KR940020656A - 초음파모터 및 초음파모터의 제어법(ultrasonic motor and its speed contral method) - Google Patents

초음파모터 및 초음파모터의 제어법(ultrasonic motor and its speed contral method) Download PDF

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KR940020656A
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오사무 카와사키
타카히로 니시쿠라
카츠 타케다
타카시 노지마
카츠미 이마다
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤(Matsushita Electric Ind. Co., Ltd.)
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Abstract

본 발명은, 진동체에 여진하는 탄성진행파의 진동을 복수의 진동검출 전극으로부터 검출해서 안정되게 정밀도 좋게 제어할 수 있는 초음파모터와 초음파모터의 제어법을 제공하는 것을 목적으로 하고, 그 구성에 있어서, 압전체(2)에 여진하는 탄성 진행파의 진동을 검출하기 위한 진동검출전극을 복수설치하고, 상기 진동검출 전극으로부터의 출력신호의 진폭을 각각에 대해서 검출해서 가산하고, 가산한 결과의 값을 제어신호로서 초음파모터의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

초음파모터 및 초음파모터의 제어법(ULTRASOINC MOTOR AND ITS SPEED CONTRAL METHOD)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 초음파모터의 구성을 표시한 도면.
제2도(a)는 본 발명의 일실시예에 있어서의 원판형초음파모터의 압전체의 제1면의 평면도, (b)는 동 압전체의 제2면의 평면도.
제3도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 초음파모터의 압전체와 정재파의 관계도.
제4도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 초음파 모터의 제어법을 표시한 도면.

Claims (14)

  1. 압전체와 탄성체로 이루어진 진동체와, 상기 진동체상에 가압수단을 개재해서 가압접촉하는 이동체와, 상기 진동체에 시간적, 위치적으로 위상이 다른 2개의 정재파를 발생시킴으로써 탄성진행파를 여진하기위한 구동신호를 발생하는 구동회로와, 상기 압전체에 상기 구동신호를 상기 압전체에 입력하는 구동전극과, 상기 압전체에 상기 진동체의 진동을 검출하는 복수개의 진동검출전극과, 상기 복수개의 진동검출전극오르부터의 출력신호에 의해서 상기 진동체의 진동의 크기를 검출하는 진목검출회로와, 상기 복수개의 진동검출회로로부터의 출력신호를 가산하는 가산회로의 상기 가산회로의 출력을 사용해서 상기 이동체의 회전제어를 행하는 제어회로를 가진 것을 특징으로 하는 초음파모터.
  2. 압전체와 탄성체로 이루어진 진동체와, 상기 진동체상에 가압수단을 개재해서 가압접촉하는 이동체와, 상기 진동체에 시간적, 위치적으로 위상이 다른 제1과 제2의 2개의 정재파를 발생시킴으로써 탄성진행파를 여진하기 위한 구동신호를 발생하는 구동회로와, 상기 압전체에 상기 구동신호를 상기 압전체에 입력하는 구동전극과, 상기 압전체에 상기 제1정재파의 복부를 중심으로 하는 위치에 제1 진동검출전극과 상기 제2정재파의 마디부를 중심으로 하는 위치에 제2진동검출전극과, 상기 제1과 제2진동검출회로로부터의 출력신호에 의해서 상기 진동체의 진동의 크기를 검출하는 2개의 진폭 검출회로와, 상기 2개의 진동검출전극으로부터의 출력신호를 가산하는 가산회로와 상기 가산회로의 출력을 사용해서 상기 이동체의 회전제어를 행하는 제어회로를 가지는 것을 특징으로 하는 초음파모터.
  3. 압전체와 탄성체로 이루어진 진동체와, 상기 진동체상에 가압수단을 개재해서 가압접촉하는 이동체와, 상기 진도체에 시간적, 위치적으로 위상이 다른 2개의 정재파를 발생시킴으로써 탄성진행파를 여진하기 위한 구동신호를 발생하는 구동회로와, 상기 압전체에 상기 구동신호를 상기 압전체에 입력하는 구동전극과, 상기 압전체에 한쪽의 상기 정재파의 복부와 복부의 사이, 또는 마디부와 마디부의 사이에 상당하는 위치를 2등분하는 제1진동 검출전극과 제2진동 검출전극과 상기 제1과제2진동검출전극으로 부터의 출력신호에 의해서 상기 진동체의 진동의 크기를 검출하는 2개의 진폭검출회로와, 상기 2개의 진동검출회로로부터의 출력신호를 가산하는 가산회로와 상기 가산회로의 출력을 사용해서 상기 이동체의 회전제어를 행하는 제어회로를 가진 것을 특징으로 하는 초음파 모터.
  4. 제1항∼제3항의 어느 한 항에 있어서, 압전체에 형성한 진동검출용전극이 상기 압전체의 직경방향의 일부에만 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 초음파모터.
  5. 제1항∼제3항의 어느 한 항에 있어서, 압전체에 형성한 구동전극이 복수로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 초음파 모터.
  6. 제4항과 제5항에 있어서, 압전체에 형성한 구동전극이 복수로 분리되고, 상기 분리된 구동전극의 적어도 1조 이상이 상기 압전체상에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 초음파모터.
  7. 제1항∼제6항의 어느 한 항에 있어서, 압전체의 적어도 한쪽의 면에 공통전극을 구비한 것을 특징으로 하는 초음파 모터.
  8. 제7항에 있어서, 압전체의 양면에 형성한 공통전극이, 압전체의 내주부에서 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 초음파 모터.
  9. 제1항∼제3항의 어느 한 한에 있어서, 압전체에 형성한 복수의 진동검출전극이 인접하지 않고 압전체의 중심에 대해서 대략 대향하는 위치에 있는 것을 특징으로 하는 초음파 모터.
  10. 압전체와 탄성체로 이루어진 진동체와, 상기 진동체상에 가압수단을 개재해서 가압접촉하는 이동체와, 상기 진동체에 시간적, 위치적으로 위상이 다른 2개의 정재파를 발생시킴으로써 탄성진행파를 여진하기 위한 구동신호를 발생하는 구동회로와, 상기 압전체에 상기 구동신호를 상기 압전체에 입력하는 구동전극과, 상기 압전체에 상기 진동체의 진동을 검출하는 복수개의 진동검출전극과, 상기 복수개의 진동검출전극으로부터의 출력신호에 의해서 상기 진동체의 진동의 크기를 검출하는 진폭검출회로와, 상기 복수개의 진동검출회로의 어느 출력신호를 제어에 사용할 지 선택하는 선택회로와 상기 선택회로의 출력을 사용해서 상기 이동체의 회전제어를 행하는 제어회로를 가진 것을 특징으로 하는 초음파모터.
  11. 압전체와 탄성체로 이루어진 진동체와, 상기 진동체상에 가압수단을 개재해서 가압접촉하는 이동체와, 상기 진도체에 시간적, 위치적으로 위상이 다른 2개의 정재파를 발생시킴으로써 탄성진행파를 여진하기 위한 구동신호를 발생하는 구동회로와, 상기 압전체에 상기 진동체의 진동을 검출하는 복수개의 진동검출전극과, 상기 복수개의 진동검출전극의 어느 출력신호를 제어에 사용할지를 선택하는 선택회로와 선택된 상기 진동검출회로로부터의 출력신호에 의해 상기 진동체의 진동의 크기를 검출하는 진폭검출회로와, 상기 이동체의 회전제어를 행하는 제어회로를 가지는 것을 특징으로 하는 초음파 모터.
  12. 압전체를 교류전압에 의해서 수동하고, 상기 압전체와 탄성체로 구성되는 진동체에 위상이 다른 2개의 정재파를 발생시켜서 탄성진행차를 여진함으로써, 상기 진동체상에 가압접촉해서 설치된 이동체를 이동시키는 초음파모터에 있어서, 상기 진동체의 탄성진동을 검출하는 복수의 진동검출전극으로부터의 복수의 출력신호를 인출하고, 상기 복수의 출력신호로부터 상기 진동체의 진동의 크기를 나타내는 신호로 변환하고, 상기 전동체의 진동의 크기를 나타내는 신호를 가산하고, 가산한 값을 사용해서 상기 초음파모터를 제어하는 것을 특징으로 하는 초음파모터의 제어법.
  13. 압전체를 교류전압에 의해서 구동하고, 상기 압전체와 탄성체로 구성되는 진동체에 위상이 다른 2개의 정재파를 발생시켜서 탄성 진행파를 여진함으로써, 상기 진동체상에 가압접촉해서 설치된 이동체를 이동시키는 초음파모터에 상기 진동체상에 가압접촉해서 설치된 이동체를 이동시키는 초음파모터에 있어서, 상기 진동체의 탄선진동을 검출하는 복수의 출력신호로부터 상기 진동체의 진동의 크기를 나타내는 신호로 변환하고, 상기 진동체에 여진하는 탄성진행파의 진행방향에 의해 상기 진동체의 진동의 크기를 나타내는 제어신호를 제어신호로서 선택하는 것을 특징으로 하는 초음파모터의 제어 방법.
  14. 압전체를 교류전압에 의해서 구동하고, 상기 압전체와 탄성체로 구성되는 진동체에 위상이 다른 2개의 정재파를 발생시켜서 탄성진행파를 여진함으로써, 상기 진동체상에 가압 접촉해서 설치된 이동체를 이동시키는 초음파모터에 있어서, 상기 진동체의 탄성 진동을 검출하는 복수의 진동검출전극으로부터의 복수의 출력신호를 인출하고, 상기 진동체에 여진하는 탄성진행파의 진행방향에 의해 상기 출력신호로부터 선택해서 상기 진동체의 진동의 크기를 나타내는 신호로 변환하고, 제어신호로서 제어하는 것을 특징으로 하는 초음파모터의 제어법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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