KR950021165A - 침지형 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

보지로드가 처리조의 저면 근처의 처리조내에 배치된다. 보지로드는 2개의 처리액 공급관 사이의 처리조의 저부중앙부에 위치한다. 보지로드는 격막체수단으로 이용하므로서, 처리조의 저면을 따라 처리조의 저중앙부를 향해서 분출하는 분출공에서의 처리액이 보지로드에 부딪쳐서, 상방으로 그 방향을 바꾸어 처리조 내에서 균일하게 순환하기 시작한다.

Description

침지형 기판처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 대한 침지형 기판처리장치의 주요부를 나타내는 도면.

Claims (14)

  1. 처리액에 기판을 침지시키는 것에 의해 상기 기판의 표면처리를 행하는 침지형 기판처리장치는, 저면을 가지고 상기 처리액을 저류하기 위한 처리조와, 서로 일정간격으로 띄워서 평형하게 되도록 상기 처리조의 저면 부근 설치되며, 처리액을 상기 처리조의 상기 저면과 거의 평행으로 또는 상기 저부로 향해서 분출되는 분출공을 각각 포함하는 2개의 처리액 공급관과, 상기 처리액 공급관으로 상기 처리액을 공급하기 위하여 상기 처리조의 외부에 배열된 처리액 공급수단과, 상기 처리액이 상방향으로 흐르도록 상기 분출공에서 분출된 상기 분출액의 방향을 바꾸기 위해 상기 처리액 공급관 사이에서 상기 처리조의 저중앙부 내에서 상기 처리조의 상기 저면에 가깝게 배치되는 격막체수단을 구비하는 침지형 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리조 내에 상기 기판을 보지하기 위한 부재를 더 구비하고, 상기 부재가 상기 처리조 안에 위치할 때 상기 부재의 일부는 상기 격막체로서 이용되는 침지형 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 부재의 일부는 상기 저면에 근접하나 완전히 접속하지 않는 침지형 기판처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 격막체 수단은 상기 처리조의 저부에서 위로 연장하는 플레이트 부재에 의해 형성되는 침지형 기판처리장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 처리조의 저면은 상기 저중앙부에서 돌출하는 돌출부를 포함하고, 상기 돌출부는 상기 격막체 수단으로 이용하는 침지형 기판처리장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 저면은 밸리 같은 구성으로 되는 침지형 기판처리장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 저부는 중앙에서 약간 깊은 침지형 기판처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 처리액 공급관은 외부관과 다층관 구조를 가지는 상기 외부관 내에 삽입된 적어도 하나의 내부관을 포함하여, 상기 분출공은 주분출공으로 상기 외부관 내에 형성되고 적어도 상기 하나의 내부관은 그 측면상에 부분출공을 포함하고, 상기 적어도 하나의 내부관에 형성된 상기 부분출공의 개구위상은 상기 외부관에 형성된 상기 주분출공의 개구위상에서 벗어나서 상기 주부분출공의 개구는 서로 정렬되지 않도록 구비되며, 상기 처리액 공급수단은 상기 처리조 안으로 상기 처리액을 공급하기 위한 상기 처리액 공급관의 가장 내측 내부관에 접속되는 침지형 기판처리장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 적어도 하나의 내부관은 상기 외부관 내에 동축으로 삽입되는 침지형 기판처리장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 적어도 하나의 내부관은 상기 외부관에 편심 삽입되는 침지형 기판처리장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 적어도 하나의 내부관은 상기 외부관의 상기 주분출공에서 중앙에서 벗어나 반전되는 침지형 기판처리장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 적어도 하나의 내부관은 상기 외부관의 상기 주분출공을 향하여 중앙에서 벗어나 있는 침지형 기판처리장치.
  13. 제8항에 있어서, 상기 부분출공의 개구의 중앙은 상기 주분출공의 개구중앙에서 정확히 180도 반전되는 있는 침지형 기판처리장치.
  14. 저면을 가지는 처리조에서 처리액의 흐름을 제어하는 방법은, 서로 일정 간격으로 띄워서 서로 평행하게 되도록 상기 저면의 부근에 설치되며, 상기 처리액을 분출하기 위한 분출공을 가지는 2개의 처리액 공급관을 상기 처리조내에 설치하는 스텝과, 상기 처리액을 상기 처리액을 거의 평행으로 또는 상기 처리조의 상기 저면으로 향하여 분출하는 상기 처리액 공급관으로 공급하는 스텝과, 상기 처리조내에 상기 저면에 근접한 격막체 수단을 설치하는 스텝과, 상기 격막체 수단에 의해 상기 분출공에서 분출되는 상기 처리액의 방향으로 바꾸어서 상기 처리액이 상방향으로 향하여 흐르게 하는 스텝을 구비하는 처리액의 흐름을 제어하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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