KR950014870A - 강성분의 분석방법 및 그 장치 - Google Patents

강성분의 분석방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 높은 정밀도와 정확도로 신속하게 성분을 분석할 수 있는 강성분의 분석방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 강편의 분석부를 연삭기로 연삭후, 이 성분을 봉입부(8)를 갖는 미립자발생셀(6)로 덮고, 셀내로 Ar가스를 통과하면서 레이저조사에 의한 재연삭후, 100MW/cm2이상의 레이저광을 발진주파수 100Hz이상에서, 또 조사점을 적어도 1mm 평방에 걸쳐 이동시키면서 강편(1)에 조사하여 미립자를 발생시킨다. 미립자는 Ar가스에 반송되는 ICP 발광분광 분석에 도움을 주고, 용강을 퍼내고 응고시킨 직후의 적열시료를 정제Ar분위기의 시료실내에서 시료와 동일곡면을 갖는 시료보존부(102)에 수납하고, 그 산화를 방지하면서 시료표면에 펄스레이저광을 적정조건으로 조사하여 표층25㎛이상을 제거, 제거후에 발생하는 미립자를 ICP로 여기하여 분석한다.

Description

강성분의 분석방법 및 그 장치.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 제1실시예의 강성분의 분석장치의 개념도.
제4도는 본 발명 제2실시예의 강성분의 분석장치의 개념도.
제5도는 본 발명 제2실시예의 다른 강성분의 분석장치의 개념도.
제8도는 본 발명 제3실시예의 강성분의 분석방밥과 사용되는 장치의 개념도.

Claims (35)

  1. (a) 강편(1)의 시료채취면의 형상을 조정하기 위해 표면을 기계적으로 연삭하는 제1연삭공정;(b) 개구단에 봉입부(8)를 갖는 셀의 이 봉입부를 시료채취면에 접촉시켜서 이 시료채취면을 덮는 공정; (c) 이 셀의 내부에 불활성가스를 도입하면서 강편(1)의 표층에 부착되어 있는 오물이나 표층에 생성된 산화충을 제거하기 위해 기계적으로 연삭된 이 시료면을 연삭하는 제2연삭공정; (d) 제2연삭공정에 있어서 연삭된 시료면에 펄스화된 108w/cm2이상의 에너지를 투입하고 미립자를 발생시키는 공정; (e) 이 미립자를 이 셀의 내부에 도입된 불활성가스에 의해 반송하고 여기 분석장치의 여기염에 유도하는 공정; 으로 구성되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2연삭공정은 기계적 연삭에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2연삭공정은 스파크방전에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제2연삭공정은 펄스DC방전에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석 방법 .
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2연삭공정은 펄스레이저광에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2연삭공정은 레이저광을 1kHz이상의 발진주파수로 조사점의 에너지밀도를 108∼1011w/cm2로 하고 조사점을 적어도 Imm2에 걸쳐 반복하여 10회 이상 귀인조사함으로써 실시되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제2연삭공정의 불활성가스는 Ar가스인것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  8. 제7항에 있어서,상기 Ar가스는 정체장치를 통해서 정제된 Ar가스이고, 탄소함유량이 1㎛/1iter이인 것인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  9. 제1항에 있어서,상기 미립자를 발생시키는 공정은 에너지로서 레이저광을 사용하고, 100Hz이상의 발진주파수에서 조사점의 에너지밀도를 108∼1011w/cm로 하고 조사점위치를 적어도 1mm2에 걸쳐 이동시키면서 레이저광을 시료면에 조사함으로써 실시되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 여기분석장치는 원자흡광분석장치이고 그 여기염은 아세틸렌의 연소염인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 여기분석장치는 플라스마 발광분석장치이고 그 여기염은 Ar플라스마염인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 여기분석장치는 플라스마 발광분석장치이고 그 여기염은 유도결합 플라스마염인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  13. (a) 강편(1)의 시료채취면의 형상을 조정하기 위해 표면을 기계적으로 연삭하는 제1연삭수단;(b) 봉입부(8)를 시료채취면에 접촉시키고, 이 시료채취면을 덮는 개구단에 봉입부를 갖는 셀; (c) 이 셀은 측면에 불활성가스의 유입구(10) 및 유출구(11)를 갖는다; (d) 이 셀의 내부에 이 유입구(10)로 부터 불활성가스를 도입하면서 강편(1)의 표층에 부착되어 있는 오물이나 표층에 생성된 산화층을 제거하기 위해 이 시료면을 연삭하는 제2연삭수단; (e) 제2연삭수단에 의해 연삭된 시료면에 에너지를 투입하고 미립자를 발생시키는 수단 ; (f) 이 셀의 유출구(11)에서 반송된 이 미립자를 분석하는 여기 분석장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1연삭수단은 그라인더인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  15. 제13항에 있어서,상기 제2연삭수단은 스파크방전에 의한 연삭장치인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석 장치 .
  16. 제13항에 있어서, 상기 제2연삭수단은 펄스DC방전에 의한 연삭장치인 것을특징으로 하는 강성분의 분석 장치.
  17. 제13항에 있어서, 상기 제2연삭수단은 펄스레이저광에 의한 연삭장치인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석 장치.
  18. 제13항에 있어서, 불활성가스 정제장치를 갖는 정제된 불활성가스가 그 셀의 내부에 유입구(10)로 도입되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  19. 제13항에 있어서, 상기 미립자를 발생시키는 수단은 스파크방전장치인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석 장치.
  20. 제13항에 있어서, 상기 미립자를 발생시키는 수단은 펄스레이저광 조사장치인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  21. 제13항에 있어서, 상기 펄스레이저광 조사장치는 발진기(12), 반사경(13, 130, 203), 단초점 집광 렌즈(14, 140, 205)와 조사위치를 제어하는 장치로 구성되고, 그 조사위치를 제어하는 장치는 반사경을 회전시켜 반사각을 제어하거나 집광렌즈의 평행이동을 제어하는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  22. 제13항에 있어서, 상기 여기분석장치는 원자흡광분석장치인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  23. 제13항에 있어서, 상기 여기분석장치는 플라스마 발광분석장치인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석 장치 .
  24. (s) 용강의 일부를 채취하고 응고시켜서 괴상시료(103)를 준비하는 공정; (b) 이 괴상시료(103)를 적열상태인 채로 불활성가스 분위기의 시료실내에 장입하는 공정, (c) 시료실내의 괴상시료(103)의 표면에 펄스레이저광을 조사하여 미립자를 발생시키는 공정, 표면으로부터 25㎛ 이상의 깊이에서 발생한 미립자가 성분분석의 대상시료이다; (d) 이 미립자를 유도결합 플라스마 분석기에 불활성가스로 반
    송하는 공정; (e) 유도결합 플라스마 분석기로 이 미립자의 성분분석을 하는 공정: 으로 구성되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  25. 제24항에 있어서, 상기 불활성가스 분위기는 Ar가스 분위기이고, Ar가스는 탄소량이 1㎛/1iter 이하인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  26. 24항에 있어서, 상기 펄스레이저광은 100Hz 이상의 발진주파수에서 조사점의 에너지밀도를 108∼1011w/cm2로 하고 조사점위치를 이동시키면서 시료면에 조사되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  27. (a) 괴상시료(103)를 수납하는 시료실, 이 시료실은 분석셀부(101), 시료보존부(102), 분설셀부와 시료보존부와 시료보존부를 연결하는 노출공(121)으로 구성되고, 괴상시료는 시료보존부에 넣어진다; (b) 노출공(121)이 있는 측면의 시료보존부(102)내면과 이 내면과 접하는 괴상시료의 면과는 실질적으로 동일곡면을 갖는다: (c) 이 괴상시료에 펄스레이저광을 조사하여 미립자를 발생시키기 위한 레이저발진기(104, 201), 이 레이저광은 분석셀부(101), 노출공(121)을 통과하고, 괴상시료(103)에 조사 된다; (d) 불활성가스를 분석셀부(101)에 도입하고, 발생한 미립자를 분석셀부외로 반송하는 수단; (e) 반송된 미립자의 성분분석을 하는 유도결합 플라스마 분석기; 로 구성되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  28. 제27항에 있어서, 상기 미립자를 반송하는 수단은 시료실과 유도결합 플라스마 분석기를 연락하는 반송가스배관(107)을 포함하는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  29. 제28항에 있어서, 상기 반송가스배관(107)은 금속배관인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  30. 제29항에 있어서, 상기 반송가스배관(107)은 유리배관인 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  31. 제27항에 있어서, 불활성가스에서 탄소성분을 제거하는 가스정제장치를 갖는 정제된 불활성가스가 시료실로 도입되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석장치.
  32. (a) 강재의 표면에 펄스레이저광을 선형상으로 조사하고, 미립자를 발생시키는 공정; (b) 발생한 미립자를 불활성가스에 의해 검출기(213)로 반송하는 공정; (c) 이 검출기(213)로 미립자의 성분을 분석하는 공정, 성분의 추이가 레이저광이 조사된 선을 따라 얻어지고, 그 성분의 추이에서 이상부가 검지된다; 으로 구성되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  33. 제32항에 있어서, 상기 레이저광의 조사는 조사점을 반사경(13, 130, 203)의 회전에 의해 이동시키면서 조사하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  34. 제32항에 있어서, 상기 레이저광의 조사는 조사점을 집광렌지(14, 140, 205)의 평행이동에 의해 이동시키면서 조사하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
  35. 제32항에 있어서, 상기 레이저광의 조사는 펄스반값폭 : 0.02∼0.5, 펄스선두출력 : 20kW∼50MW에서 실시되는 것을 특징으로 하는 강성분의 분석방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3166569B2 (ja) * 1995-06-12 2001-05-14 日本鋼管株式会社 鋼材表面に生じた異常部の発生原因検出方法
JP3044188B2 (ja) * 1996-02-15 2000-05-22 核燃料サイクル開発機構 レーザー除染法
EP0986744A1 (fr) * 1997-06-03 2000-03-22 Wilfried Vogel Procede d'analyse des constituants d'un echantillon solide, dispositif de preparation d'un melange gazeux, utilisation d'un emetteur laser dans ce dispositif, procede d'analyse utilisant le dispotif et utilisation d'un analyseur icp ou aas
GB2340598A (en) * 1998-08-07 2000-02-23 British Steel Plc Determining composition of galvanised metal coating
DE19918956A1 (de) * 1999-04-27 2000-11-02 Studiengesellschaft Kohle Mbh Verfahren zur automatisierten Untersuchung katalytischer und spektroskopischer Eigenschaften der Komponenten kombinatorischer Bibliotheken
US7280202B2 (en) * 2004-01-15 2007-10-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ingredient analysis method and ingredient analysis apparatus
CN100339695C (zh) * 2004-04-01 2007-09-26 上海宏力半导体制造有限公司 大面积物体表面有机挥发物真空密封取样室
US7271898B2 (en) * 2005-01-19 2007-09-18 Bae Systems Information Method and system for remote sensing of optical instruments and analysis thereof
US7397560B2 (en) * 2006-04-04 2008-07-08 Agilent Technologies, Inc. Surface contamination detection
KR20150114963A (ko) * 2013-02-14 2015-10-13 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 조성 분석 시스템을 위한 레이저 어블레이션 셀 및 토치 시스템
US20140227776A1 (en) 2013-02-14 2014-08-14 Electro Scientific Industries, Inc. Laser ablation cell and torch system for a compositional analysis system
US20140268134A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Electro Scientific Industries, Inc. Laser sampling methods for reducing thermal effects
JP6248801B2 (ja) * 2014-05-19 2017-12-20 新日鐵住金株式会社 元素分析試料調製方法および装置
BE1024529B1 (fr) * 2016-09-02 2018-04-03 Centre de Recherches Metallurgiques asbl- Centrum Voor Research in de Metallurgie vzw Méthode et dispositif pour augmenter la sensibilité de la mesure en ligne de la propreté de surface des bandes d'acier
US10031087B2 (en) 2016-09-22 2018-07-24 SSAB Enterprises, LLC Methods and systems for the quantitative measurement of internal defects in as-cast steel products
US10300551B2 (en) * 2016-11-14 2019-05-28 Matthew Fagan Metal analyzing plasma CNC cutting machine and associated methods
CN110823844A (zh) * 2019-11-13 2020-02-21 湖南镭目科技有限公司 一种钢样在线成分快速分析装置及钢样在线分析方法
CN111239104A (zh) * 2020-02-17 2020-06-05 吉林大学 一种基于共振激发的libs光谱信号增强方法及系统
KR102132977B1 (ko) * 2020-02-25 2020-07-14 영인에이스 주식회사 질량분석기
CN112345512B (zh) * 2020-09-30 2023-10-13 钢研纳克检测技术股份有限公司 一种超大尺寸管棒状金属材料全域成分分析装置及方法
CN114324299B (zh) * 2021-12-20 2024-04-09 杭州谱育科技发展有限公司 便携式分析装置和方法
CN114034835B (zh) * 2022-01-06 2022-04-22 如皋市宏茂铸钢有限公司 一种钢水含硅量检测装置
CN117309982B (zh) * 2023-11-30 2024-03-05 陕西天成航空材料股份有限公司 一种钛合金铸锭杂质含量分析设备

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3602595A (en) * 1968-05-20 1971-08-31 Applied Res Lab Method of and apparatus for generating aerosols by electric arc
US3791743A (en) * 1973-03-21 1974-02-12 Bethlehem Steel Corp Portable flame photometer and sampling probe
GB8322709D0 (en) * 1983-08-24 1983-09-28 British Steel Corp Analysis of materials
US4615225A (en) * 1985-03-13 1986-10-07 Allied Corporation In-situ analysis of a liquid conductive material
JPS6214773A (ja) * 1985-07-12 1987-01-23 立花容器株式会社 葉たばこ貯蔵方法
JPH03167446A (ja) * 1989-11-27 1991-07-19 Seiko Instr Inc レーザー気化装置の試料交換装置

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Publication number Publication date
CN1110404A (zh) 1995-10-18
CN1089164C (zh) 2002-08-14
KR0178558B1 (ko) 1999-05-15
US5537206A (en) 1996-07-16

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