KR100323309B1

KR100323309B1 - 랙 지지장치

Info

Publication number: KR100323309B1
Application number: KR1019990041872A
Authority: KR
Inventors: 프리쯔구엔터
Original assignee: 게르트 켈러; 와커 실트로닉 게젤샤프트 퓌르 할브라이테르마테리아리엔 아게
Priority date: 1998-10-02
Filing date: 1999-09-30
Publication date: 2002-02-06
Also published as: KR20000028732A; US6354445B1; EP0991111A1; DE19845504A1; JP2000114360A

Abstract

최소한 2개의 측면가이드(side guide)(2)와 최소한 1개의 정지구(stop)를 구비하는 부착면(attachment surface)(1)을 가진 랙지지장치(rack-holding device)에 있어서,

그 정지구(3)는 각각의 경우 최소한 2개의 측면가이드(2)앞에 설치되고, 2개의 측면가이드(2)는 서로 평행하게 일정한 거리에서 설치시켜 동일한 높이에서 하나의 베어링면(bearing surface)을 구비하도록 구성함을 특징으로 한다.

Description

랙 지지장치{rack-holding device}

본 발명은 랙지지장치(rack-holding device)에 관한 것이다.

실리콘웨이퍼 등 디스크를 지지하는 랙(racks)에 쓰이는 랙지지장치는 공지되어있다.그 공지된 랙지지장치는 기준면(basic surface)에서 밀링(milling)하는 웨브(webs)와 요홈(grooves)을 간단하게 구비하며, 그 기준면에 그 랙(racks)이 설정되어있다.

또, 그 기준면상에 하나의 센서(sensor)가 있어, 그 센서는 그 랙(racks)을 랙지지장치에 설정시키거나, 또는 다시 그 랙지지장치에서 이탈시키는 것을 기록한다.

이와같은 특성의 랙(racks)은 수평방향으로 25개의 웨이퍼를 상하로 수용할 수 있도록 구성되어있다.이들의 랙(racks)은 저장콘테이너(storage containers) 및 운반콘테이너로 사용한다.

이와같은 랙(racks)에서는 실리콘웨이퍼를 연마기에 넣어, 그 연마기에서 하나의 그립퍼(gripper)가 실리콘웨이퍼를 연마처리하기 위하여 계속적으로 그 실리콘 웨이퍼를 픽업(pick up)한다.

디스크 또는 실리콘웨이퍼를 수평방향으로 처리 하는 것을 제외하고는 어디에서나 결함을 첵크하는 측정장치에서도 위에서와 같이 동일한 작동이 발생한다.

이들의 랙지지장치의 결점은 랙(racks)이 경사지게 형성되어있어(tilted)그 내부에서 비틀려있거나 휘어저 있으며(warped), 또 그 랙자체가 휘어저있어(warped)그 그립퍼(gripper) 가 웨이퍼를 정확하게 픽업할 수 없었다.그 결과, 고가의 웨이퍼가 손상되거나 파괴되는 결점이 있었다.

또, 그 랙이 휘어질 수 있으므로, 그 센서가 랙 지지장치내에서 랙(racks)의 존재를 검출할 수 없게되어 그 대응하는 연마기 또는 측정기가 작동을 개시할 수가 없었다.

본 발명에 의한 장치의 목적은 종래의 결점을 극복하여 특히, 규정된 소정의 정확한 위치에 랙(racks), 즉 웨이퍼를 배치하도록 하는 데 있다.

도 1은 랙지지장치의 평면도를 나타낸다.

도 2는 랙지지장치의 측면도를 나타낸다.

도 3은 단부측면(end side)에서 본 랙지지장치의 단면도를 나타낸다.(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)1: 부착면(attachment surface)2: 측면가이드(side guide)3: 정지구(stop)4: 상부 평면상의 베어링면(top planar bearing surface)5: 저부 평면상의 베어링면(bottom planar bearing surface)6: 컷아우트(cutout)7: 센서(sensor)8: 부착수단(attachment means)9: 컷아우트(cutout)

본 발명의 중요한 기술은 부착면(attachment surface)(1)을 가진 랙지지장치에 있어서, 최소한 2개의 측면가이드(side guides)(2)와 최소한 하나의 정지구(stop)(3)을 구비하여, 그 정지구(3)가 각각의 경우 최소한 2개의 그 측면가이드(2)앞에 배치되어있고, 2개의 그 측면가이드(2)가 서로 평행하게 일정한 거리에서 배치되어 2개의 그 측면가이드가 동일 높이에서 베어링면(bearing surface)를 구비하도록 구성함을 특징으로 한다.첨부도면에 따라 본 발명을 아래에서 구체적으로 설명한다.본 발명에 의한 랙지지장치는 도 1~도3에 나타낸 바와 같이 하나의 부착면(attachment surface)(1)을 가진다.그 부착면(1)에는 최소한 2개의 측면가이드(side guides)(2)와 최소한 하나의 정지구(stop)(3)가 부착되어있다.이들의 구성요소는 가동유닛(movable unit)을 형성하는 것이 바람직하며, 또 그 부착면(1)은 예로서 측정장치 또는 연마장치등 또 다른 장치에서 하나의 구성성분이다.이 경우, 그 가동할 수 있는 비고정식 랙지지장치는 하나의 유닛(unit)으로 작동할 수 있다.

최소한 2개의 그 측면가이드(2)는 서로 평행하게 일정한 거리에서 배치되어 있으므로, 그 랙은 바람직하게는 베어링면에 의해 즉 클립(clip)으로 설정할 수 있다.

이것은 그 측면가이드(2)의 상부평면상의 베어링면(top planar bearing surface)(4)상에서 발생하는 것이 바람직하다.

그 랙(rack)이 180°로 회전할 경우, 그 랙의 베어링면은 저부평면상의 베어링면(bottom planar bearing surface)(5)상에 지지하게 된다.

본 발명에 의한 측면가이드(2)는 그 상부평면상의 베어링면(4)또는 그 저부평면상의 베어링면(5)만을 구비하거나 또는 바람직하게는 그 상부 및 저부 평면상의 베어링면(4,5)을 구비한다.

이경우, 이들의 베어링면(4,5)사이에는 컷아우트(cutout)(6)가 형성되어있어, 하나의 바람직한 구성을 나타낸다.

그러나, 그 사이에서는 그 저부평면상의 베어링면(5)상에서 하나의 슬롯(slot)이 있도록 하여 하나의 웨이퍼를 밀어넣을 수 있도록 구성할 수도 있다.

2개의 베어링면(4,5)사이의 거리는 그랙이 있는 그 베어링면(4) 또는 그 베어링면(5)의 상부에 위치하는지의 여부에 관계됨이 없이 그랙에서의 저부웨이퍼가 그 부착면에서 항상 동일한 거리에 있도록 선택하는 것이 바람직하다.즉, 그랙이 180°로 회전된다.

최소한 하나의 그 정지구(stop)(3)는 그 측면가이드(2)의 단부측면(end side)전면에 배치되어있어, 그 랙은 그 전면에서 지지시킬 수 있다.

그 정지구가 단일정지구일 경우, 이것은 그 측면가이드(2)사이의 중심(center)에 배치하는 것이 바람직하다.그러나, 2개의 정지구(stops)(3)가 바람직하며, 이들의 정지구는 그 랙이 그 전면에서 양측에 지지할 수 있도록 각각의 그 측면가이드 전면에 배치된다.

하나의 바람직한 실예에서는 그 정지구(3)가 그 랙(rack)상에 위치되어 있는 1개이상의 돌기(projections)를 수용할 수 있는 컷아우트(cutouts)(9)를 구비하여, 그 랙에 안정성을 추가로 제공한다.

그 랙이 정위치에 있는 지의 여부를 검출하는 센서(7)가 그 부착면, 바람직하게는 그 후부(rear part)에 위치되어있다.

도 3에서와 같이, 그 정지구(3), 측면가이드(2) 및 센서(7)는 부착수단(8), 바람직하게는 스크루에 의해 그 부착면(1)에 부착된다.

본 발명에 의한 랙지지장치(rack holer)는 그 랙(rack)이 경사지게 형성되거나 휘어저 있지 아니하여 그립퍼(gripper)가 웨이퍼를 정확하게 픽업(pickup)할 수 있어, 그 결과 고가의 웨이퍼를 손상 또는 파괴하지 않는 효과가 있다.또, 이들의 랙(racks)이 더 이상 휘어저 있지 않으므로 그 센서가 랙지지장치에서 랙의 존재를 항상 검출할 수 있고, 그 대응하는 연마기 또는 측정기가 정확하게 작동할 수 있다.따라서, 그 웨이퍼로는 로버트의 그립퍼에 대하여 동일한 위치에 항상 위치되어 있어 종래에 나타낸 결함율 80%의 처리오차(handling errors)가 더 이상 발생하지 않는다.

Claims

하나의 부착면(attachment surface)(1)과, 최소한 2개의 측면가이드(side guide)(2)와, 최소한 하나의 정지구(stop)(3)를 구성하는 랙지지장치(rack holding device)에 있어서,

그 정지구(stop)(3)는 최소한 2개의 측면가이드(2)의 앞에 배치되고;

그 2개의 측면가이드(2)는 서로 평행하게 일정한 거리에서 배치되어, 하나의 베어링면(bearing surface)를 동일한 높이에서 구비하여 그 랙지지장치내에서 지지되는 하나의 랙(rack)으로 동일한 높이를 갖도록 구성하며;

각각의 그 2개의 측면가이드(2)는 그 부착면(1)에 접속됨을 특징으로 하는 랙지지장치.
제1항에 있어서,

그 2개의 측면가이드(2)는 그 상부와 저부에서 하나의 베어링면(bearing surface)을 구비함을 특징으로 하는 랙지지장치.