KR950014971A - 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
실리콘을 미세 가공하여 만든 냉음극 팁과 게이트를 이용하여 3극 진공관과 같은 마이크로 3극관을 제조할 수 있음이 알려져 있으나, 공지된 리프트-오프공정은 전자총으로 증착되어 절연체로 사용되는 산화막이나 그 위의 금속박막의 형성과정이 전자총의 방향성증착을 주안점으로 하는 관계로 냉음극 주위의 형상이 각 지점마다 다르며 이러한 차이로 인해 동작의 균일성이 나쁜 제품이 만들어지는 단점이 있다.
본 발명은 종래의 리프트-오프공정의 단점을 개선하기 위하여 실리콘 기판 자체를 다공질화하고, 이 다공질 실리콘을 산화시켜 얻은 실리콘 산화막을 냉음극 팁과 베이스 사이의 절연체로 이용함으로써 공정을 간단히 하고 팁 형태의 균일성을 높여 성능향상을 도모하고 생산가를 저하시킨 것으로서, 냉음극 팁 및 게이트의 형성을 위해 리프트-오프공정, 에치백(etch-back)공정 또는 사진 식각공정에 의해 실리콘 필드 에미터어레이를 제조하는 방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 마이크로 3극관의 단면도,
제2도는 공지된 리프트-오프공법에 의한 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조공정을 보여주는 단면도,
제3도는 본 발명에 의한 실리콘 필드 에미터 어레이 제조방법의 하나의 실시예의 제조공정을 나타내는 단면도,
제4도는 본 발명의 다른 실시예의 제조공정을 보여주는 단면도,
제5도는 본 발명의 또다른 실시예를 나타내는 제조공정도이다.
Claims (10)
- 질화실리콘 마스크 패턴을 만든 실리콘 기판의 상면을 적정깊이로 다공질화, 열산화하고 실리콘 질화막과 실리콘 산화막을 식각하여 냉음극 팁을 만드는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 실리콘 기판이 P형 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 실리콘 기판이 N형 실리콘 기판에 인이나 붕소를 확산 또는 이온주입하여 만든 N+형 실리콘, P형 실리콘, 또는 P+형 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 질화실리콘 마스크 패턴을 만든 N형 실리콘기판의 상면에 인이나 붕소를 확산 또는 인주입에 의해 N+영역이나 P 또는 P+영역을 만든 후 다공질화, 열산화, 식각공정을 거치는 것을 특징으로 하는 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법.
- 제1항 내지 제4항의 어느 하나에 있어서, 게이트용 금속박박을 실리콘 질화막과 실리콘 산화막 위에 입히고 식각용액에 의해 실리콘질화막을 식각하여 리프트 오프시키고, 다시 식각용액에 의해 실리콘 산화막을 식각하는 것을 륵징으로 하는 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법.
- 제1항 내지 제4항의 어느 하나에 있어서, 게이트용 금속박막을 실리콘 질화막과 실리콘 산화막 위에 입히고 그 위에 다시 감광막을 입힌 다음 금속박막과 감광막을 차례로 식각한 후, 실리콘 질화막과 실리콘 산화막을 차례로 식각하는 것을 특징으로 하는 실리콘 필드에미터 어레이의 제조방법.
- 제1항 내지 제4항의 어느 하나에 있어서, 실리콘 질화막과 실리콘 산화막 위에 게이트용 금속박막을 입히고, 포토마스크 작업을 한 후 노광, 현상, 식각공정에 의해 금속박막의 일부를 식각하여 게이트를 만들며, 다시 실리콘 질화막과 실리콘 산화막을 식각하는 것을 특징으로 하는 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 다공질화된 실리콘 가판의 상면을 열산화하기에 앞서 적정길이로 미리 식각하여 게이트와 팁의 상대적 위치를 조절하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 필드 에미터어레이의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 실리콘 기판 상부의 실리콘 산화막의 상면을 적정깊이로 미리 식각하여 게이트와 팁의 상대적 위치를 조절하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법.
- 제3항 또는 제4항에 있어서, 실리콘 가판에 P형 웰을 형성하여 화소와 화소, 컬럼과 컬럼 사이를 고립시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 필드 에미터 어레이의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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