KR970002485A - 엑시머레이저의 출력제어방법 - Google Patents

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Abstract

엑시머레이저의 출력제어방법은, 복수의 광펄스를 제공하는 단계와, 광펄스의 발광간격을 변화시키는 단계를 구비하고, 발광간격이 변화되지 않을 경우보다도 각 광펄스의 평균레이저 출력이 높게 되도록 상기 발광간격을 제어하는 것을 특징으로 한다.

Description

엑시머레이저의 출력제어방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 레이저출력과 엑시머레이저펄스수와의 관계를 설명하는 그램프.

Claims (14)

  1. 복수의 광펄스를 제공하는 단계와; 상기 광펄스의 발광간격을 변화시키는 단계를 구비하고, 발광간격이 변화되지 않을 경우보다도 각 광펄스의 평균레이저출력이 높게 되도록 상기 발광간격을 제어하는 것을 특징으로 하는 엑시머레이저의 출력제어방법.
  2. 복수의 광펄스를 제공하는 수단과; 상기 광펄스의 발광간격을 변화시키는 변경수단을 구비하고, 발광간격이 변화되지 않을 경우보다도 각 광펄스의 평균레이저출력이 높게 되도록 상기 발광간격을 제어하는 것을 특징으로 하는 엑시머레이저.
  3. 제2항에 있어서, 발광간격을 일정하게 유지하는 유지수단과, 상기 유지수단과 상기 변경수단을 절환하는 절환수단을 또 구비한 것을 특징으로 하는 엑시머레이저.
  4. 제2항에 있어서, 제공되는 광펄스의 레이저출력을 검출하는 검출수단을 또 구비하고, 상기 검출수단에 의한 검출결과에 의거해서 레이저출력을 제어하는 것을 특징으로 하는 엑시머레이저.
  5. 엑시머레이저와; 상기 엑시머레이저에 의해 제공되는 광펄스의 발광간격을 변화시키는 변경수단을 구비하고, 발광간격이 변화되지 않을 경우보다는 각 광펄스의 평균레이저출력이 높게 되도록 상기 발광간격을 제하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  6. 제5항에 있어서, 제공되는 광펄스의 레이저출력을 검출하는 검출수단을 또 구비하고, 상기 검출수단에 의한 검출결과에 의거해서 레이저출력을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 변경수단은 발광시간이 최소로 되도록 발광간격을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 발광간격의 변화에 따라 상기 엑시머레이저의 방전전압을 제어하는 방전전압제어수단을 또 구비하고, 상기 방전전압제어수단은 각 광펄스의 레이저출력이 거의 일정해지도록 상기 방전전압을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  9. 엑시머레이저와; 상기 엑시머레이저에 의해 제공되는 광펄스의 발광간격을 변화시키는 변경수단과; 상기 발광간격의 변화에 따라 상기 엑시머레이저의 방전 전압을 제어하는 방전전압제어수단을 구비하고, 상기 방전전압제어수단은 각 광펄스의 레이저출력이 거의 일정해지도록 상기 방전전압을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 노광장치는 주사형노광장치인 것을 특징으로 하는 노광장치.
  11. 기판의 적정노광량에 이를 때까지 엑시머레이저에 의해 복수의 광펄스를 제공하는 단계와; 발광간격이 변화되지 않을 경우보다도 각 펄스의 평균레이저출력이 높게 되도록, 상기 적정노광량보다도 적은 소정의 노광량에 이를 때까지 상기 발광간격을 변화시키는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 노광방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 소정의 노광량에 이른 후, 기판의 노광량이 상기 적정노광량과 거의 동등해지도록 레이저출력을 제어하는 단계를 또 구비한 것을 특징으로 하는 노광방법.
  13. 엑시머레이저에 의해 기판에 복수의 광펄스를 제공하는 단계와; 상기 펄스의 발광간격을 변화시키는 단계를 구비하고, 발광간격이 변화되지 않을 경우보다도 각 펄스의 평균레이저출력이 높게 되도록 상기 발광간격을 제어하는 것을 특징으로 하는 디바이스제조방법.
  14. 엑시머레이저에 의해 기판에 복수의 광펄스를 제공하는 단계와; 상기 광펄스의 발광간격을 변화시키는 단계와;상기 발광간격의 변화에 따라 엑시머레이저의 방전전압을 제어하는 단계를 구비하고, 각 펄스의 레이저출력이 거의 일정해지도록 상기 방전전압을 제어하는 것을 특징으로 하는 디바이스제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960019984A 1995-06-05 1996-06-05 엑시머레이저 출력제어방법, 엑시머레이저, 노광장치와 방법, 및 디바이스 제조방법 KR100239628B1 (ko)

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