KR950004423A - 주사형 노광장치 및 이를 이용한 디바이스의 제조방법 - Google Patents

주사형 노광장치 및 이를 이용한 디바이스의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 주사형 노광장치는, 노광불균일을 경감시키는 것을 목적으로 하며, 그 구체적인 구성은, 조사빔에 의한 마스크의 조명개시이전에 개시되는, 조사빔과 마스크 및 이 마스크의 패턴에 대해 노광될 기판과의 상대이동을 부여하는 스캐너와, 상기 상대이동개시 및 조명개시시각전에, 조명의 강도를 감소시키도록 조사원을 제어하여 조사빔의 방사를 개시시키는 제어기를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

주사형 노광장치 및 이를 이용한 디바이스의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 엑시머레이저의 발광태양을 도시한 도면, 제2도는 엑시머레이저로부터의 발광에지의 변화를 도시한 도면, 제3도는 본 발명의 일실시예에 의한 주사형 노광장치의 블록도, 제4도는 펄스에너지의 과도특성을 표시한 그래프, 제5도는 제3도는 노광장치에 있어서의 노광순서를 표시한 순서도

Claims (28)

  1. 조사빔을 조사하는 조사원과, 상기 조사빔에 의한 마스크의 조명개시전에 개시되는, 조사빔과 마스크 및 이 마스크의 패턴에 대해 노광될 기판과의 상대이동을 부여하는 수단과, 상기 상대이동개시 및 조명개시 시각전에, 조명의 강도를 감소시키도록 상기 조사원을 제어해서 조사빔의 방사를 개시시키는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  2. 제1항에 있어서, 상기 조사원이 펄스레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  3. 제2항에 있어서, 상기 조사원이 엑시머레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  4. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 상대이동개시후 그리고 상기 조명개시전에 조명의 강도를 설정하는 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  5. 제4항에 있어서, 상기 조사원은 펄스레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  6. 제5항에 있어서, 상기조사원은 엑시머레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  7. 제4항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 상대이동개시후 그리고 상기 조명개시전에 상기 상대이동을 소정속도로 설정하는 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 조사원은 펄스레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  9. 제8항에 있어서, 상기 조사원은 엑시머레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  10. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 상대이동개시후 그리고 상기 조명개시전에 상기 마스크와 기판의 속도를 소정 레벨로 설정하는 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  11. 제10항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 상대이동개시후 그리고 상기 조명개시전에 조명의 강도를 설정하는 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  12. 제11항에 있어서, 상기 조사원은 펄스레이저인 것을 특징으로 주사형 노광장치
  13. 제12항에 있어서, 상기 조사원은 엑시머레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  14. 조사빔을 조사하는 조사원과, 상기 조사빔과 기판간의 상대이동을 부여하고, 또 접근기간중의 상기 상대이동의 개시시에 접근이동을 부여하는 수단과, 상기 접근기간에 상기 조사원을 구동시키는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  15. 제14항에 있어서, 상기 조사원은 펄스레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  16. 제15항에 있어서, 상기 조사원은 엑시머레이저인 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  17. 제14항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 접근기간중에 마스크와 기판을 소정속도로 설정하는 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  18. 제14항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 접근기간중에 조사빔의 강도를 소정레벨로 설정하는 것을 특징으로 하는 주사형 노광장치
  19. 조사빔을 조사하는 공정과, 상기 조사빔에 의한 마스크의 조명개시전에 개시되는, 조사빔과 마스크 및 이 마스크의 패턴에 대해 노광될 기판과의 상대이동을 부여하는 공정과, 상기 상대이동개시 및 조명개시전에, 조명의 강도를 감소시키도록 상기 조사원을 제어해서 조사빔의 방사를 개시시키는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  20. 제19항에 있어서, 접근기간중에 상기 마스크와 기판을 소정 속도로 설정하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 접근기간중에 조사강도를 소정레벨로 설정하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 조사빔을 펄스레이저로부터 방사하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 조사빔을 엑시머레이저펄로부터 방사하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  24. 조사빔을 조사하는 공정과, 조사빔과 기판간의 상대이동을 부여하는 공정과(단, 이때의 상대이동은 접근기간중의 개시시에 접근이동을 포함함). 상기 접근기간내에 상기 조사원을 구동제어하는 공정으로 이루어진것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법
  25. 제24항에 있어서, 상기 접근기간중에 마스크와 기판을 소정속도로 설정하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  26. 제24항에 있어서, 상기 접근기간중에 조사강도를 소정레벨로 설정하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  27. 제24항에 있어서, 상기 조사빔을 펄스레이저로부터 방사하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
  28. 제27항에 있어서, 상기 조사빔을 엑시머레이저로부터 방사하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940018054A 1993-07-26 1994-07-26 주사형 노과장치 및 이를 이용한 디바이스의 제조방법 KR0167385B1 (ko)

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