KR950020852A - 전계 방송캐소 드와이를 사용한 전자관 - Google Patents

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Abstract

〈목적〉 전계방출냉음극의 게이트 전극으로의 전력공급을 위한 배선결합을 생략하고 전계방출냉음극을 구비하는 음극구체의 소형화와 설계 자유도, 내환경성 및 신뢰성 향상을 도모한다.
〈구성〉 전계 방출 냉음극을 구비하는 기판의 뒷면에 게이트 전극의 인출 전극을 설치함으로써 기판 뒷면에서 음극 동작 전력을 공급한다. 뒷면에 구비하는 인출전극은 기판에 관통하는 접촉구멍내에 형성되며 기판과는 절연된 도전체에 의해서 게이트 전극과 도통한다. 접촉 구멍은 각추형상을 하고 있으며 접촉구멍 상에는 박막형성으로 형성되는 절연층에 의해 절연된 도전체가 도전성 박막 형성으로 형성되어서 구비한다.

Description

전계 방송캐소 드와이를 사용한 전자관
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1 실시예인 전계 방출 냉음극의 단면을 포함하는 외관도,
제2A 및 B도는 본 발명의 제1 실시예의 실장예인 음극구체의 외관도,
제3A 내지 G도는 본 발명의 제1 실시예의 제조공정을 도시하는 단면도,
제4도는 본 발명의 제2의 실시예인 전계방출 냉음극의 단면을 포함하는 외관도,
제5A 내지 F도는 본 발명의 제2의 실시예의 제조공정을 도시하는 단면도,
제6A 및 B도는 본 발명의 제3의 실시예를 도시하는 냉음극의 평면도와 선 AB를 따른 단면도,
제7A 및 B도는 본 발명의 제4의 실시예를 도시하는 냉음극의 평면도와 선 AB를 따른 단면도,
제8A 및 B도는 본 발명의 제5의 실시예를 도시하는 냉음극의 평면도와 선 AB를 따른 단면도,
제9A 및 B도는 본 발명의 제6의 실시예를 도시하는 냉음극의 평면도와 선 AB를 따른 단면도,
제10도는 본 발명의 전계 방출 냉음극을 실장한 진행 파관의 단면도.

Claims (8)

  1. 도전성 기판 또는 표면에 도전층을 갖는 절연층기판상에, 1개 또는 복수의 선단이 뾰죽한 원추체와 상기 원추체의 선단을 에워싸는 개구부를 갖는 게이트 전극과 상기 기판과 상기 게이트 전극간에 절연층을 갖는 전계 방출냉음극에 있어서, 상기 기판을 관통하는 접촉구멍과, 상기 접촉구멍내에 형성되며 절연층과 상기 절연층 사성에 형성되며 상기 게이트 전극으로 관통하는 도전체를 가지며, 상기 게이트 전극으로의 전압을 상기 기판상의 상기 전계방출냉음극이 형성된 면의 뒷면에서 공급되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극.
  2. 단결정 실리콘으로 이루어진 기판과 1개 또는 복수의 선단이 뾰죽한 원추체와 상기 원추체의 선단을 에워싸는 개구부를 갖는 게이트 전극과 상기 기판과 상기 게이트 전극간에 절연층을 갖는 전계 방출냉음극에 있어서, 상기 기판을 관통하는 다각추 또는 다각추대 형상의 접촉구멍이 상기 단결정 실리콘의 결정방향에 의한 식각속도의 차를 응용한 이방성 식각에 의해 상기 기판의 표리를 관통하는 접촉구멍을 형성하며, 상기 접촉구멍내에 형성하는 상기 기판의 상기 게이트 전극과 뒷면에 형성된 인출 전극을 도통하는 도전체는 상기 다각추 또는 다각추대 형상의 접촉구멍의 경사된 측면상에 형성하는 박막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극.
  3. 도전성 기판과, 상기 기판상에 형성된 복수의 뾰주한 전극과, 상기 전극을 에워싸는 개구부를 갖는 게이트 전극과, 상기 기판과 상기 게이트 전극간에 절연층을 갖는 전계방출 냉음극에 있어서, 상기 복수의 선단이 뾰죽한 전극의 중심부에, 상기 기판을 관통하는 접촉구멍과, 상기 접촉구멍내에 형성된 절연층과, 상기 절연층상에 형성되며 상기 게이트 전극과 도통하는 도전체를 가지며, 상기 게이트 전극으로의 전압을 상기 기판상의 상기 전극 및 상기 게이트 전극이 형성된 면의 뒷면에서 공급되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극.
  4. 절연성기판과, 상기 기판상에 형성한 도전층과, 상기 도전층상에 형성한 복수의 선단이 뾰죽한 전극과, 상기 전극을 에워싸는 개구부를 갖는 게이트 전극과, 상기 기판과 상기 게이트의 전극간에 절연층을 갖는 전계 방출 냉음극에 있어서, 상기 복수의 선단이 뾰죽한 전극의 중심부에, 상기 기판을 관통하는 접촉구멍과, 상기 접촉구멍내에 형성되고, 상기 게이트 전극과 관통하는 도전체를 가지며, 상기 게이트 전극으로의 전압은 상기 기판상의 상기 전극 및 상기 게이트 전극이 형성된 면의 뒷면에서 공급된 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극.
  5. 제4항에 있어서, 상기 도전층으로의 전압은 기판의 측면 또는 상기 기판의 주변부에 형성한 접촉구멍을 통해서 상기 기판상의 상기 게이트 전극이 형성된 면의 뒷면에서 공급되는 것을 특징으로 하는 전계방출 냉음극.
  6. 절연성 기판과, 상기 기판상에 형성한 도전층과, 상기 도전층상에 형성한 복수의 선단이 뾰죽한 전극과, 상기 상기 전극을 에워싸는 개구부를 갖는 게이트 전극과, 상기 기판과 상기 게이트 전극간에 절연층을 갖는 전계방출 냉음극에 있어서, 상기 복수의 선단이 뾰죽한 전극의 중심부에, 상기 기판을 관통하는 접촉구멍과, 상기 접촉구멍내에 형성되며 상기 도전층과 도통하는 도전체를 가지며, 상기 도전층으로의 전압은 상기 기판상의 상기 전극 및 상기 게이트 전극이 형성된 면의 뒷면에서 공급되는 것을 특징으로 하는 전계방출냉음극.
  7. 제6항에 있어서, 상기 게이트 전극으로의 전압은 기판의 측면 또는 상기 기판의 주변부에 형성한 접촉구멍을 통해서 상기 기판상의 상기 전극 및 상기 게이트 전극이 형성된 면의 뒷면에서 공급되는 것을 특징으로 하는 전계방출냉음극.
  8. 제1항 내지 제7항에서 청구된 바와 같은 전계 방출냉음극의 적어도 하나를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자관.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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