KR940010872A - 필름 마스크(Film mask)를 이용한 노광방법 및 그 장치 - Google Patents

필름 마스크(Film mask)를 이용한 노광방법 및 그 장치

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KR940010872A
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가부시끼가이샤 아도테크 엔지니어링
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Abstract

필름마스크와 프린트배선기판의 위치를 맞춘 다음 척과 홀더를 체결하고 간극에 공기를 도입하여 늘어난 가압 필름에 필림마스크를 접촉시켜 필름마스크를 중심부로부터 외축으로 향하게 하여 프린트 배선기판에 밀착시키고 광원을 접등하여 노광시키는 프린트기판의 노광방법 및 장치를 제공한다.

Description

필름 마스크(Film mask)를 이용한 노광방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예를 나타내는 정면도,
제3도는 본 발명의 또 다른 실시예의 정면도,
제6도는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 정면도,
제7도는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 평면도.

Claims (11)

  1. 소정의 패턴을 갖는 필름마스크를 피노광대상에 위치 맞춤을 한 다음에 양자를 밀접시키고 유체를 도입시켜 늘어난 가압필름을 필름마스크의 배면측을 눌러주도록 하여 필름마스크를 피노광대상에 밀착시켜 노광시킴으로서 필름마스크상의 패턴을 피노광대상에 전사시킴을 특징으로 하는 필름 마스크를 이용한 노광방법.
  2. 제1항에 있어서, 가압필름을 필름마스크와 비접촉상태에서 늘어나게 하고 이 늘어난 가압필름이 필림마스크의 배면측을 눌러주도록 함을 특징으로 하는 필림마스크를 이용한 노광방법.
  3. 제2항에 있어서, 가압필름을 늘어나게 함으로서 이 가압필름이 필름마스크의 배면측을 눌러주도록 함을 특징으로 하는 필름마스크를 이용한 노광방법.
  4. 필름마스크를 지지하여 필름마스크와 피노광 대상과의 위치를 맞춘 다음 양자를 밀접시키는 장치, 팽창 축소가 가능한 가압필름, 이 가압필름을 팽창시켜 상기 필름마스크에 눌러서 붙이고 필름마스크를 프린트배선기판에 밀착시키는 가압장치, 이 필름마스크를 향해 조사하는 노광용 광원장치를 갖는 것을 특징으로 하는 필름마스크를 이용한 노광장치.
  5. 제4항에 있어서, 필름마스크와 프린트배선기판과의 위치 맞춤장치를 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  6. 제4항에 있어서, 가압장치가 그 일면에 공간을 형성하고 이 공간에 유체를 도입하여 팽창되고 상기 가압장치가 유체원과 이 유체원으로부터 유체를 고속으로 공간에 공급하는 고속공급수단, 유체원으로부터 유체를 소정의 압력으로 공간에 공급하는 저압공급수단, 상기 공간의 유체를 고속으로 배출 시키는 고속배출수단 및 상기 공간의 유체압력을 검출하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 가압필름은 그 일측면에 공간을 형성하고 이 공간으로 유체를 도입함으로써 팽창하고 상기 가압장치가 유체원과 이 유체원으로부터 유체를 고속으로 공간에 공급하는 고속공급수단, 공간의 유체압력을 검출하는 수단과 공간의 유체압력이 소정치보다 적을 경우 유체원으로부터 유체를 소정의 미압으로 공간에 공급시키는 것이 가능한 저압공급수단과 상기 공간에 유체압력이 소정치 보다도 큰 경우 공간의 유체를 고속으로 배출하는 것이 가능한 고속배출수단을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  8. 제4항에 있어서, 가압필름은 그 일면측에 공간을 형성하고 이 공간에 유체를 도입하므로써 팽창되고 상기 가압장치가 유체원과 이 유체원으로부터 유체를 고속으로 공간에 공급하는 고속공급수단, 유체원으로부터 유체를 소정압력으로 상가 공간에 공급하는 저압공급수단, 상기 공간의 유체를 고속으로 배출하는 고속배출수단, 상기 공간의 유체압력을 검출하는 수단 및 상기 검출수단으로 인하여 공간의 유체압력을 입력하여 이 유체 압력이 소정치 보다도 적을 경우 유체원으로부터 유체를 소정의 저압으로 상기 공간에 공급하도록 저압공급 수단을 제어하고 이 공간의 유체압력이 소청치 보다도 큰 경우 상기 공간의 유체를 고속으로 배출할 수 있도록 고속배출 수단을 제어하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  9. 제4항에 있어서, 필름마스크와 피노광 대상과의 위치를 맞춤에 필름마스크와 피노광 대상과의 사이에 기체층을 형성하기 위한 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  10. 제9항에 있어서, 기체층을 형성하기 위한 수단이 필름마스크와 기판과의 사이에 기체를 불어넣어 주는 장치로 이루어짐을 특징으로 하는 노광장치.
  11. 제4항에 있어서, 피노광 대상을 놓는 기대와 이 기대상에 피노광 대상에 위치를 결정하기 위한 위치결정스톱퍼와 상기 위치결정스톱퍼에 형성되어 피노광 대상과 필름마스크와의 위치를 맞출때 필름마스크와 피노광 대상과의 사이에 기체를 불어 넣어 주기 위한 기체층 형성용 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930020824A 1992-10-09 1993-10-08 필름마스크를 이용한 노광방법 및 장치 KR100205199B1 (ko)

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