JP2691970B2 - 超音波モータの制御回路 - Google Patents

超音波モータの制御回路

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JP2691970B2
JP2691970B2 JP6123456A JP12345694A JP2691970B2 JP 2691970 B2 JP2691970 B2 JP 2691970B2 JP 6123456 A JP6123456 A JP 6123456A JP 12345694 A JP12345694 A JP 12345694A JP 2691970 B2 JP2691970 B2 JP 2691970B2
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、弾性体と、該弾性体を
励振させる電気機械変換素子とを有する超音波モーター
を励振させる超音波モータの制御回路に関する。 【0002】 【従来の技術】従来の超音波モーターとしては、効率の
よい駆動を得るために、例えば図4に示すように、圧電
体に入力される2つの交流信号の電圧値が互いに等しく
なるように制御しているものがある。 【0003】すなわち、図4に示す従来例は、超音波モ
ーター1の一部を構成する圧電体2の電極2aには、発
振器3,正弦波発生器4aおよびアンプ5aを介して第
1の交流信号が入力されており、圧電体2の電極2bに
は発振器3,正弦波発生器4bおよびアンプ5bを介し
て前記第1の交流信号とはπ/2だけ位相のずれた第2
の交流信号が入力されており、コイル6aの一端Aから
は電極2aに入力される第1の交流信号の電圧を、コイ
ル6bの一端Bからは電極2bに入力される第2の交流
信号の電圧をそれぞれ検出して比較する電圧比較回路7
を有して成り、一端Aの電位と一端Bの電位とが等しく
なるように、該電圧比較回路7はアンプ5a,5bを制
御し、これによって、電極2a,2bに入力される2つ
の交流信号の電圧値が互いに等しくなるように制御して
いるものである。 【0004】このような従来の超音波モーターでは、電
極2a、2bの各圧電体部分のインピーダンスは製造上
どうしても異なってしまい、その結果、電極2a,2b
に入力される2つの交流信号の電圧値が互いに等しくな
るように制御しても、圧電体2に流れる電流の大きさは
電極2aの部分と電極2bの部分とでは異なってしま
い、また、図5に示すように、圧電体2に流れる電流が
大きいと、発生する超音波振動も大きいという圧電体の
特性があるため、電極2a,2bの各圧電体部分で発生
する超音波振動の振幅が異なってしまう。例えば、図3
に示すように、電極2aの圧電体部分では振幅αの定在
波30aが発生し又電極2bの圧電体部分では振幅α/
2の定在波30bが発生するとする。 【0005】なお、この図3は、表面波の発生の様子を
時間をおって示したもので、図の横軸には位相を、縦軸
には振幅αをそれぞれとっており、表面波30は、電極
2aの圧電体部分に発生する超音波振動の波形30aと
電極2bの圧電体部分に発生する超音波振動の波形30
bとを合成したものである。また、図3(a) はある時刻
T=0°での状態を、図3(b) は時刻 T=0°から1/8周
期分だけ時間経過した時刻T=45°での状態を、図3(c)
は時刻 T=0°から1/4周期分だけ時間経過した時刻T=
90°での状態を、図3(d) は時刻 T=0°から3/8周期
分だけ時間経過した時刻 T=135°での状態を、図3(e)
は時刻 T=0°から1/2周期分だけ時間経過した時刻 T
=180°での状態をそれぞれ示している。図3(a) は、電
極2aの圧電体部分に振幅αの定在波30aが発生し且
つ電極2bの圧電体部分に振幅0の定在波30bが発生
している場合であり、この合成波30は定在波30aと
等しい。図3(b) は、図3(a) の状態から時間的にT=45
°経過し且つ位相が45°ずれた状態であり、電極2aの
圧電体部分に振幅αの定在波30aが発生し且つ電極2
bの圧電体部分に振幅α/2の定在波30bが発生して
いる場合であり、この合成波30は、定在波30aと定
在波30bの合成の波である。図3(c) は、図3(a) の
状態から時間的にT=90°経過し且つ位相が90°ずれた状
態であり、電極2aの圧電体部分に振幅0の定在波30
aが発生し且つ電極2bの圧電体部分に振幅α/2の定
在波30bが発生している場合であり、この合成波30
は定在波30bと等しい。図3(d),(e) も以下同様であ
る。 【0006】したがって、上記従来の超音波モーターで
は、電極2a,2bの各圧電体部分で発生する超音波振
動の合成でできる表面波は、図3(a) 〜(e) に示すよう
に、時間Tとともに伝播速度と振幅αが変化してしま
う。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】従来の超音波モータの
制御回路においては、制御目標が設定されていなかった
ので、所望の状態で超音波モータを駆動することができ
なかった。このため、超音波モータの使い勝手が良くな
いという問題点があった。 【0008】本発明は、このような従来の問題点に着目
して成されたもので、所望の駆動状態で超音波モータを
駆動できる超音波モーターの制御回路を提供することを
目的としている。 【0009】 【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めの本発明の要旨とするところは、弾性体と、該弾性体
を励振させる電気機械変換素子とを有する超音波モータ
ーを励振させる超音波モータの制御回路において、前記
電気機械変換素子に入力される交流信号の電流を検出す
る検出手段と、前記弾性体を所望の振動で駆動するため
に、前記電気機械変換素子に入力する目標電流値を予め
設定する設定手段と、前記検出手段の検出結果に関する
量と前記目標電流値に関する量とを比較し、前記電気機
械変換素子に入力する電流値と前記目標電流値とをほぼ
等しくして、常に前記目標電流値が前記電気機械変換素
子に入力するように制御する制御手段とを備えたことを
特徴とする超音波モータの制御回路に存する。 【0010】 【作用】制御手段は、検出手段が検出した電気機械変換
素子に入力される交流信号の電流に関する量と、設定手
段が設定した目標電流値に関する量とを比較して、電気
機械変換素子に入力する電流値と前記目標電流値とをほ
ぼ等しくなるように制御しているので、所望の駆動状態
で超音波モータを駆動できる。 【0011】電気機械変換素子(圧電体2)に入力され
る2つの交流信号h,iの電流は、その電流値が互いに
等しくなるように交流電流制御手段(電流値比較回路9
a,9b)によって制御され、これによって伝播速度,
振幅が常に一定の表面波が電気機械変換素子2に発生す
るように成っている。 【0012】 【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。なお、上記従来例と同様の部位には同一の符号
を付する。 【0013】図1および図2は本発明の一実施例を示し
ている。 【0014】図1に示すように、超音波モーター1は、
弾性体(図示省略)および該弾性体を励振させる電気機
械変換素子としての圧電体2からなるステーターと、該
ステーターによって回転されるローター(図示省略)と
を有して成り、圧電体2の励振によって弾性体に表面波
が生じ、この表面波によってローターが回転するように
構成されている。 【0015】圧電体2の片側の面には、電極2a,2
b,2cおよび2dが形成されており、該電極2a,2
bには超音波モーター1の駆動系が接続されている。 【0016】超音波モーター1の駆動系は、発振器3,
正弦波発生器4a,4b,アンプ50a,50b,コイ
ル6a,6b,電流値検出用抵抗8a,8bおよび電流
値比較回路9a,9bから構成されている。 【0017】発振器3は、互いにπ/2だけ位相の異な
る第1,第2信号a,bを出力するものである。 【0018】正弦波発生器4a,4bは、第1,第2信
号a,bに同期して第1,第2の正弦波信号c,dをそ
れぞれ出力するものである。 【0019】アンプ50a,50bは、一方の入力端子
に入った第1,第2の正弦波信号c,dを他方の入力端
子に入った増幅率信号e,fに応じて増幅した第1,第
2の交流信号h,iをそれぞれ出力するものである。 【0020】アンプ50aの一方の出力端子は電流値検
出用抵抗8aを介して電極2aに、その他方の出力端子
は接地された電極2cにそれぞれ接続されている。同様
に、アンプ50bの一方の出力端子は電流値検出用抵抗
8bを介して電極2bに、その他方の出力端子は電極2
cにそれぞれ接続されている。 【0021】コイル6aの一端は電流値検出用抵抗8a
を介してアンプ50aの一方の出力端子に、コイル6a
の他端はアンプ50aの他方の出力端子にそれぞれ接続
されている。同様に、コイル6bの一端は電流値検出用
抵抗8bを介してアンプ50bの一方の出力端子に、コ
イル6bの他端はアンプ50bの他方の出力端子にそれ
ぞれ接続されている。 【0022】前記電流値比較回路9aは、電流値検出用
抵抗8aの端子間電圧を検出し、該検出した電圧から換
算した電流値を基準電流値gと比較し、その比較結果に
応じた増幅率信号eをアンプ50aの他方の入力端子に
出力するものである。同様に、前記電流値比較回路9b
は、電流値検出用抵抗8bの端子間電圧を検出し、該検
出した電圧から換算した電流値を基準電流値gと比較
し、その比較結果に応じた増幅率信号fをアンプ50b
の他方の入力端子に出力するものである。 【0023】以下、作用を説明する。 【0024】発振器3から互いにπ/2だけ位相の異な
る第1,第2信号a,bが正弦波発生器4a,4bにそ
れぞれ出力されると、正弦波発生器4a,4bは第1,
第2の正弦波信号c,dをアンプ50a,50bの一方
の入力端子にそれぞれ出力する。 【0025】これによって、該アンプ50aの一方の出
力端子からは増幅率信号eに応じた第1の交流信号hが
出力され、この第1の交流信号hは電流値検出用抵抗8
aを介して電極2aに流れ込む。また、アンプ50bの
一方の出力端子からは、第1の交流信号hとはπ/2だ
け位相の異なり、増幅率信号fに応じた第2の交流信号
iが出力され、この第2の交流信号iは電流値検出用抵
抗8bを介して電極2bに流れ込む。 【0026】このとき、電流値比較回路9aは、電流値
検出用抵抗8aの端子間電圧を検出し、該検出した端子
間電圧から換算した電極2aに流れ込む第1の交流信号
hの電流値を基準電流値gと比較し、その電流値が基準
電流値gより大きい場合には、増幅率信号eを小さくす
る方向に働き、その逆の場合には増幅率信号eを大きく
する方向に働く。 【0027】同様に、電流値比較回路9bは、電流値検
出用抵抗8bの端子間電圧を検出し、該検出した端子間
電圧から換算した電極2bに流れ込む第2の交流信号i
の電流値を基準電流値gと比較し、その電流値が基準電
流値gより大きい場合には、増幅率信号fを小さくする
方向に働き、その逆の場合には増幅率信号fを大きくす
る方向に働く。 【0028】したがって、電極2a,2bに流れ込む電
流値がそれぞれ基準電流値gと同じになるように制御さ
れる。 【0029】このように、電極2a,2bには常に基準
電流値gと同一の一定電流が流れるので、電極2aの圧
電体部分に発生する超音波振動の振幅は、電極2bの圧
電体部分に発生する超音波振動の振幅と常に等しくな
る。 【0030】したがって、上記超音波モーター1では、
電極2a,2bの各圧電体部分で発生する超音波振動の
合成でできる表面波は、図2(a) 〜(e) に示すように、
伝播速度と振幅が常に一定であり、これによって、前記
不図示の弾性体と該弾性体に圧接されているローターと
の接触が完全となり、動作の安定した、高効率の駆動が
得られる。 【0031】ここで、この図2は、表面波の発生の様子
を時間をおって示したもので、図の横軸には位相を、縦
軸には振幅をそれぞれとっており、表面波20は、電極
2aの圧電体部分に発生する超音波振動の波形20aと
電極2bの圧電体部分に発生する超音波振動の波形20
bとを合成したものである。また、図2(a) はある時刻
T=0°での状態を、図2(b) は時刻 T=0°から1/8周
期分だけ時間経過した時刻T=45°での状態を、図2(c)
は時刻 T=0°から1/4周期分だけ時間経過した時刻T=
90°での状態を、図2(d) は時刻 T=0°から3/8周期
分だけ時間経過した時刻 T=135°での状態を、図2(e)
は時刻 T=0°から1/2周期分だけ時間経過した時刻 T
=180°での状態をそれぞれ示している。図2(a) は、電
極2aの圧電体部分に振幅αの定在波20aが発生し且
つ電極2bの圧電体部分に振幅0の定在波20bが発生
している場合であり、この合成波20は定在波20aと
等しい。図2(b) は、図2(a) の状態から時間的にT=45
°経過し且つ位相が45°ずれた状態であり、電極2aの
圧電体部分に振幅αの定在波20aが発生し且つ電極2
bの圧電体部分に振幅α/2の定在波20bが発生して
いる場合であり、この合成波20は、定在波20aと定
在波20bの合成の波である。図2(c) は、図2(a) の
状態から時間的にT=90°経過し且つ位相が90°ずれた状
態であり、電極2aの圧電体部分に振幅0の定在波20
aが発生し且つ電極2bの圧電体部分に振幅α/2の定
在波20bが発生している場合であり、この合成波20
は定在波20bと等しい。図2(d),(e) も以下同様であ
る。 【0032】なお、上記実施例では、圧電体2に入力さ
れる2つの交流信号h,iの電流を検出し、その電流値
が互いに等しくなるように該2つの交流信号h,iの電
流を制御する交流電流制御手段が、電流値比較回路9
a,9bによって構成されている。 【0033】また、上記実施例において、前記交流電流
制御手段を、電極2a,2bにそれぞれ流れ込む電流ど
うしを比較し、その電流値が互いに等しくなるように制
御する構成としてもよい。 【0034】 【発明の効果】本発明に係る超音波モーターの制御回路
によれば、制御手段は、検出手段が検出した電気機械変
換素子に入力される交流信号の電流に関する量と、設定
手段が設定した目標電流値に関する量とを比較して、電
気機械変換素子に入力する電流値と前記目標電流値とを
ほぼ等しくなるように制御しているので、所望の駆動状
態で超音波モータを駆動できる。これにより、超音波モ
ータの使い勝手が向上し、多種多様の駆動源として超音
波モータを利用することができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の一実施例を示しており、超音波モータ
ーおよびその駆動系を示すブロック図である。 【図2】(a) 〜(e) は表面波の発生の様子を時間をおっ
て示した説明図である。 【図3】従来例を示しており、(a) 〜(e) は表面波の発
生の様子を時間をおって示した説明図である。 【図4】従来例を示しており、超音波モーターおよびそ
の駆動系を示すブロック図である。 【図5】電気機械変換素子(圧電体)に流れる電流と超
音波振動の振幅との関係を示す特性図である。 【符号の説明】 1…超音波モーター 2…電気機械変換素子(圧電体) 9a,9b …電流値比較回路(交流電流制御手段) h,i…2つの交流信号

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 1.弾性体と、該弾性体を励振させる電気機械変換素子
    とを有する超音波モーターを励振させる超音波モータの
    制御回路において、 前記電気機械変換素子に入力される交流信号の電流を検
    出する検出手段と、 前記弾性体を所望の振動で駆動するために、前記電気機
    械変換素子に入力する目標電流値を予め設定する設定手
    段と、 前記検出手段の検出結果に関する量と前記目標電流値に
    関する量とを比較し、前記電気機械変換素子に入力する
    電流値と前記目標電流値とをほぼ等しくして、常に前記
    目標電流値が前記電気機械変換素子に入力するように制
    御する制御手段とを備えたことを特徴とする超音波モー
    タの制御回路。
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