JPS63206170A - 超音波モータの駆動回路 - Google Patents
超音波モータの駆動回路Info
- Publication number
- JPS63206170A JPS63206170A JP62036176A JP3617687A JPS63206170A JP S63206170 A JPS63206170 A JP S63206170A JP 62036176 A JP62036176 A JP 62036176A JP 3617687 A JP3617687 A JP 3617687A JP S63206170 A JPS63206170 A JP S63206170A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- difference
- electrostrictive element
- phase difference
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 claims description 11
- 101100113576 Arabidopsis thaliana CINV2 gene Proteins 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 101100286980 Daucus carota INV2 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100397045 Xenopus laevis invs-b gene Proteins 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は、電歪素子により進行性振動波が形成される弾
性体と、この弾性体に所定の押圧力により押圧されこの
進行性振動波により駆動される移動体とを有する超音波
モータの負荷検出回路に関する。
性体と、この弾性体に所定の押圧力により押圧されこの
進行性振動波により駆動される移動体とを有する超音波
モータの負荷検出回路に関する。
Ｂ、従来の技術
この種の超音波モータは、電歪素子に周波信号（例えば
交流信号）を供給して振動させ、これにより弾性体に進
行性振動波を形成せしめ移動体を駆動するものである。
交流信号）を供給して振動させ、これにより弾性体に進
行性振動波を形成せしめ移動体を駆動するものである。
この時、移動体は弾性体に所定の押圧力で接触している
ため、移動体の負荷が大きくなると両者が摺動接触する
ことになる。
ため、移動体の負荷が大きくなると両者が摺動接触する
ことになる。
したがって、両者の摩耗を防止して寿命を向上させるた
め、移動体の負荷が大きい場合には超音波モータを停止
させるのが好ましい。
め、移動体の負荷が大きい場合には超音波モータを停止
させるのが好ましい。
Ｃ０発明が解決しようとする問題点
そこで、移動体側にロータリーエンコーダ等のセンサを
設は移動体の動きから大きな負荷が作用していることを
検知して超音波モータを停止させることも考えられるが
、モータ構成部品とは別設のセンサが必要であり、構成
が複雑となり好ましくない。従来のり、Ｃモータのよう
に過電流を検出してモータ負荷を検出することもできな
い。
設は移動体の動きから大きな負荷が作用していることを
検知して超音波モータを停止させることも考えられるが
、モータ構成部品とは別設のセンサが必要であり、構成
が複雑となり好ましくない。従来のり、Ｃモータのよう
に過電流を検出してモータ負荷を検出することもできな
い。
本発明の目的は、センサ等を別設することなく超音波モ
ータに大きな負荷が作用したことを検出することのでき
る超音波モータの負荷検出回路を提供することにある。
ータに大きな負荷が作用したことを検出することのでき
る超音波モータの負荷検出回路を提供することにある。
Ｄ１問題点を解決するための手段
実施例を示す第１図および第２図（ａ）。
（ｂ）により本発明を説明する。本発明に係わる超音波
モータ１０は、周波信号（例えば交流信号等）が印加さ
れる電歪素子１３により弾性体１１に進行性振動波が形
成され、その弾性体１１の進行性振動波により移動体１
２が駆動されるものである。そして上述の問題は、周波
信号の電圧位相と電歪素子１３へ流入する電流の位相と
の差を検出する位相差検出手段２５と、進行性振動波に
より駆動されている移動体１２の負荷が大きくなったこ
とを、検出された位相差に基づき判別する判定手段２８
とを具備する負荷検出回路により解決される。
モータ１０は、周波信号（例えば交流信号等）が印加さ
れる電歪素子１３により弾性体１１に進行性振動波が形
成され、その弾性体１１の進行性振動波により移動体１
２が駆動されるものである。そして上述の問題は、周波
信号の電圧位相と電歪素子１３へ流入する電流の位相と
の差を検出する位相差検出手段２５と、進行性振動波に
より駆動されている移動体１２の負荷が大きくなったこ
とを、検出された位相差に基づき判別する判定手段２８
とを具備する負荷検出回路により解決される。
Ｅ０作用
位相差検出手段２５により、周波信号の電圧位相と電歪
素子１３へ流入する電流の位相との差が検出される。移
動体１２に作用する負荷が大きくなると電圧位相と電流
位相との差が大きくなり、位相差検出手段２５の出力に
基づき、進行性振動波により駆動されている移動体１２
の負荷が大きくなったことが判定手段２８で判定される
。
素子１３へ流入する電流の位相との差が検出される。移
動体１２に作用する負荷が大きくなると電圧位相と電流
位相との差が大きくなり、位相差検出手段２５の出力に
基づき、進行性振動波により駆動されている移動体１２
の負荷が大きくなったことが判定手段２８で判定される
。
Ｆ、実施例
第１図ないし第４図により本発明の詳細な説明する。
第１図において、１０が超音波モータであり、この実施
例では回転型の超音波モータを示している。この超音波
モータ１０は、第２図（ａ）。
例では回転型の超音波モータを示している。この超音波
モータ１０は、第２図（ａ）。
（ｂ）に示すように、環状の弾性体１１に同形状の移動
体１２を不図示のばね部材により所定の押圧力で押圧し
て構成されている。弾性体１１の裏面には電歪素子１３
が貼着され、その電歪素子１３の表面１３ａにはセグメ
ント電極１４ａ〜１４ｄが形成されている。セグメント
電極１４ｂと１４ｄの下の電歪素子１３は交互に互い違
いに分極されている。
体１２を不図示のばね部材により所定の押圧力で押圧し
て構成されている。弾性体１１の裏面には電歪素子１３
が貼着され、その電歪素子１３の表面１３ａにはセグメ
ント電極１４ａ〜１４ｄが形成されている。セグメント
電極１４ｂと１４ｄの下の電歪素子１３は交互に互い違
いに分極されている。
第１図において、交流電源２１の出力はスイッチ２２を
介して９０度位相遅延回路２３と、電流位相検出回路２
４と、位相差検出回路２５とに入力されている。９０度
位相遅延回路２３は、入力される交流信号の位相を９０
度遅延させて出力し。
介して９０度位相遅延回路２３と、電流位相検出回路２
４と、位相差検出回路２５とに入力されている。９０度
位相遅延回路２３は、入力される交流信号の位相を９０
度遅延させて出力し。
その出力はアンプ２６を介してセグメント電極１４ｄに
供給される。電流位相検出回路２４は、入力される交流
信号の電流位相を検出するもので、その出力は位相差検
出回路２５に入力されるとともに、アンプ２７を介して
セグメント電極１４ｂにも入力される。位相差検出回路
２５は、電歪素子１３に印加される電圧の位相と該電圧
の印加により電歪素子１３に流入する電流の位相との位
相差を検出する。検出された位相差は判定回路２８に入
力され、所定値以上の位相差と判定されると端子２９に
判定信号が出力される。端子２９には、判定信号をラッ
チするラッチ回路３０が後続し。
供給される。電流位相検出回路２４は、入力される交流
信号の電流位相を検出するもので、その出力は位相差検
出回路２５に入力されるとともに、アンプ２７を介して
セグメント電極１４ｂにも入力される。位相差検出回路
２５は、電歪素子１３に印加される電圧の位相と該電圧
の印加により電歪素子１３に流入する電流の位相との位
相差を検出する。検出された位相差は判定回路２８に入
力され、所定値以上の位相差と判定されると端子２９に
判定信号が出力される。端子２９には、判定信号をラッ
チするラッチ回路３０が後続し。
そのラッチ出力によりスイッチ２２が開閉される。
すなわち、面位相の差が所定以上のときにスイッチ２２
が開放される。なお、本発明にラッチ回路３０は必須で
はない。
が開放される。なお、本発明にラッチ回路３０は必須で
はない。
スイッチ２２が開成しているとき、交流電源２１からア
ンプ２６，２７を介して電歪素子１３のセグメント電極
１４ｂ、１４ｄに９０度位相のずれた交流信号が供給さ
れる。このため、弾性体１１の表面には進行性振動波が
生じ、移動体１２を回転駆動せしめる。スイッチ２２が
開放すると、電歪素子１３への給電が停止されるので電
歪素子１３が振動せず移動体１２が停止する。
ンプ２６，２７を介して電歪素子１３のセグメント電極
１４ｂ、１４ｄに９０度位相のずれた交流信号が供給さ
れる。このため、弾性体１１の表面には進行性振動波が
生じ、移動体１２を回転駆動せしめる。スイッチ２２が
開放すると、電歪素子１３への給電が停止されるので電
歪素子１３が振動せず移動体１２が停止する。
位相差検出回路２５と判定回路２８の詳細を第３図に示
す。第３図において、位相差検出回路２５は２つの入力
端子ＩＮＩおよびＩＮ２を有し、入力端子ＩＮＩには電
圧位相が、入力端子ＩＮ２には電流位相がそれぞれ一人
力される。入力端子ＩＮＩはアンドゲートＡＮＤとイン
バータＩＮＶＩとに接続され、入力端子ＩＮ２はインバ
ータＩＮＶ２に接続されている。アンド出力は抵抗ＲＥ
を介してコンパレータＣＯＭの非反転入力端子に接続さ
れる一方、コンデンサＣＯＮおよびトランジスタＴＲを
介して接地されている。抵抗ＲＥとコンデンサＣＯＨに
より積分回路が構成される。インバータＩＮＶＩの出力
はトランジスタＴＲのべ一不に入力されている。またコ
ンパレータＣＯＭの反転入力端子は電源ＢＡに接続され
Ｖｂａで示される基準電圧が印加されている。
す。第３図において、位相差検出回路２５は２つの入力
端子ＩＮＩおよびＩＮ２を有し、入力端子ＩＮＩには電
圧位相が、入力端子ＩＮ２には電流位相がそれぞれ一人
力される。入力端子ＩＮＩはアンドゲートＡＮＤとイン
バータＩＮＶＩとに接続され、入力端子ＩＮ２はインバ
ータＩＮＶ２に接続されている。アンド出力は抵抗ＲＥ
を介してコンパレータＣＯＭの非反転入力端子に接続さ
れる一方、コンデンサＣＯＮおよびトランジスタＴＲを
介して接地されている。抵抗ＲＥとコンデンサＣＯＨに
より積分回路が構成される。インバータＩＮＶＩの出力
はトランジスタＴＲのべ一不に入力されている。またコ
ンパレータＣＯＭの反転入力端子は電源ＢＡに接続され
Ｖｂａで示される基準電圧が印加されている。
第４図を参照して位相差検出回路２５及び判定回路２８
の動作を説明する。なお、電歪素子１３のセグメント電
極１４ｂ、１４ｄには９０度位相のずれた交流信号が供
給され、弾性体１１に進行性振動波が形成されて移動体
１２が回転駆動されているものとする。
の動作を説明する。なお、電歪素子１３のセグメント電
極１４ｂ、１４ｄには９０度位相のずれた交流信号が供
給され、弾性体１１に進行性振動波が形成されて移動体
１２が回転駆動されているものとする。
入力端子ＩＮＩには電圧位相Ａが、入力端子ＩＮ２には
電流位相Ｂがそれぞれ入力される。両位相の差は超音波
モータ１０の負荷に相応して大きくなる。移動体１２に
負荷が作用して両位相にずれが生じると、電圧位相Ａが
立ち上がって電流位相Ｂが立ち下がっている間だけアン
ド出力Ｃが立ち上がる。このときそのアンド出力Ｃによ
りコンデンサＣＯＮが充電される。そして、電圧位相Ａ
が立ち下がるとＩＮＶＩからハイレベル出力が得られ、
トランジスタＴＲがオンするからコンデンサＣＯＮが放
電される。したがって、コンパレータＣＯＭの非反転入
力端子の入力電圧りは第４図に示すようになる。いま、
コンパレータＣＯＭの反転入力端子の基準電圧がＶｂａ
に設定されているので、非反転入力端子の入力電圧りが
Ｖｂａを越えるとコンパレータＣＯＭの出力Ｅがハイレ
ベルとなり、その出力Ｅが端子２９から取り出されラッ
チ回路３０でラッチされる。ラッチ回路３０はハイレベ
ルなラッチ信号を出力するから、スイッチ２２が開放さ
れる。この結果、電歪素子１３への給電が中止され超音
波モータ１０が停止される。
電流位相Ｂがそれぞれ入力される。両位相の差は超音波
モータ１０の負荷に相応して大きくなる。移動体１２に
負荷が作用して両位相にずれが生じると、電圧位相Ａが
立ち上がって電流位相Ｂが立ち下がっている間だけアン
ド出力Ｃが立ち上がる。このときそのアンド出力Ｃによ
りコンデンサＣＯＮが充電される。そして、電圧位相Ａ
が立ち下がるとＩＮＶＩからハイレベル出力が得られ、
トランジスタＴＲがオンするからコンデンサＣＯＮが放
電される。したがって、コンパレータＣＯＭの非反転入
力端子の入力電圧りは第４図に示すようになる。いま、
コンパレータＣＯＭの反転入力端子の基準電圧がＶｂａ
に設定されているので、非反転入力端子の入力電圧りが
Ｖｂａを越えるとコンパレータＣＯＭの出力Ｅがハイレ
ベルとなり、その出力Ｅが端子２９から取り出されラッ
チ回路３０でラッチされる。ラッチ回路３０はハイレベ
ルなラッチ信号を出力するから、スイッチ２２が開放さ
れる。この結果、電歪素子１３への給電が中止され超音
波モータ１０が停止される。
移動体１２の負荷を解放して不図示のリセットスイッチ
によりラッチ回路３０をリセットすればスイッチ２２が
閉じ、再び超音波モータ１０に給電され超音波モータ１
０が起動される。
によりラッチ回路３０をリセットすればスイッチ２２が
閉じ、再び超音波モータ１０に給電され超音波モータ１
０が起動される。
なお、以上の説明では、交流信号により電歪素子を駆動
することとしたが、パルス信号等、周期的に電圧が変動
する周波信号ならばどのような信号で電歪素子を駆動し
てもよい。また、コンパレータがハイレベル信号を出力
すると超音波モータへの給電を停止したが、警告灯や警
告音により移動体の負荷が大きくなったことを報知せし
めても良い。更に、基準電圧Ｖｂａのコンパレータを１
つだけ用いたが、基準電圧がそれぞれ異なるコンパレー
タを複数個設けて、移動体の負荷の大きさを、どのコン
パレータから出力があったかにより判定することもでき
る。さらにまた、回転型超音波モータ以外、リニア型超
音波モータにもこの発明を適用できる。
することとしたが、パルス信号等、周期的に電圧が変動
する周波信号ならばどのような信号で電歪素子を駆動し
てもよい。また、コンパレータがハイレベル信号を出力
すると超音波モータへの給電を停止したが、警告灯や警
告音により移動体の負荷が大きくなったことを報知せし
めても良い。更に、基準電圧Ｖｂａのコンパレータを１
つだけ用いたが、基準電圧がそれぞれ異なるコンパレー
タを複数個設けて、移動体の負荷の大きさを、どのコン
パレータから出力があったかにより判定することもでき
る。さらにまた、回転型超音波モータ以外、リニア型超
音波モータにもこの発明を適用できる。
Ｇ０発明の効果
本発明によれば、移動体に作用する負荷を電歪素子へ供
給する周波信号（例えば交流信号）の電圧位相と電流位
相との差に基づいて検出するようにしたので、別設のセ
ンサを用いることなく簡素な構成の負荷検出回路を提供
できる。また、実施例のように、負荷が所定以上になる
と超音波モータへの給電を停止して超音波モータを停止
させることにより、大負荷時に移動体と弾性体との間の
不所望な摩擦を防止して長寿命の超音波モータが得られ
る。
給する周波信号（例えば交流信号）の電圧位相と電流位
相との差に基づいて検出するようにしたので、別設のセ
ンサを用いることなく簡素な構成の負荷検出回路を提供
できる。また、実施例のように、負荷が所定以上になる
と超音波モータへの給電を停止して超音波モータを停止
させることにより、大負荷時に移動体と弾性体との間の
不所望な摩擦を防止して長寿命の超音波モータが得られ
る。
第１図〜第４図は本発明の一実施例を説明する図であり
、第１図は全体構成を示すブロック図、第２図（ａ）は
超音波モータの平面図、第２図（ｂ）はそのｂ−ｂ断面
図、第３図は位相差検出回路および判定回路の詳細図、
第４図は各部の信号のタイムチャートである。 １０：超音波モータ １１：弾性体１２：移動
体 １３：電歪素子２１：交流電源
２２：スイッチ２３：９０度位相遅延回路 ２４：電流位相検出回路 ２５：位相差検出回路 ２８：判定回路３０：ラ
ッチ回路 特許出願人 日本光学工業株式会社 代理人弁理士 永 井 冬 紀 第１図 第２図
、第１図は全体構成を示すブロック図、第２図（ａ）は
超音波モータの平面図、第２図（ｂ）はそのｂ−ｂ断面
図、第３図は位相差検出回路および判定回路の詳細図、
第４図は各部の信号のタイムチャートである。 １０：超音波モータ １１：弾性体１２：移動
体 １３：電歪素子２１：交流電源
２２：スイッチ２３：９０度位相遅延回路 ２４：電流位相検出回路 ２５：位相差検出回路 ２８：判定回路３０：ラ
ッチ回路 特許出願人 日本光学工業株式会社 代理人弁理士 永 井 冬 紀 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 周波信号が印加される電歪素子により弾性体に進行性
振動波を形成し、その進行性振動波により移動体を駆動
する超音波モータの負荷検出回路において、 前記周波信号の電圧位相と前記電歪素子へ流入する電流
の位相との差を検出する位相差検出手段と、 前記進行性振動波により駆動されている前記移動体の負
荷が大きくなったことを、前記検出された位相差に基づ
き判別する判定手段とを具備することを特徴とする超音
波モータの負荷検出回路。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62036176A JP2522286B2 (ja) | 1987-02-19 | 1987-02-19 | 超音波モ―タの駆動回路 |
| US07/117,328 US4812699A (en) | 1986-11-11 | 1987-11-06 | Drive control device in an ultrasonic vibration motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62036176A JP2522286B2 (ja) | 1987-02-19 | 1987-02-19 | 超音波モ―タの駆動回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63206170A true JPS63206170A (ja) | 1988-08-25 |
| JP2522286B2 JP2522286B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=12462431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62036176A Expired - Lifetime JP2522286B2 (ja) | 1986-11-11 | 1987-02-19 | 超音波モ―タの駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2522286B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02249720A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-05 | Nissan Motor Co Ltd | 電動スライド式サンバイザ装置 |
| JPH03218277A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータの駆動方法 |
| JP2018186680A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191394A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-26 | 株式会社東芝 | 洗濯機の水流制御装置 |
| JPS622869A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ駆動装置 |
-
1987
- 1987-02-19 JP JP62036176A patent/JP2522286B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191394A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-26 | 株式会社東芝 | 洗濯機の水流制御装置 |
| JPS622869A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ駆動装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02249720A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-05 | Nissan Motor Co Ltd | 電動スライド式サンバイザ装置 |
| JPH03218277A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータの駆動方法 |
| JP2018186680A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2522286B2 (ja) | 1996-08-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| NL8501908A (nl) | Tastsensor. | |
| KR830006685A (ko) | 배경잡음을 검출하여 음향방사를 측정하기 위한 장치를 구동하기 위한 장치 | |
| US5710491A (en) | Driving control device for vibration wave motor | |
| US4812699A (en) | Drive control device in an ultrasonic vibration motor | |
| KR940020656A (ko) | 초음파모터 및 초음파모터의 제어법(ultrasonic motor and its speed contral method) | |
| JPS63206170A (ja) | 超音波モータの駆動回路 | |
| US8274196B2 (en) | Control apparatus for vibration wave driven apparatus | |
| EP0432971A1 (en) | Ultra-sonic motor driving circuit | |
| JP2946533B2 (ja) | 超音波モータの駆動装置 | |
| JP2521104B2 (ja) | 超音波モ−タアクチユエ−タのロツク検出装置 | |
| JP2595953B2 (ja) | 超音波モータの駆動回路 | |
| JP2003324975A5 (ja) | ||
| CN101267175B (zh) | 进给电动机的锁定检测装置 | |
| RU2659179C1 (ru) | Установка для определения коэффициента трения | |
| JPH04138084A (ja) | 超音波モータ用振動体および超音波モータ | |
| US6288473B1 (en) | Frequency modulation drive for a piezoelectric motor | |
| JP2538088B2 (ja) | 超音波モ―タの駆動方法 | |
| CN109653799B (zh) | 一种区别于传统结构的瓦斯报警器及实现方法 | |
| JP2743404B2 (ja) | 超音波モータの駆動制御装置 | |
| JPH0548143Y2 (ja) | ||
| JP2730361B2 (ja) | 表面電位検出装置 | |
| KR100244451B1 (ko) | 내부전압 발생회로 | |
| SU589581A1 (ru) | Ультразвуковой искатель | |
| JPS6232370A (ja) | 表面電位検出装置 | |
| GB1467284A (en) | Ultrasonic wave generatorp |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |