JPS62210871A - 超音波モ−タ− - Google Patents

超音波モ−タ−

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JPS62210871A
JPS62210871A JP61051828A JP5182886A JPS62210871A JP S62210871 A JPS62210871 A JP S62210871A JP 61051828 A JP61051828 A JP 61051828A JP 5182886 A JP5182886 A JP 5182886A JP S62210871 A JPS62210871 A JP S62210871A
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JP
Japan
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electrode
current
amplitude
piezoelectric
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JP61051828A
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Kazuo Hakamata
和男 袴田
Tadao Takagi
忠雄 高木
Shigemasa Sato
重正 佐藤
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Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/14Drive circuits; Control arrangements or methods
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、弾性体と、該弾性体を励振させる圧電体とを
有する超音波モーターに関する。
(従来の技術) 従来の超音波モーターとしては、効率のよい駆動を得る
ために、例えば第4図に示すように、圧電体に入力され
る2つの交流信号の電圧値が互いに等しくなるように制
御しているものがある。
すなわち、第4図に示す従来例は、超音波モーターlの
一部を構成する圧電体2の電極2aには、発振器3.正
弦波発生器4aおよびアンプ5aを介して第1の交流信
号が入力されており、圧電体2の電極2bには発振器3
.正弦波発生器4bおよびアンプ5bを介して前記第1
の交流信号とはπ/2だけ位相のずれた第2の交流信号
が入力されており、コイノi/6aの一端Aからは電極
2aに入力される第1の交流信号の電圧を、コイル6b
の一端Bからは電極2bに入力される第2の交流信号の
電圧をそれぞれ検出して比較する電圧比較回路7を有し
て成り、一端Aの電位と一端Bの電位とが等しくなるよ
うに、該電圧比較回路7はアンプ5a、5bを制御し、
これによって、電極2a、2bに入力される2つの交流
信号の電圧値が互いに等しくなるように制御しているも
のである。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、このような従来の超音波モーターでは、
電極2a、2bの各圧電体部分のインピーダンスは製造
上どうしても異なってしまい、その結果、電極2a、2
bに入力される2つの交流信号の電圧値が互いに等しく
なるように制御しても、圧電体2に流れる電流の大きさ
は電極2aの部分と電極2bの部分とでは異なってしま
い、また、第5図に示すように、圧電体2に流れる電流
が大きいと、発生する超音波振動も大きいという圧電体
の特性があるため、電極2a、2bの各圧電体部分で発
生する超音波振動の振幅が異なってしまう。例えば、第
3図に示すように、電極2aの圧電体部分では振幅αの
定在波30aが発生し又電極2bの圧電体部分では振幅
α/2の定在波30bが発生するとする。
なお、この第3図は、表面波の発生の様子を時間をおっ
て示したもので、図の横軸には位相を、縦軸には振幅α
をそれぞれとっており、表面波30は、電極2aの圧電
体部分に発生する超音波振動の波形30aと電極2bの
圧電体部分に発生する超音波振動の波形30bとを合成
したものである。また、第3図(a)はある時刻T=0
°での状態を、第3図(b)は時刻T=O°から1/8
周期分だけ時間経過した時刻T=45°での状態を、第
3図(c)は時刻T=O°から174周期分だけ時間経
過した時刻T・90°での状態を、第3図(d)は時刻
T−0°から3/8周期分だけ時間経過した時刻T=1
35°での状態を、第3図(e)は時刻T=0°から1
72周期分だけ時間経過した時刻T=18Q°での状態
をそれぞれ示している。第3図(a)は、電極2aの圧
電体部分に振幅αの定在波30aが発生し且つ電極2b
の圧電体部分に振幅0の定在波30bが発生している場
合であり、この合成波30は定在波30aと等しい。第
3図(b)は、第3図(a)の状態から時間的にT=4
5°経過し且つ位相が45°ずれた状態であり、電極2
aの圧電体部分に振幅αの定在波30aが発生し且つ電
極2bの圧電体部分に振幅α/2の定在波30bが発生
している場合であり、この合成波30は、定在波30a
と定在波30bの合成の波である。第3図(C)は、第
3図(a)の状態から時間的にT=90°経過し且つ位
相が90°ずれた状態であり、電極2aの圧電体部分に
振幅Oの定在波30aが発生し且つ電極2bの圧電体部
分に振幅α/2の定在波30bが発生している場合であ
り、この合成波30は定在波30bと等しい。第3図(
d)、(e)も以下同様である。
したがって、上記従来の超音波モーターでは、電極2a
、2bの各圧電体部分で発生する超音波振動の合成でで
きる表面波は、第3図(a)〜(e)に示すように、時
間Tとともに伝播速度と振幅αが変化してしまい、これ
によって2弾性体と該弾性体に圧接されているローター
との接触が不完全になり、超音波モーターの動作が不安
定となって効率が低下してしまうという問題点があった
本発明は、このような従来の問題点に着目して成された
もので、伝播速度、振幅が常に一定の表面波を発生させ
ることができ、これによって効率および動作の安定性が
向上した超音波モーターを提供することを目的としてい
る。
(問題点を解決するための手段) かかる目的を達成するための本発明の要旨は、弾性体と
、該弾性体を励振させる圧電体2とを有する超音波モー
ター1において、前記圧電体2に入力される2つの交流
信号り、iの電流を検出し、その電流値が互いに等しく
なるように該2つの交流信号り、iの電流を制御する交
流電流制御手段(電流値比較回路9a、9b)を備えて
成ることを特徴とする超音波モーターに存する。
(作用) そして、上記超音波モーター1では、圧電体2に入力さ
れる2つの交流信号り、Iの電流は、その電流値が互い
に等しくなるように交流電流制御手段(電流値比較回路
9a、9b)によって制御され、これによって伝播速度
、振幅が常に一定の表面波が圧電体2に発生するように
成っている。
(実施例) 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。な
お、上記従来例と同様の部位には同一の符号を付する。
第1図および第2図は本発明の一実施例を示している。
第1図に示すように、超音波モーター1は、弾性体(図
示省略)および該弾性体を励振させる圧電体2からなる
ステーターと、該ステーターによって回転されるロータ
ー(図示省略)とを有して成り、圧電体2の励振によっ
て弾性体に表面波が生じ、この表面波によってローター
が回転するように構成されている。
圧電体2の片側の面には、電極2a、2b。
2Cおよび2dが形成されており、該電極2a。
2bには超音波モーター1の駆動系が接続されている。
超音波モーターlの駆動系は、発振器3.正弦波発生器
4a 、 4b 、アンプ50a、50b、コイル6a
、6b、電流値検出用抵抗8a、8bおよび電流値比較
回路9a、9bから構成されている。
発振器3は、互いにπ/2だけ位相の異なる第1、第2
信号a、bを出力するものである。
正弦波発生器4a、4bは、第1.第2信号a、bに同
期して第1.第2の正弦波信号c、dをそれぞれ出力す
るものである。
アンプ50a、50bは、一方の入力端子に入った第1
.第2の正弦波信号c、dを他方の入力端子に入った増
幅率信号e、fに応じて増幅した第1.第2の交流信号
り、iをそれぞれ出力するものである。
アンプ50aの一方の出力端子は電流値検出用抵抗8a
を介して電極2aに、その他方の出力端子は接地された
電極2cにそれぞれ接続されている。同様に、アンプ5
0bの一方の出力端子は電流値検出用抵抗8bを介して
電極2bに、その他方の出力端子は電極2cにそれぞれ
接続されている。
コイル6aの一端は電流値検出用抵抗8aを介してアン
プ50aの一方の出力端子に、コイル6aの他端はアン
プ50aの他方の出力端子にそれぞれ接続されている。
同様に、コイル6bの一端は電流値検出用抵抗8bを介
してアンプ50bの一方の出力端子に、コイル6bの他
端はアンプ50bの他方の出力端子にそれぞれ接続され
ている。
前記電流値比較回路9aは、電流値検出用抵抗8aの端
子間電圧を検出し、該検出した電圧から換算した電流値
を基準電流値gと比較し、その比較結果に応じた増幅率
信号eをアンプ50aの他方の入力端子に出力するもの
である。同様に、前記電流値比較回路9bは、電流値検
出用抵抗8bの端子間電圧を検出し、該検出した電圧か
ら換算した電流値を基準電流値gと比較し、その比較結
果に応じた増幅率信号fをアンプ50bの他方の入力端
子に出力するものである。
以下、作用を説明する。
発振器3から互いにπ/2だけ位相の異なる第1、第2
信号a、bが正弦波発生器4a、4bにそれぞれ出力さ
れると、正弦波発生器4a、4bは第1.第2の正弦波
信号c、d・をアンプ50a、50bの一方の入力端子
にそれぞれ出力する。
これによって、該アンプ50aの一方の出力端子からは
増幅率信号eに応じた第1の交流信号りが出力され、こ
の第1の交流信号りは電流値検出用抵抗8aを介して電
極2aに流れ込む。また、アンプ50bの一方の出力端
子からは、第1の交流信号りとはπ/2だけ位相の異な
り、増幅率信号fに応じた第2の交流信号iが出力され
、この第2の交流信号iは電流値検出用抵抗8bを介し
て電極2bに流れ込む。
このとき、電流値比較回路9aは、電流値検出用抵抗8
aの端子間電圧を検出し、該検出した端子間電圧から換
算した電極2aに流れ込む第1の交流信号りの電流値を
基準電流値gと比較し、その電流値が基準電流値gより
大きい場合には、増幅率信号eを小さくする方向に働き
、その逆の場合には増幅率信号eを大きくする方向に働
く。
同様に、電流値比較回路9bは、電流値検出用抵抗8b
の端子間電圧を検出し、該検出した端子間電圧から換算
した電極2bに流れ込む第2の交流信号iの電流値を基
準電流値gと比較し、その電流値が基準電流値gより大
きい場合には、増幅率信号fを小さくする方向に働き、
その逆の場合には増幅率信号fを大きくする方向に働く
したがって、電極2a、2bに流れ込む電流値がそれぞ
れ基準電流値gと同じになるように制御される。
このように、電極2a、2bには常に基準電流値gと同
一の一定電流が流れるので、電極2aの圧電体部分に発
生する超音波振動の振幅は、電極2bの圧電体部分に発
生する超音波振動の振幅と常に等しくなる。
したがって、上記超音波モーターlでは、電極2a、2
bの各圧電体部分で発生する超音波振動の合成でできる
表面波は、第2図(a)〜(B)に示すように、伝播速
度と振幅が常に一定であり、これによって、前記不図示
の弾性体と該弾性体に圧接されているローターとの接触
が完全となり、動作の安定した、高効率の駆動が得られ
る。
ここで、この第2図は、表面波の発生の様子を時間をお
って示したもので、図の横軸には位相を、縦軸には振幅
をそれぞれとっており、表面波20は、電極2aの圧電
体部分に発生する超音波振動の波形20aと電極2bの
圧電体部分に発生する超音波振動の波形20bとを合成
したものである。また、第2図(a) tiある時刻T
=0°での状態を、第2図(b)は時刻?=0°からl
/8周期分だけ時間経過した時刻T=45°での状態を
、第2図(c)は時刻?=06から174周期分だけ時
間経過した時刻T=90°での状態を、第2図(d)は
時刻T=0°から3/8周期分だけ時間経過した時刻?
=135°での状態を、第2図(e)は時刻T=06か
ら1/2周期分だけ時間経過した時刻T=180°での
状態をそれぞれ示している。第2図(a)は、電極2a
の圧電体部分に振幅αの定在波20aが発生し且つ電極
2bの圧電体部分に振幅Oの定在波20bが発生してい
る場合であり、この合成波20は定在波20aと等しい
。第2図(b)は、第2図(a)の状態から時間的に〒
=45°経過し且つ位相が45°ずれた状態であり、電
極2aの圧電体部分に振幅αの定在波20aが発生し且
つ電極2bの圧電体部分に振幅α/2の定在波20bが
発生している場合であり、この合成波20は、定在波2
0aと定在波20bの合成の波である。第2図(c)は
、第2図(a)の状態から時間的にT=90°経過し且
つ位相が90°ずれた状態であり、電極2aの圧電体部
分に振幅Oの定在波20aが発生し且つ電極2bの圧電
体部分に振幅α/2の定在波20bが発生している場合
であり、この合成波20は定在波20bと等しい。第2
図(d)、(e)も以下同様である。
なお、上記実施例では、圧電体2に入力される2つの交
流信号り、iの電流を検出し、その電流値が互いに等し
くなるように該2つの交流信号り、iの電流を制御する
交流電流制御手段が、電流値比較回路9a、9bによっ
て構成されている。
また、上記実施例において、前記交流電流制御手段を、
電極2a、2bにそれぞれ流れ込む電流どうしを比較し
、その電流値が互いに等しくなるように制御する構成と
してもよい。
(発明の効果) 本発明に係る超音波モーターによれば、圧電体に入力さ
れる2つの交流信号の電流は、その電流値が互いに等し
くなるように交流電流制御手段によって制御されるので
、圧電体に発生する超音波振動の合成でできる表面波の
伝播速度と振幅が常に一定となり、これによって、弾性
体と該弾性体に圧接されているローターとの接触が完全
となり、効率および動作の安定性が白玉する。
また、前記交流電流制御手段を、圧電体に流れる電流を
基準電流値と常に比較するように構成した場合には、圧
電体には常に基準電流値と同一の一定電流が流れるので
、過大な電流が圧電体に流れることがなく、過大な電流
による圧電体の破壊を防止できる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本発明の一実施例を示しており、
第1図は超音波モーターおよびその駆動系を示すブロッ
ク図、第2図(a)〜(e)は表面波の発生の様子を時
間をおって示した説明図、第3図および第4図は従来例
を示しており、第3図(a)〜(e)は表面波の発生の
様子を時間をおって示した説明図、第4図は超音波モー
ターおよびその駆動系を示すブロック図、第5図は圧電
体に流れる電流と超音波振動の振幅との関係を示す特性
図である。 l・・・超音波モーター    2・・・圧電体9a 
、 9b・・・電流値比較回路(交流電流制御手段)率
 1 口

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)弾性体と、該弾性体を励振させる圧電体とを有す
    る超音波モーターにおいて、前記圧電体に入力される2
    つの交流信号の電流を検出し、その電流値が互いに等し
    くなるように該2つの交流信号の電流を制御する交流電
    流制御手段を備えて成ることを特徴とする超音波モータ
    ー。
  2. (2)前記交流電流制御手段は、基準電流値を有し、検
    出された前記2つの交流信号の電流を該基準電流値と比
    較することを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
    超音波モーター。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0226285A (ja) * 1988-07-15 1990-01-29 Sony Corp 超音波モータの駆動回路
JP2010183819A (ja) * 2009-02-09 2010-08-19 Panasonic Corp 駆動装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61124274A (ja) * 1984-11-19 1986-06-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61124274A (ja) * 1984-11-19 1986-06-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0226285A (ja) * 1988-07-15 1990-01-29 Sony Corp 超音波モータの駆動回路
JP2010183819A (ja) * 2009-02-09 2010-08-19 Panasonic Corp 駆動装置
US8493006B2 (en) 2009-02-09 2013-07-23 Panasonic Corporation Drive unit
US9197142B2 (en) 2009-02-09 2015-11-24 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Drive unit

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