JPH0947046A - 超音波振動子及びその振動検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、縦振動と捻れ振動を分離して検出
可能とした超音波振動子を提供する。 【解決手段】 本発明は、角柱状の弾性体１１と、この
弾性体１１に縦振動と捩れ振動とを同時に励起するよう
に配置した積層型圧電素子１４ａ、１４ｂとを有する超
音波振動子１０において、前記弾性体１１に固定した振
動検出用圧電素子１７により、この弾性体１１に生じる
縦振動及び捩れ振動に対応し、かつ、位相差を有する縦
振動成分電圧及び捩れ振動成分電圧を検出するものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は超音波振動子及びそ
の振動検出方法に関し、より詳しくは、超音波モータ等
に適用して好適な超音波振動子及びこの超音波振動子に
生じる縦振動と捻り振動を的確に検出し得る超音波振動
子の振動検出方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、超音波モータの研究がさかんにな
され、一部実用化されている。これらは、超音波振動子
に超音波楕円振動を発生させ、この超音波振動子に接す
る物体（ロータ）を回転させる回転運動に変換するもの
である。超音波楕円振動を発生させる方式はいくつか考
案されており、その一つに超音波振動子に縦振動と捻れ
振動を同時に発生させ、これらを合成する方式がある。

【０００３】このような超音波振動子の一例として、図
２２乃至図２３に示すものが提案されている。図２２乃
至図２３に示す超音波振動子は、振動部材としての角柱
状の弾性体１１１と、この弾性体１１１の正面及び背面
に各々配置した同一構造からなる２個の積層型圧電素子
１１４ａ、１１４ｂと、前記弾性体１１１の一方の端面
に配置した円環状の駆動子１１５とを有している。

【０００４】前記弾性体１１１の正面上部には、図２３
に示すように、この弾性体１１１と一体の右下がりの傾
斜面を有し三角形状を呈する突出部１１２ａが形成さ
れ、前記弾性体１１１の背面には、図２４に示すよう
に、この弾性体１１１と一体の左下がりの傾斜斜面を有
し三角形状を呈する突出部１１２ｂが形成されている。

【０００５】また、前記弾性体１１１の正面下部側に
は、前記突出部１１２ａと対向する配置で右下がりの傾
斜面を有し三角形状を呈する挟持用弾性体１１３ａがビ
ス１１６により弾性体に固定される様になっており、こ
れにより前記弾性体１１１の正面において前記突出部１
１２ａと前記挟持用弾性体１１３ａとにより一方の積層
型圧電素子１１４ａを圧縮状態で保持するようになって
いる。

【０００６】同様に、前記弾性体１１１の背面の下部側
には、前記突出部１１２ｂと対向する配置で左下がりの
傾斜面を有し、三角形状を呈する挟持用弾性体１１３ｂ
がビス１１６により弾性体に固定されるようになってお
り、これにより、前記弾性体１１１の背面において前記
突出部１１２ｂと前記挟持用弾性体１１３ｂとにより他
方の積層型圧電素子１１４ｂを圧縮状態で保持する様に
なっている。

【０００７】この超音波振動子１１０は、その１次の縦
共振振動（図２３における上下方向の振動）と１次の捻
れ共振振動（縦振動方向を捻れの軸とする振動）が略同
じ周波数になるように形状が決められている。

【０００８】そして、積層型圧電素子１１４ａ、１１４
ｂに互いに位相が等しい交流電圧を印加すると、超音波
振動子１１０には縦共振振動が発生する。また，互いに
位相が１８０度異なる交流電圧を印加すると、超音波振
動子１１０には捻れ共振振動が発生する。縦振動と捻れ
振動を同時に発生させる場合には、互いに位相が９０度
異なる交流電圧を印加する。

【０００９】上述した縦振動と捻れ振動が同時に発生す
ると、これらが合成されて、超音波振動子１１０の端面
に固定された駆動子１１５に楕円振動が発生する。この
楕円振動に図示しないロータが接するように配置すれ
ば、ロータが回転し超音波モータとなる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記超音波振動子を用
いた超音波モータを最適な回転状態とするためには、超
音波振振動子１１０を共振周波数又はその近傍の周波数
で駆動しなければならない。このためには、超音波振動
子１１０の振動状態を検出して共振状態からのずれを補
正するとよい。

【００１１】しかしながら、前記超音波振動子１１０の
場合には、その振動状態を検出する手段がなく、さらに
縦振動と捻れ振動との２つの振動を個別に観測すること
も困難である。

【００１２】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、縦振動と捻れ振動を分離して検出可能
とした超音波振動子及び超音波振動子の縦振動と捻れ振
動とを個別に観測し得る超音波振動子の振動検出方法を
提供する。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
角柱状の振動部材と、この振動部材に縦振動と捩れ振動
とを同時に励起するように配置した駆動用圧電素子とを
有する超音波振動子において、前記振動部材に固定さ
れ、この振動部材に生じる縦振動及び捩れ振動に対応
し、かつ、位相差を有する縦振動成分電圧及び捩れ振動
成分電圧を検出する振動検出用圧電素子を設けたことを
特徴とするものである。

【００１４】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明における前記振動検出用圧電素子は、１つ又は複数の
圧電素子であって、全ての圧電素子の電極の合計が３つ
以上あり、前記縦振動の振動方向と前記捩れ振動の振動
方向に対して前記振動検出用圧電素子の各圧電素子の分
極方向がそれぞれ少なくとも２種類以上存在することを
特徴とするものである。

【００１５】請求項３記載の発明は、角柱状の振動部材
と、この振動部材に縦振動と捩れ振動とを同時に励起す
るように固定した駆動用圧電素子とを有する超音波振動
子の振動を検出する振動検出方法であって、前記振動部
材に固定した振動検出用圧電素子により、前記振動部材
に生じる縦振動及び捩れ振動に対応し、かつ、位相差を
有する縦振動成分電圧及び捩れ振動成分電圧を検出し、
前記振動検出用圧電素子により検出した前記位相差を有
する縦振動成分電圧及び捩れ振動成分電圧を振動検出回
路により演算して縦振動成分電圧と捻れ振動成分電圧と
に分離することを特徴とするものである。

【００１６】請求項１記載の超音波振動子によれば、前
記振動部材に固定された振動検出用圧電素子により、こ
の振動部材に生じる縦振動及び捩れ振動に対応し、か
つ、位相差を有する縦振動成分電圧及び捩れ振動成分電
圧を検出するができ、超音波振動子に生じる縦振動と捻
れ振動を分離して検出可能とすることができる。

【００１７】請求項２記載の超音波振動子によれば、請
求項１記載の発明における前記振動検出用圧電素子が、
１つ又は複数の圧電素子からなり、全ての圧電素子の電
極の合計が３つ以上あり、前記縦振動の振動方向と前記
捩れ振動の振動方向に対して前記振動検出用圧電素子の
各圧電素子の分極方向がそれぞれ少なくとも２種類以上
存在する構造を有するので、前記振動検出用圧電素子が
検出する縦振動成分電圧と捩れ振動成分電圧とに位相差
を持たせることができる。

【００１８】請求項３記載の超音波振動子の振動検出方
法によれば、前記振動部材に固定した振動検出用圧電素
子により、前記振動部材に生じる縦振動及び捩れ振動に
対応し、かつ、位相差を有する縦振動成分電圧及び捩れ
振動成分電圧を検出し、前記振動検出用圧電素子により
検出した前記位相差を有する縦振動成分電圧及び捩れ振
動成分電圧を振動検出回路により演算して縦振動成分電
圧と捻れ振動成分電圧とに分離するようにしたので、超
音波振動子に生じる縦振動及び捩れ振動を分離して個別
に観測することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。

【００２０】［実施の形態１］図１乃至図１２を参照し
て本発明の実施の形態１の超音波振動子について説明す
る。

【００２１】図１乃至図５に示す超音波振動子１０は、
振動部材としての角柱状の弾性体１１と、この弾性体１
１の正面及び背面に各々配置した同一構造からなる２個
の積層型圧電素子１４ａ、１４ｂと、前記弾性体１１の
一方の端面に配置した円環状の駆動子１５とを有してい
る。

【００２２】前記弾性体１１の正面上部には、三角形状
を呈する突出部１２ａが形成され、前記弾性体１１の正
面下部側には、三角形状を呈する挟持用弾性体１３ａが
ビス１６ａにより弾性体１１に固定されるようになって
おり、これにより、前記弾性体１１の正面において前記
突出部１２ａと前記挟持用弾性体１３ｂとにより一方の
積層型圧電素子１４ａを圧縮状態で保持するようになっ
ている。

【００２３】同様に、前記弾性体１１の正面上部には、
三角形状を呈する突出部１２ｂが形成され、前記弾性体
１１の正面下部側には、三角形状を呈する挟持用弾性体
１３ｂがビス１６ｂにより弾性体に固定されるようにな
っており、これにより、前記弾性体１１の正面において
前記突出部１２ｂと前記挟持用弾性体１３ｂとにより他
方の積層型圧電素子１４ｂを圧縮状態で保持するように
なっている。

【００２４】前記超音波振動子１０は、その１次の縦共
振振動と１次の捻れ共振振動の周波数が略同じ周波数に
なるように形状が定められている。

【００２５】また、前記弾性体１１の一方の側面には、
振動検出用圧電素子１７が接着により固定され、もう一
方の側面にはもう１つの振動検出用圧電素子１８が接着
により固定されている。これにより、２つの振動検出用
圧電素子１７、１８は、縦振動と屈曲振動の共通の節位
置である弾性体１１の側面の中央位置に固定されてい
る。

【００２６】前記振動検出用圧電素子１７は、図１０に
示すように、斜めに分割した電極２１（正極）、電極２
２（負極）の間を矢印方向に分極処理されている。ま
た、前記振動検出用圧電素子１８は、図１１に示すよう
に前記振動検出用圧電素子１７とは逆方向斜めに分割し
た電極２３（正極）、電極２４（負極）の間を矢印方向
に分極処理されている。

【００２７】図１２に振動検出用圧電素子１７、１８を
含む振動検出回路を示す。この振動検出回路は、前記振
動検出用圧電素子１７、１８と、両振動検出用圧電素子
１７、１８による各検出電流を増幅するバッファ回路３
５と、このバッファ回路３５により増幅した各検出電流
を基に後述する縦振動成分電圧ＶL17 、ＶL18 、捻れ振
動成分電圧ＶT17 、ＶT18 を求める演算回路３６とを具
備している。

【００２８】前記バッファ回路３５は、振動検出用圧電
素子１７の検出電流を反転入力端子に入力するととも
に、出力端子を非反転入力端子に接続した第１のオペア
ンプ３１と、振動検出用圧電素子１８の検出電流を反転
入力端子に入力するとともに、出力端子を非反転入力端
子に接続した第２のオペアンプ３２とを具備している。

【００２９】前記演算回路３６は、前記第１のオペアン
プ３１からの検出電流を非反転入力端子に抵抗Ｒ1 を介
して取り込むととともに、前記第２のオペアンプ３２か
らの検出電流を同じく非反転入力端子に抵抗Ｒ3を介し
て取り込み、これらを加算処理する第３のオペアンプ３
３と、前記第１のオペアンプ３１からの検出電流を非反
転入力端子に抵抗Ｒ2 を介して取り込むととともに、前
記第２のオペアンプ３２からの検出電流を同じく非反転
入力端子に抵抗Ｒ4 を介して取り込み、これらを減算処
理する第４のオペアンプ３４と、第３のオペアンプ３３
の出力端子と反転入力端子とに接続した帰還抵抗Ｒ6
と、第３のオペアンプ３３の反転入力端子と接地との間
に接続した接地抵抗Ｒ5 と、第４のオペアンプ３４の出
力端子と反転入力端子とに接続した帰還抵抗Ｒ7 と、第
４のオペアンプ３３の反転入力端子と接地との間に接続
した接地抵抗Ｒ8 とを具備している。

【００３０】上述した超音波振動子１０によれば、この
超音波振動子１０に縦振動と捻れ振動を同時に発生させ
るため、互いに位相が９０度異なる交流電圧を印加す
る。縦振動と捻れ振動が同時に発生すると、これらが合
成されて、超音波振動子１０の端面に固定された駆動子
１５に楕円振動が発生する。この楕円振動に図示しない
ロータが接するようにすれば、このロータが回転し、超
音波モータとして機能させることができる。

【００３１】この際、前記振動検出用圧電素子１７、１
８は以下のように動作する。即ち、縦振動と捻れ振動は
ともにその節位置が振動体の歪が最も大きく、この位置
に検出用圧電素子１７、１８を固定することで縦振動及
び捻れ振動の振動検出がし易くなる。

【００３２】捻れ振動に対しては、振動検出用圧電素子
１７、１８は、図６、図７に示す変形（歪）を交互に繰
り返し、これらの振動検出用圧電素子１７、１８は、同
時に同形に歪むことになる。そして、振動検出用圧電素
子１７と振動検出用圧電素子１８とは分極方向が図１
１、図１２に示すように互いに逆になっている（一方が
分極方向に伸びるとき他方は分極方向に縮む）ので、そ
れぞれの電極（正極）２１−電極（負極）２２及び電極
（正極）２３−電極（負極）２４間には、互いに位相が
１８０度反転した電圧が現れる。

【００３３】一方、縦振動に対しては、振動検出用圧電
素子１７、１８は、図８、図９に示す変形（歪）を交互
に繰り返し、両振動検出用圧電素子１７、１８は同時に
同形に歪む。そして、両振動検出用圧電素子１７、１８
は分極方向が歪方向に対して共に同じ角度ずつ傾いてい
るので、それぞれの電極（正極）２１−電極（負極）２
２及び電極（正極）２３−電極（負極）２４間には、位
相が同じ電圧が現れる。

【００３４】この結果、縦振動と捻れ振動が同時に発生
しているときには、振動検出用圧電素子１７、１８に、
両方の振動成分に相当する電圧が上記位相差で加算され
て現れる。

【００３５】いま、振動検出用圧電素子１７で検出され
る縦振動成分電圧をＶL17 、捻れ振動成分電圧をＶT17
、振動検出用圧電素子１８で検出される縦振動成分電
圧をＶL18 、捻れ振動成分電圧をＶT18 とすれば、振動
検出用圧電素子１７、１８により検出される各検出電圧
Ｖ17、Ｖ18は、Ｖ17＝ＶL17 ＋ＶT17 となり、Ｖ18＝Ｖ
L18 ＋ＶT18 となる。ここで、縦振動成分電圧ＶL17 と
縦振動成分電圧ＶL18 と同位相であるため、ＶL17 ＝Ｖ
L18 であり、捻れ振動成分電圧ＶT17 と捻れ振動成分電
圧ＶT18 とは逆位相であるためＶT17 ＝−ＶT18 であ
る。

【００３６】従って、振動検出用圧電素子１７の検出電
圧Ｖ17と振動検出用圧電素子１８の検出電圧Ｖ18との
和、即ち、Ｖ17＋Ｖ18＝（ＶL17 ＋ＶT17 ）＋（ＶL18
＋ＶT18 ）＝２ＶL17 を前記第３のオペアンプ３３によ
り求め、また、振動検出用圧電素子１７の検出電圧Ｖ17
と振動検出用圧電素子１８の検出電圧Ｖ18との差、即
ち、Ｖ17−Ｖ18＝（ＶL17＋ＶT17）−（ＶL18＋ＶT18）
＝２ＶT17を前記第４のオペアンプ３４により求める。

【００３７】これにより、超音波振動子１０に生じる縦
振動成分電圧２ＶL17 と捻れ振動成分電圧２ＶT17 とを
分離して検出することができる。

【００３８】本実施の形態により、超音波振動子１０の
縦振動と捻れ振動の振動状態を分離して検出できる振動
検出手段を実現できる。尚、２つの検出用圧電素子１
７、１８の振動検出感度に差がある場合には、第３のオ
ペアンプ３３、第４のオペアンプ３４のゲインを調整す
ることで補正することも可能である。

【００３９】［実施の形態２］次に、図１３乃至図２１
を参照して本発明の実施の形態２について説明する。

【００４０】図１３乃至図１７に示す超音波振動子１０
Ａは、基本的には前記超音波振動子１０と同様な構成で
あり、同一要素には同一符号を付してその詳細な説明は
省略する。

【００４１】図１３乃至図１７に示す超音波振動子１０
Ａは、弾性体１１に固定する振動検出用圧電素子４１、
４２の電極構造を前記振動検出用圧電素子１７、１８と
異ならせたことが特徴である。即ち、一方の振動検出用
圧電素子４１は、図１８に拡大して示すように、各々三
角形状の３つの電極４３、４４、４５からなり、これら
の分極方向を図１８に示す矢印方向に設定している。

【００４２】また、他方の振動検出用圧電素子４２は、
図１９に拡大して示すように、各々三角形状の３つの電
極４６、４７、４８からなり、これらの分極方向を図１
９に示す矢印方向に設定している。

【００４３】そして、一方の振動検出用圧電素子４１の
電極４３、４４を図２０に示すように一括接続し、電極
４３、４４と残りの電極４５とにより縦振動成分電圧Ｖ
L のみを取り出すようになっている。また、他方の振動
検出用圧電素子４２の電極４６、４７を図２１に示すよ
うに一括接続し、電極４６、４７と残りの電極４８とに
より捻れ振動成分電圧ＶT のみを取り出すようになって
いる。

【００４４】本実施の形態２の超音波振動子１０Ａによ
れば、実施の形態１の場合と同様に、駆動用圧電素子１
４ａ、１４ｂにより縦振動と捻れ振動が同時に励起され
る。

【００４５】さらに実施の形態１の場合と同様に、超音
波振動子１０Ａに捻れ振動が生じると、検出用圧電素子
４１、４２は既述した場合と同様図６、図７に示すよう
に交互に歪みを繰り返す。また、超音波振動子１０Ａに
縦振動が生じると、検出用圧電素子４１、４２は図８、
図９に示すように交互に歪を繰り返す。

【００４６】さらに、超音波振動子１０Ａが捻れ振動す
ると、圧電素子４１の電極４３−電極４５間と電極４４
−電極４５間とは、分極方向に対して、電極４３−電極
４５方向が縮むとき電極４４−電極４５方向に伸び、電
極４３−電極４５方向に伸びるとき電極４４−電極４５
方向に縮む様な歪となる。

【００４７】従って、電極４３と電極４４とには、電極
４５に対して互いに位相の１８０度異なる電圧が発生す
る。

【００４８】一方、超音波振動子１０Ａが縦振動すると
きは、分極方向に対して、電極４３−電極４５、電極４
４−電極４５間ともに斜め方向に同時に伸縮するような
歪となり、この結果、電極４３、４４には電極４５に対
して同相の電圧が発生する。

【００４９】以上から、図２０に示すような配線を採用
することで、逆相成分は打ち消され（引き算され）、同
相成分が加算されるため、縦振動成分電圧ＶL を取り出
すことができる。

【００５０】また、捻れ振動振動に対して圧電素子４２
の電極４６−電極４８間と電極４７−電極４８間は、分
極方向に対して、電極４６−電極４８、電極４７−電極
４８方向ともに同時に伸縮するような歪となる。従っ
て、電極４６と電極４７には、電極４８に対して互いに
同相の電圧が発生する。一方、縦振動するときは分極方
向に対して、電極４６−電極４８間、電極４５−電極４
８間が斜め方向に交互に伸縮するような歪となり、この
結果、電極４６、電極４７には、電極４８に対して逆相
の電圧を発生する。

【００５１】以上から、図２１に示すような配線構造を
採用することで、逆相成分は打ち消され（引き算さ
れ）、同相成分が加算されるため、捻れ振動成分電圧Ｖ
T のみを取り出すことができる。

【００５２】本実施の形態２によれば、実施形態１の場
合の図１２に示す回路系を必要とせずに、縦振動と屈曲
振動の振動状態を個別に検出する振動検出手段を実現で
きる。

【００５３】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、振動検出
用圧電素子により縦振動と捻れ振動を分離して検出可能
な超音波振動子を提供することができる。

【００５４】請求項２記載の発明によれば、振動検出用
圧電素子の上述した構造により、縦振動成分電圧と捩れ
振動成分電圧とに位相差を持たせることができる超音波
振動子を提供することができる。

【００５５】請求項３記載の発明によれば、超音波振動
子に生じる縦振動及び捩れ振動を分離して個別に観測す
ることができる超音波振動子の振動検出方法を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の超音波振動子の平面図
である。

【図２】本発明の実施の形態１の超音波振動子の正面図
である。

【図３】本発明の実施の形態１の超音波振動子の背面図
である。

【図４】本発明の実施の形態１の超音波振動子の右側面
図である。

【図５】本発明の実施の形態１の超音波振動子の左側面
図である。

【図６】本発明の実施の形態１の超音波振動子の振動検
出用圧電素子の捩れ振動状態を示す説明図である。

【図７】本発明の実施の形態１の超音波振動子の振動検
出用圧電素子の捩れ振動状態を示す説明図である。

【図８】本発明の実施の形態１の超音波振動子の振動検
出用圧電素子の縦振動状態を示す説明図である。

【図９】本発明の実施の形態１の超音波振動子の振動検
出用圧電素子の縦振動状態を示す説明図である。

【図１０】本発明の実施の形態１の超音波振動子の振動
検出用圧電素子の分極方向を示す説明図である。

【図１１】本発明の実施の形態１の超音波振動子の振動
検出用圧電素子の分極方向を示す説明図である。

【図１２】本発明の実施の形態１における振動検出回路
の回路図である。

【図１３】本発明の実施の形態２の超音波振動子の平面
図である。

【図１４】本発明の実施の形態２の超音波振動子の正面
図である。

【図１５】本発明の実施の形態３の超音波振動子の背面
図である。

【図１６】本発明の実施の形態２の超音波振動子の右側
面図である。

【図１７】本発明の実施の形態２の超音波振動子の左側
面図である。

【図１８】本発明の実施の形態２における振動検出用圧
電素子の分極方向を示す説明図である。

【図１９】本発明の実施の形態２における振動検出用圧
電素子の分極方向を示す説明図である。

【図２０】本発明の実施の形態２における振動検出用圧
電素子の配線構造を示す説明図である。

【図２１】本発明の実施の形態２における振動検出用圧
電素子の配線構造を示す説明図である。

【図２２】従来の超音波振動子を示す平面図である。

【図２３】従来の超音波振動子を示す正面図である。

【図２４】従来の超音波振動子を示す背面図である。

【符号の説明】

１０ 超音波振動子 １１ 弾性体 １３ａ 挟持用弾性体 １３ｂ 挟持用弾性体 １４ａ 積層型圧電素子 １４ｂ 積層型圧電素子 １７ 振動検出用圧電素子 １８ 振動検出用圧電素子 ２１ 電極 ２２ 電極 ２３ 電極 ２４ 電極 ３５ バッファ回路 ３６ 演算回路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 角柱状の振動部材と、この振動部材に縦
   振動と捩れ振動とを同時に励起するように配置した駆動
   用圧電素子とを有する超音波振動子において、 前記振
   動部材に固定され、この振動部材に生じる縦振動及び捩
   れ振動に対応し、かつ、位相差を有する縦振動成分電圧
   及び捩れ振動成分電圧を検出する振動検出用圧電素子を
   設けたことを特徴とする超音波振動子。
2. 【請求項２】 前記振動検出用圧電素子は、１つ又は複
   数の圧電素子であって、全ての圧電素子の電極の合計が
   ３つ以上あり、前記縦振動の振動方向と前記捩れ振動の
   振動方向に対して前記振動検出用圧電素子の各圧電素子
   の分極方向がそれぞれ少なくとも２種類以上存在するこ
   とを特徴とする請求項１記載の超音波振動子。
3. 【請求項３】 角柱状の振動部材と、この振動部材に縦
   振動と捩れ振動とを同時に励起するように固定した駆動
   用圧電素子とを有する超音波振動子の振動を検出する振
   動検出方法であって、 前記振動部材に固定した振動検出用圧電素子により、前
   記振動部材に生じる縦振動及び捩れ振動に対応し、か
   つ、位相差を有する縦振動成分電圧及び捩れ振動成分電
   圧を検出し、前記振動検出用圧電素子により検出した前
   記位相差を有する縦振動成分電圧及び捩れ振動成分電圧
   を振動検出回路により演算して縦振動成分電圧と捻れ振
   動成分電圧とに分離することを特徴とする超音波振動子
   の振動検出方法。