２に発光素子７と受光素子８とハーフミラ
６が取り付けられ、そのエレベータ−２が本体１に対し
て平行に上下運動をするように作られており、発光素子
７からのビーム１９が本体１側に取り付けられである。

エレベータ−２は、パルスモータ−１１によりボールス
クリューを介して上昇又は降下する。

ウェハと取出アームの駆動に関しては、パルスモータ−
１３の回転によりベルト１４，１５を介して、取出アー
ム９をＢ点から収納箱５のウェハの中心まで移動するこ
とができるように設定されている。

第６図は、ウェハを取出すためにウェハとウェハの中間
に取出アーム９が挿入する。

次に操作例を説明する。

指定されたウェハを取出す時は、すでに収納箱内のウェ
ハ位置状態を前記のウェハ位置検出器にて検出し、ＲＡ
Ｍに記憶されているのでＣＰＵのデータを電流に変換し
、前記電流でパルスモータ−１１を回転し、ボールスク
リュー１２を介してエレベータ−２をウェハを取出す位
置まで上昇させる。この時は、収納箱のウェハと取出し
アームの上面の関係はウェハより少しさがった位置に取
出しアームの上面があり、挿入してもウェハと干渉する
ことなく、取出しアームの中心とウェハの中心が合うま
で挿入する。挿入が終了後、ＣＰＵの指令により取出し
アームの上面がウェハを取出す時に脱落を防止するため
に、バキュームで吸着するように穴が設けられている。

バキュームでウェハを吸着し、ウェハで取出しアームの
上面の穴をふさぐため穴の圧力が低くなり、吸着したこ
とをバキュームセンサーが感知してバキュームスイッチ
が働き、ＣＰＵに情報が伝達され、ＣＰＵはウェハ取出
しアームの移動を指令することによりパルスモータ−１
３を逆に回転して、取出しアーム９をＢ点位置まで運ぶ
、取出しアームが基準の高さの位置まで位置するように
エレベータ−２が移動する。その後取出しアーム９のバ
キュームを解除する。Ｂ点に位置している固定ピンがバ
キュームで上昇して、ウェハは固定ピンで持ち上げられ
基準の位置にセットすることになる。この時は固定ピン
の上面にバキュームが働いており、ウェハを吸着してい
る。

指定された場所にウェハを収納する時は、固定ピンが取
出しアーム９より下に下がることにより、取出しアーム
９にバキュームが働きウェハを吸着するためバキューム
スイッチが働きＣＰＵに伝達され、ＣＰＵはパルスモー
タ−１１の電流を制御し、指定された場所まで取出しア
ーム９を自動的に移動させる。この時は、前記のウェハ
を取出す時のウェハと取出しアームの高さの相対関係の
位置とはまったく違った位置であり、すなわち収納箱の
ポケットの中間にウェハが挿入できる高さまで取出しア
ーム９を移動させる。この位置の算出はフローチャート
１２と１３により行う。

第２図はマイクロコンピュータに関する説明。

Ａは１ボードの中にＣＰＵ、　ＲＯＭ、　ＲＡＭ入出力
ポート等を含む、いわゆるワンボードマイクロコンピュ
ータでＣＰＩＪに８０８５．　ＲＯＭ、　ＲＡＭ入出力
ポートを合わせて６４にバイトで構成される。このマイ
クロコンピュータの中のＲＯＭには第７図、第８図、お
よび第９図のフローチャートが示すプログラムが記憶さ
れている。　　ＲＡＭには下図で示すようにウェハの位
置が記憶される。

【図面の簡単な説明】

第７図、第８図及び第９図は第１図のマイクロコンピュ
ータのＲＯＭに記憶させるプログラムを示すフローチャ
ートである。 ・ステップω〜に）検出手段 ・ステップ■■０■（１４）　　選択手段・ステップ■
■（１２）　（１３）　（１４）収納制御手段・ステッ
プ（２４）〜（２８）記憶手段・ステップ（２６）　　
　　　アドレス手段・ステップ（１０）〜（１６）取出
し制御手段第１図は、この発明方法の実施例を説明する
ための半導体ウェハ測定装置におけるウェハ取出し装置
の構成図、第２図は第１図のマイクロコンピュータの構
成を示す機構図。第３図及び第４図は、第１図のウェハ
の位置検出の説明図、第５図及び第６図は、第１図のウ
ェハを取出す機構の斜視図である。 １・・・本体 ３・・・反射鏡 ５・・・収納箱 ７・・・発光素子 ２・・・エレベータ− ４・・・ウェハ ６・・・ハーフミラ− ８・・・受光素子 ９・・・取出しアーム　１０・・・ガイドシャフト１１
・・・パルスモータ−（エレベータ−上下駆動用）１２
・・・ボールスクリュー １３・・・パルスモータ−（取出しアーム駆動用）１４
・・・プーリー　　　１５・・・ベルト１６・・・ガイ
ドシャフト 特許出願人　東京エレクトロン株式会社Ａマ 、Ｘ 第 図 ；Ｔ り 図 狛 図 第 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハの収納された収納箱からウェハを一枚づつ取り出
   し測定して、測定後収納箱に収納する半導体ウェハの測
   定方法において、測定後のウェハが収納された収納箱か
   ら再測定が必要なウェハを取り出し再測定することを特
   徴とする半導体ウェハ測定方法。