JPH04340250A - ウエハキャリッジの位置決め装置 - Google Patents
ウエハキャリッジの位置決め装置Info
- Publication number
- JPH04340250A JPH04340250A JP3031553A JP3155391A JPH04340250A JP H04340250 A JPH04340250 A JP H04340250A JP 3031553 A JP3031553 A JP 3031553A JP 3155391 A JP3155391 A JP 3155391A JP H04340250 A JPH04340250 A JP H04340250A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carriage
- protrusion
- wafer
- insertion groove
- carriage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims abstract description 25
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 19
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
る半導体ウエハキャリッジの位置決め装置に関する。
る半導体ウエハキャリッジの位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造過程において、半導体
のウエハはウエハキャリッジに装着して搬送ロボットな
どによって搬送されるが、ウエハキャリッジは搬送ロボ
ットに固定された固定治具に設けられた嵌合溝にウエハ
キャリッジの底面または側面に設けられた突出部を隙間
のないように嵌合して位置決めされて、工程間の搬送途
中に搬送ロボットから外れないようにしていた。
のウエハはウエハキャリッジに装着して搬送ロボットな
どによって搬送されるが、ウエハキャリッジは搬送ロボ
ットに固定された固定治具に設けられた嵌合溝にウエハ
キャリッジの底面または側面に設けられた突出部を隙間
のないように嵌合して位置決めされて、工程間の搬送途
中に搬送ロボットから外れないようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ウエハは高
温に加熱されており、ウエハキャリッジはウエハからの
熱を受けて歪みが生じ、処理温度の異なる製造工程に搬
送された場合、とくに歪みが大きいときはウエハキャリ
ッジの突出部と固定治具の嵌合溝との挿入や脱出の操作
ができなくなり、次の工程にウエハキャリッジを装着で
きなくなるという欠点があった。本発明は、ウエハキャ
リッジに熱による歪みが発生しても無理な力が加わらな
いように位置決めすることを目的とするものである。
温に加熱されており、ウエハキャリッジはウエハからの
熱を受けて歪みが生じ、処理温度の異なる製造工程に搬
送された場合、とくに歪みが大きいときはウエハキャリ
ッジの突出部と固定治具の嵌合溝との挿入や脱出の操作
ができなくなり、次の工程にウエハキャリッジを装着で
きなくなるという欠点があった。本発明は、ウエハキャ
リッジに熱による歪みが発生しても無理な力が加わらな
いように位置決めすることを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体のウエ
ハを保持するウエハキャリッジを搬送装置に固定された
固定治具に位置決め保持するウエハキャリッジの位置決
め装置において、前記ウエハキャリッジにほぼＨ字形の
直交する部分と平行な部分を有する突起部を設け、前記
固定治具に前記突起部の幅より僅かに広い挿入溝を設け
、前記突起部を前記直交する挿入溝と平行する挿入溝に
沿って設けたクランプ部およびストッパ部により案内し
、かつ前記挿入溝の一方側に圧縮バネによりクランプ部
に設けた爪部を介して前記突起部を押しつけるようにし
たものである。
ハを保持するウエハキャリッジを搬送装置に固定された
固定治具に位置決め保持するウエハキャリッジの位置決
め装置において、前記ウエハキャリッジにほぼＨ字形の
直交する部分と平行な部分を有する突起部を設け、前記
固定治具に前記突起部の幅より僅かに広い挿入溝を設け
、前記突起部を前記直交する挿入溝と平行する挿入溝に
沿って設けたクランプ部およびストッパ部により案内し
、かつ前記挿入溝の一方側に圧縮バネによりクランプ部
に設けた爪部を介して前記突起部を押しつけるようにし
たものである。
【０００５】
【作用】ウエハキャリッジを固定治具に固定する場合、
突起部の平行部に挿入される部分の、一方はストッパ部
の先端に案内され、他方はクランプ部の爪部の上面の角
部を滑って爪部の先端に案内されて挿入される。突起部
はストッパ部と反対側に圧縮バネの圧縮力で押しつけら
れるので、ウエハキャリッジはストッパ部と爪部により
保持される。また、突起部の直角部に挿入される部分は
、爪部の上部の角部を滑り、先端に案内されて挿入され
る。突起部は爪部によって切欠き部に向かって押しつけ
られるので、ウエハキャリッジは切欠き部の両端と爪部
とにより、圧縮バネの圧縮力で挟まれて保持される。
突起部の平行部に挿入される部分の、一方はストッパ部
の先端に案内され、他方はクランプ部の爪部の上面の角
部を滑って爪部の先端に案内されて挿入される。突起部
はストッパ部と反対側に圧縮バネの圧縮力で押しつけら
れるので、ウエハキャリッジはストッパ部と爪部により
保持される。また、突起部の直角部に挿入される部分は
、爪部の上部の角部を滑り、先端に案内されて挿入され
る。突起部は爪部によって切欠き部に向かって押しつけ
られるので、ウエハキャリッジは切欠き部の両端と爪部
とにより、圧縮バネの圧縮力で挟まれて保持される。
【０００６】
【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の実施例を示す図２の■−■断面に沿う平
断面図、図２は図１の■−■断面に沿う要部側断面図で
、ウエハキャリッジ１は半導体のウエハを多数間隔をあ
けて挿入する保持棚１１が設けられ、底面１２にはほぼ
Ｈ字形で、直交する部分を有する突起部１３が設けられ
ている。一方、図示しない搬送ロボットなどの手首部に
固定されてウエハキャリッジ１を着脱する固定治具２は
、ほぼＨ字形平板状に形成され、表面に突起部１３の幅
より僅かに広いほぼＨ字形で直交する部分を有する挿入
溝３が設けられている。挿入溝３の互いに平行に伸びる
平行部３１、３２のうち、一方の平行部３１の内側に沿
ってクランプ部４が設けられ、クランプ部４には、平行
部３１対して直角に出入りする爪部４１を備え、爪部４
１が挿入される摺動溝４２の底面と爪部４１との間には
爪部４１を挿入溝３の外側に押し出すように圧縮バネ４
３が設けられている。爪部４１の上方の角部は滑らかな
曲面に形成されている。他方の平行部３２の内側に沿っ
てクランプ部４に対向する位置にストッパ部５が設けら
れている。ストッパ部５の先端の上方の角部は滑らかな
曲面で形成されている。挿入溝３の平行部３１、３２に
連絡する、平行部３１に直角な連結部３３の中央部には
切欠き部３４が設けられている。切欠き部３４に対向し
、クランプ部４が設けられている側に、クランプ部６が
設けられ、切欠き部３４に向かって押し出される爪部６
１が摺動溝６２に設けられ、摺動溝６２の底面と爪部６
１の間には圧縮バネ６３が設けられ、クランプ部４と同
様の構成を備えている。
断面図、図２は図１の■−■断面に沿う要部側断面図で
、ウエハキャリッジ１は半導体のウエハを多数間隔をあ
けて挿入する保持棚１１が設けられ、底面１２にはほぼ
Ｈ字形で、直交する部分を有する突起部１３が設けられ
ている。一方、図示しない搬送ロボットなどの手首部に
固定されてウエハキャリッジ１を着脱する固定治具２は
、ほぼＨ字形平板状に形成され、表面に突起部１３の幅
より僅かに広いほぼＨ字形で直交する部分を有する挿入
溝３が設けられている。挿入溝３の互いに平行に伸びる
平行部３１、３２のうち、一方の平行部３１の内側に沿
ってクランプ部４が設けられ、クランプ部４には、平行
部３１対して直角に出入りする爪部４１を備え、爪部４
１が挿入される摺動溝４２の底面と爪部４１との間には
爪部４１を挿入溝３の外側に押し出すように圧縮バネ４
３が設けられている。爪部４１の上方の角部は滑らかな
曲面に形成されている。他方の平行部３２の内側に沿っ
てクランプ部４に対向する位置にストッパ部５が設けら
れている。ストッパ部５の先端の上方の角部は滑らかな
曲面で形成されている。挿入溝３の平行部３１、３２に
連絡する、平行部３１に直角な連結部３３の中央部には
切欠き部３４が設けられている。切欠き部３４に対向し
、クランプ部４が設けられている側に、クランプ部６が
設けられ、切欠き部３４に向かって押し出される爪部６
１が摺動溝６２に設けられ、摺動溝６２の底面と爪部６
１の間には圧縮バネ６３が設けられ、クランプ部４と同
様の構成を備えている。
【０００７】ウエハキャリッジ１を固定治具２に固定す
る場合、図示しない把持装置によりウエハキャリッジ１
を把持し、底面１２に設けられ突起部１３を固定治具２
の挿入溝３に挿入する。このとき、突起部１３の平行部
３２に挿入される部分は、ストッパ部５の先端に案内さ
れて挿入される。突起部１３の平行部３１に挿入される
部分は、突起部１３の端部が爪部４１の上面の角部を滑
って爪部４１の先端に案内されて挿入される。突起部１
３はストッパ部５と反対側に圧縮バネ４３の圧縮力で押
しつけられるので、ウエハキャリッジ１はストッパ部５
と爪部４１により保持される。また、突起部１３の連結
部３３に挿入される部分は、爪部６１の上部の角部を滑
り、先端に案内されて挿入される。突起部１３は爪部６
１によって切欠き部３４に向かって押しつけられるので
、ウエハキャリッジ１は切欠き部３４の両端と爪部６１
とにより、圧縮バネ６３の圧縮力で挟まれて保持される
。
る場合、図示しない把持装置によりウエハキャリッジ１
を把持し、底面１２に設けられ突起部１３を固定治具２
の挿入溝３に挿入する。このとき、突起部１３の平行部
３２に挿入される部分は、ストッパ部５の先端に案内さ
れて挿入される。突起部１３の平行部３１に挿入される
部分は、突起部１３の端部が爪部４１の上面の角部を滑
って爪部４１の先端に案内されて挿入される。突起部１
３はストッパ部５と反対側に圧縮バネ４３の圧縮力で押
しつけられるので、ウエハキャリッジ１はストッパ部５
と爪部４１により保持される。また、突起部１３の連結
部３３に挿入される部分は、爪部６１の上部の角部を滑
り、先端に案内されて挿入される。突起部１３は爪部６
１によって切欠き部３４に向かって押しつけられるので
、ウエハキャリッジ１は切欠き部３４の両端と爪部６１
とにより、圧縮バネ６３の圧縮力で挟まれて保持される
。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ウ
エハキャリッジを固定治具に固定する場合、ウエハキャ
リッジの突起部より広く、かつ直交する固定治具の挿入
溝の側面に、突起部をクランプ部の爪部によって案内し
ながら挿入するので、ウエハキャリッジが熱によって多
少変形しても、無理な力を加えることなく、ウエハキャ
リッジを確実に位置決めし、保持することができる効果
がある。
エハキャリッジを固定治具に固定する場合、ウエハキャ
リッジの突起部より広く、かつ直交する固定治具の挿入
溝の側面に、突起部をクランプ部の爪部によって案内し
ながら挿入するので、ウエハキャリッジが熱によって多
少変形しても、無理な力を加えることなく、ウエハキャ
リッジを確実に位置決めし、保持することができる効果
がある。
【図１】本発明の実施例を示す図２の■−■断面に沿う
平断面図である。
平断面図である。
【図２】図１の■−■断面に沿う要部側断面図である。
１ ウエハキャリッジ
１３ 突起部
２ 固定治具
３ 挿入溝
３１、３２ 平行部
３３連結部
３４ 切り欠き部
４、６ クランプ部
４１、６１ 爪部
４２、６２ 摺動溝
４３、６３ 圧縮バネ
５ ストッパ部
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体のウエハを保持するウエハキャ
リッジを搬送装置に固定された固定治具に位置決め保持
するウエハキャリッジの位置決め装置において、前記ウ
エハキャリッジにほぼＨ字形の直交する部分と平行な部
分を有する突起部を設け、前記固定治具に前記突起部の
幅より僅かに広い幅の挿入溝を設け、前記突起部を前記
直交する挿入溝と平行する挿入溝に沿って設けたクラン
プ部およびストッパ部により案内し、かつ前記挿入溝の
一方側に圧縮バネにより前記クランプ部に設けた爪部を
介して前記突起部を押しつけるようにしたことを特徴と
するウエハキャリッジの位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3031553A JPH04340250A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | ウエハキャリッジの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3031553A JPH04340250A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | ウエハキャリッジの位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04340250A true JPH04340250A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=12334379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3031553A Pending JPH04340250A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | ウエハキャリッジの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04340250A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5604443A (en) * | 1994-05-23 | 1997-02-18 | Tokyo Electron Limited | Probe test apparatus |
-
1991
- 1991-01-30 JP JP3031553A patent/JPH04340250A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5604443A (en) * | 1994-05-23 | 1997-02-18 | Tokyo Electron Limited | Probe test apparatus |
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