JPH06119971A - Ｅｌ素子の製造方法 - Google Patents
Ｅｌ素子の製造方法Info
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- JPH06119971A JPH06119971A JP4264741A JP26474192A JPH06119971A JP H06119971 A JPH06119971 A JP H06119971A JP 4264741 A JP4264741 A JP 4264741A JP 26474192 A JP26474192 A JP 26474192A JP H06119971 A JPH06119971 A JP H06119971A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 最初から最後まで多数個取りの状態で製造
し、量産性に優れたＥＬ素子の製造方法によりコストの
低減を達成する。 【構成】 透明導電フィルム１の一方の面に透明電極２
を形成したシート状の材料を用い、透明電極２側の面に
多数の発光層３を印刷して乾燥し、その上に絶縁層４を
印刷して乾燥し、その上に背面電極５を印刷して乾燥す
る。ここで取扱が容易な複数個ずつのシートに分割す
る。次に透明電極用及び背面電極用の引出し端子部に引
出し電極を配設して結合する。次にこのシートを反転し
て捕水フィルム８を一面にラミネートし、再び反転し
て、両引出し電極の連結部を切断する。この後でこのシ
ートの上下両面に防湿フィルム１０，１０をそれぞれ配
置し、引出し電極の接続部及び背面電極５の外周部を熱
圧着して封止する。封止後にそれぞれのＥＬ素子の外形
寸法に切断して完成品とする。
し、量産性に優れたＥＬ素子の製造方法によりコストの
低減を達成する。 【構成】 透明導電フィルム１の一方の面に透明電極２
を形成したシート状の材料を用い、透明電極２側の面に
多数の発光層３を印刷して乾燥し、その上に絶縁層４を
印刷して乾燥し、その上に背面電極５を印刷して乾燥す
る。ここで取扱が容易な複数個ずつのシートに分割す
る。次に透明電極用及び背面電極用の引出し端子部に引
出し電極を配設して結合する。次にこのシートを反転し
て捕水フィルム８を一面にラミネートし、再び反転し
て、両引出し電極の連結部を切断する。この後でこのシ
ートの上下両面に防湿フィルム１０，１０をそれぞれ配
置し、引出し電極の接続部及び背面電極５の外周部を熱
圧着して封止する。封止後にそれぞれのＥＬ素子の外形
寸法に切断して完成品とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＥＬ素子の製造方法に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より多数個取りによるＥＬ素子の製
造方法がある。これは、透明電極ベースフィルムの上面
に透明電極を形成した多数個取り用のシート上に、多数
個の発光層と絶縁層と背面電極とを順次積層し、ここで
プレス抜きにより各個別に切断して多数の発光セルを形
成する。以後は個別に各発光セルの上下両面にポリアミ
ドフィルムからなる捕水フィルムをラミネートし、透明
電極と背面電極のそれぞれに引出し電極を接続し、捕水
フィルムの上下両面に防湿フィルムをラミネートし、そ
の外周部を熱圧着して封止していた。
造方法がある。これは、透明電極ベースフィルムの上面
に透明電極を形成した多数個取り用のシート上に、多数
個の発光層と絶縁層と背面電極とを順次積層し、ここで
プレス抜きにより各個別に切断して多数の発光セルを形
成する。以後は個別に各発光セルの上下両面にポリアミ
ドフィルムからなる捕水フィルムをラミネートし、透明
電極と背面電極のそれぞれに引出し電極を接続し、捕水
フィルムの上下両面に防湿フィルムをラミネートし、そ
の外周部を熱圧着して封止していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この様な製造方法によ
ると、途中までは多数個取りにより量産性のある製造が
できるが、途中からは個別的なマニュアル作業になり、
量産性がなく、この為に作業コストが上昇していた。
ると、途中までは多数個取りにより量産性のある製造が
できるが、途中からは個別的なマニュアル作業になり、
量産性がなく、この為に作業コストが上昇していた。
【０００４】そこで本発明の目的は、最初から最後まで
多数個取りの状態で製造し、量産性に優れた製造方法に
よりコストの低減を達成することにある。
多数個取りの状態で製造し、量産性に優れた製造方法に
よりコストの低減を達成することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のＥＬ素子の製造方法は、シート状をなす透
明導電フィルムの透明電極側の面に、多数の発光層を印
刷して乾燥し、各発光層上に絶縁層を印刷して乾燥し、
各絶縁層上に背面電極を印刷して乾燥し、透明電極及び
背面電極にそれぞれ設けた引出し端子部に、予め連結部
により一体に形成してある各引出し電極を結合し、透明
導電フィルム側の面に捕水フィルムをラミネートし、上
記により形成された層の上下両面に防湿フィルムをそれ
ぞれ配置して外周部を熱圧着して封止し、それぞれのＥ
Ｌ素子の外形形状及び両引出し電極の連結部を切断する
ことにある。
に、本発明のＥＬ素子の製造方法は、シート状をなす透
明導電フィルムの透明電極側の面に、多数の発光層を印
刷して乾燥し、各発光層上に絶縁層を印刷して乾燥し、
各絶縁層上に背面電極を印刷して乾燥し、透明電極及び
背面電極にそれぞれ設けた引出し端子部に、予め連結部
により一体に形成してある各引出し電極を結合し、透明
導電フィルム側の面に捕水フィルムをラミネートし、上
記により形成された層の上下両面に防湿フィルムをそれ
ぞれ配置して外周部を熱圧着して封止し、それぞれのＥ
Ｌ素子の外形形状及び両引出し電極の連結部を切断する
ことにある。
【０００６】
【実施例】本発明の製造方法の一実施例を図面を参照し
て説明する。最初に、図２に示すように、透明導電フィ
ルム１の一方の面に透明電極２を形成してなるシート状
の材料を準備する。このシート材には印刷機用のガイド
孔ａ，ａと位置決め用のマークｂ…が所定の位置に形成
してある。このシート材の透明電極２を形成した側に、
所定の大きさで所定の位置に配置して多数の発光層３…
を形成する。この発光層３は、酸化亜鉛に銅や塩素など
の活性付与剤が含有された発光体と、予め溶剤に溶けた
高誘電バインダ（シアノエチル化セルロース等）とから
なるインクを、印刷し、乾燥して層を形成したものであ
る。
て説明する。最初に、図２に示すように、透明導電フィ
ルム１の一方の面に透明電極２を形成してなるシート状
の材料を準備する。このシート材には印刷機用のガイド
孔ａ，ａと位置決め用のマークｂ…が所定の位置に形成
してある。このシート材の透明電極２を形成した側に、
所定の大きさで所定の位置に配置して多数の発光層３…
を形成する。この発光層３は、酸化亜鉛に銅や塩素など
の活性付与剤が含有された発光体と、予め溶剤に溶けた
高誘電バインダ（シアノエチル化セルロース等）とから
なるインクを、印刷し、乾燥して層を形成したものであ
る。
【０００７】次に、図３に示すように、発光層の上に絶
縁層４…を形成する。絶縁層４はチタン酸バリウム粉
と、予め溶剤に溶かした高誘電バインダとからなるイン
クを、印刷し、乾燥して層を形成したもので、発光層３
よりも幾分大径に形成して絶縁を確実にする。また外周
の所定の位置から突出部４ａを形成しておく。突出部４
ａは、奇数列では上方に向かい、偶数列では下方に向か
って突出しており、相互に向かい合って突出する突出部
４ａ，４ａは連結している。
縁層４…を形成する。絶縁層４はチタン酸バリウム粉
と、予め溶剤に溶かした高誘電バインダとからなるイン
クを、印刷し、乾燥して層を形成したもので、発光層３
よりも幾分大径に形成して絶縁を確実にする。また外周
の所定の位置から突出部４ａを形成しておく。突出部４
ａは、奇数列では上方に向かい、偶数列では下方に向か
って突出しており、相互に向かい合って突出する突出部
４ａ，４ａは連結している。
【０００８】次に、図４に示すように、絶縁層４の上
に、背面電極５を形成する。この背面電極５は、カーボ
ン粉と溶剤に溶けた樹脂（アクリル系など）からなる導
電性ペーストを、印刷し、乾燥して形成したもので、突
出部４ａ上に引出し端子部５ａを突出して形成してお
く。このとき同時に同一の導電性ペーストで、引出し端
子部５ａと僅かに間隔をおいて並んで、透明電極２上に
透明電極用の引出し端子部２ａを形成する。尚、この例
は時計の文字板照明用のＥＬ素子であるので、背面電極
５の中心に指針貫通用の中心孔５ｂを設けた形状にして
いる。
に、背面電極５を形成する。この背面電極５は、カーボ
ン粉と溶剤に溶けた樹脂（アクリル系など）からなる導
電性ペーストを、印刷し、乾燥して形成したもので、突
出部４ａ上に引出し端子部５ａを突出して形成してお
く。このとき同時に同一の導電性ペーストで、引出し端
子部５ａと僅かに間隔をおいて並んで、透明電極２上に
透明電極用の引出し端子部２ａを形成する。尚、この例
は時計の文字板照明用のＥＬ素子であるので、背面電極
５の中心に指針貫通用の中心孔５ｂを設けた形状にして
いる。
【０００９】次に、取扱が容易なように、図４に点線で
示している切断線ｃ…に沿って切断し、４個単位のシー
トに分割する。同時に図５に示すガイド孔ｄ…も穿設し
ておく。従って以後の工程はこの４個単位のシートで進
行する。
示している切断線ｃ…に沿って切断し、４個単位のシー
トに分割する。同時に図５に示すガイド孔ｄ…も穿設し
ておく。従って以後の工程はこの４個単位のシートで進
行する。
【００１０】図５に示すように、切断された４個の組
は、その引出し端子部２ａ，５ａがいずれも上下の辺に
位置している。そこで次に、引出し端子部２ａ，５ａに
引出し電極を配設する。引出し電極は、例えばリン青銅
にニッケルメッキを施した板で作られ、引出し端子部２
ａに対接する位置から延伸する引出し電極６ａと、引出
し端子部５ａに対接する位置から延伸する引出し電極６
ｂとが、その外端部で連結部６ｃで連結されて一体を成
すものである。引出し電極６ａ，６ｂの先端部を引出し
端子部２ａ，５ａに載置した状態で、絶縁テープ７…を
用いて結合しておく。
は、その引出し端子部２ａ，５ａがいずれも上下の辺に
位置している。そこで次に、引出し端子部２ａ，５ａに
引出し電極を配設する。引出し電極は、例えばリン青銅
にニッケルメッキを施した板で作られ、引出し端子部２
ａに対接する位置から延伸する引出し電極６ａと、引出
し端子部５ａに対接する位置から延伸する引出し電極６
ｂとが、その外端部で連結部６ｃで連結されて一体を成
すものである。引出し電極６ａ，６ｂの先端部を引出し
端子部２ａ，５ａに載置した状態で、絶縁テープ７…を
用いて結合しておく。
【００１１】次に、図６に示すように、上記の４個の組
のシートを反転して、透明導電フイルム１側の面に、ポ
リアミドフィルムからなる捕水フィルム８を一面にラミ
ネートする。
のシートを反転して、透明導電フイルム１側の面に、ポ
リアミドフィルムからなる捕水フィルム８を一面にラミ
ネートする。
【００１２】次に、図７に示すように、上記の４個の組
のシートを再び反転して、背面電極５の中心孔５ｂに対
応して、中心孔９…を穿設し、このとき同時に引出し電
極の連結部６ｃ…を切断しておく。
のシートを再び反転して、背面電極５の中心孔５ｂに対
応して、中心孔９…を穿設し、このとき同時に引出し電
極の連結部６ｃ…を切断しておく。
【００１３】この後で、４個の組のシートの上下両面に
三フッ化ポリ塩化エチレン等の防湿フィルム１０，１０
をそれぞれ配置し、引出し電極６ａ，６ｂの接続部及び
背面電極５の外周部や、中心孔９の内周部を熱圧着して
封止する。
三フッ化ポリ塩化エチレン等の防湿フィルム１０，１０
をそれぞれ配置し、引出し電極６ａ，６ｂの接続部及び
背面電極５の外周部や、中心孔９の内周部を熱圧着して
封止する。
【００１４】最後に、図８に示すように、それぞれのＥ
Ｌ素子の外形形状に切断すると共に針孔１１…を穿設
し、完成品とする。この製造工程によって、図１に示し
た断面形状のＥＬ素子となる。
Ｌ素子の外形形状に切断すると共に針孔１１…を穿設
し、完成品とする。この製造工程によって、図１に示し
た断面形状のＥＬ素子となる。
【００１５】尚、ＥＬ素子に針孔１１を必要としないも
のでは、図７における中心孔９の穿設工程は不要であ
り、この工程で同時に行った連結部６ｃの切断の工程
は、最後に行った外形形状の切断工程と同時に行うこと
も可能である。
のでは、図７における中心孔９の穿設工程は不要であ
り、この工程で同時に行った連結部６ｃの切断の工程
は、最後に行った外形形状の切断工程と同時に行うこと
も可能である。
【００１６】また、図４における４個単位に切断する工
程は、引出し端子部２ａ，５ａが上下の辺に位置する多
数個の配列とすれば必ずしも必要としない。
程は、引出し端子部２ａ，５ａが上下の辺に位置する多
数個の配列とすれば必ずしも必要としない。
【００１７】図１のＥＬ素子は切断面に捕水フィルム８
の端面が露出しているので、他の実施例として、図９に
示すように、捕水フィルム１８が防湿フィルム１０内に
封止されている形状のＥＬ素子を製造することも同様な
工程により可能である。この場合には、図６で捕水フィ
ルムを形成する工程に代えて、図１０に示すように、予
め１個１個に切断した捕水フィルム１８…を所定の位置
にラミネートすれば良い。その他の工程は先に説明した
ものと同一である。
の端面が露出しているので、他の実施例として、図９に
示すように、捕水フィルム１８が防湿フィルム１０内に
封止されている形状のＥＬ素子を製造することも同様な
工程により可能である。この場合には、図６で捕水フィ
ルムを形成する工程に代えて、図１０に示すように、予
め１個１個に切断した捕水フィルム１８…を所定の位置
にラミネートすれば良い。その他の工程は先に説明した
ものと同一である。
【００１８】なお、背面電極用の導電性ペーストは、カ
ーボン粉の他にも金属粉を混練したものを用いてもよ
い。
ーボン粉の他にも金属粉を混練したものを用いてもよ
い。
【００１９】
【発明の効果】以上に説明したように、透明電極を形成
した透明導電フィルムのシート状の材料を用い、多数の
発光層，絶縁層などを順次印刷して積層して防湿フィル
ムで封止するまでの、最初から最後までの工程を多数個
取りの状態で製造するので、量産性に優れており、製造
コストの低減に顕著な効果がある。
した透明導電フィルムのシート状の材料を用い、多数の
発光層，絶縁層などを順次印刷して積層して防湿フィル
ムで封止するまでの、最初から最後までの工程を多数個
取りの状態で製造するので、量産性に優れており、製造
コストの低減に顕著な効果がある。
【図１】本発明の製造方法により製造したＥＬ素子の断
面図である。
面図である。
【図２】製造方法を工程順に説明する正面図である。
【図３】製造方法を工程順に説明する正面図である。
【図４】製造方法を工程順に説明する正面図である。
【図５】製造方法を工程順に説明する正面図である。
【図６】製造方法を工程順に説明する正面図である。
【図７】製造方法を工程順に説明する正面図である。
【図８】上記の製造方法により製造したＥＬ素子の正面
図である。
図である。
【図９】本発明の製造方法の一部を変更して製造したＥ
Ｌ素子の断面図である。
Ｌ素子の断面図である。
【図１０】図９の変更した部分の製造方法の工程を説明
する正面図である。
する正面図である。
１ 透明導電フィルム ２ 透明電極 ３ 発光層 ４ 絶縁層 ５ 背面電極 ６ａ，６ｂ 引出し電極 ６ｃ 連結部 ８，１８ 捕水フィルム １０ 防湿フィルム
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【実施例】本発明の製造方法の一実施例を図面を参照し
て説明する。最初に、図２に示すように、透明導電フィ
ルム１の一方の面に透明電極２を形成してなるシート状
の材料を準備する。このシート材には印刷機用のガイド
孔ａ，ａと位置決め用のマークｂ…が所定の位置に形成
してある。このシート材の透明電極２を形成した側に、
所定の大きさで所定の位置に配置して多数の発光層３…
を形成する。この発光層３は、硫化亜鉛に銅や塩素など
の活性付与剤が含有された発光体と、予め溶剤に溶けた
高誘電バインダ（シアノエチル化セルロース等）とから
なるインクを、印刷し、乾燥して層を形成したものであ
る。
て説明する。最初に、図２に示すように、透明導電フィ
ルム１の一方の面に透明電極２を形成してなるシート状
の材料を準備する。このシート材には印刷機用のガイド
孔ａ，ａと位置決め用のマークｂ…が所定の位置に形成
してある。このシート材の透明電極２を形成した側に、
所定の大きさで所定の位置に配置して多数の発光層３…
を形成する。この発光層３は、硫化亜鉛に銅や塩素など
の活性付与剤が含有された発光体と、予め溶剤に溶けた
高誘電バインダ（シアノエチル化セルロース等）とから
なるインクを、印刷し、乾燥して層を形成したものであ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】 シート状をなす透明導電フィルムの透明
電極側の面に、多数の発光層を印刷して乾燥し、 上記各発光層上に絶縁層を印刷して乾燥し、 上記各絶縁層上に背面電極を印刷して乾燥し、 上記透明電極及び上記背面電極にそれぞれ設けた引出し
端子部に、予め連結部により一体に形成してある各引出
し電極を結合し、 上記透明導電フィルム側の面に捕水フィルムをラミネー
トし、 上記により形成された層の上下両面に防湿フィルムをそ
れぞれ配置して外周部を熱圧着して封止し、 それぞれのＥＬ素子の外形形状及び上記両引出し電極の
連結部を切断することを特徴とするＥＬ素子の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4264741A JPH06119971A (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | Ｅｌ素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4264741A JPH06119971A (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | Ｅｌ素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06119971A true JPH06119971A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17407536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4264741A Pending JPH06119971A (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | Ｅｌ素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06119971A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5757838A (en) * | 1995-06-05 | 1998-05-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Output control method for excimer laser |
| US5892573A (en) * | 1995-09-29 | 1999-04-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and method with multiple light receiving means |
| US5949468A (en) * | 1995-07-17 | 1999-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Light quantity measuring system and exposure apparatus using the same |
| US6204911B1 (en) | 1995-08-30 | 2001-03-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and device manufacturing method |
| JP2016219244A (ja) * | 2015-05-20 | 2016-12-22 | 住友化学株式会社 | 有機ｅｌデバイス、及び、有機ｅｌデバイスの製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02197073A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-03 | Toshiba Corp | Ｅｌパネルの製造方法 |
| JPH03134991A (ja) * | 1989-10-19 | 1991-06-07 | Hitachi Maxell Ltd | 分散形エレクトロルミネッセンス素子 |
| JPH03219590A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-26 | Hitachi Maxell Ltd | 分散形エレクトロルミネッセンス素子 |
| JPH03297091A (ja) * | 1990-04-16 | 1991-12-27 | Sumitomo Chem Co Ltd | Ｅｌ素子 |
-
1992
- 1992-10-02 JP JP4264741A patent/JPH06119971A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02197073A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-03 | Toshiba Corp | Ｅｌパネルの製造方法 |
| JPH03134991A (ja) * | 1989-10-19 | 1991-06-07 | Hitachi Maxell Ltd | 分散形エレクトロルミネッセンス素子 |
| JPH03219590A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-26 | Hitachi Maxell Ltd | 分散形エレクトロルミネッセンス素子 |
| JPH03297091A (ja) * | 1990-04-16 | 1991-12-27 | Sumitomo Chem Co Ltd | Ｅｌ素子 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5757838A (en) * | 1995-06-05 | 1998-05-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Output control method for excimer laser |
| US5949468A (en) * | 1995-07-17 | 1999-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Light quantity measuring system and exposure apparatus using the same |
| US6204911B1 (en) | 1995-08-30 | 2001-03-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and device manufacturing method |
| US6424405B2 (en) | 1995-08-30 | 2002-07-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and device manufacturing method |
| US5892573A (en) * | 1995-09-29 | 1999-04-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and method with multiple light receiving means |
| JP2016219244A (ja) * | 2015-05-20 | 2016-12-22 | 住友化学株式会社 | 有機ｅｌデバイス、及び、有機ｅｌデバイスの製造方法 |
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