JP3099841B2 - フィルムマスクを用いた露光装置 - Google Patents
フィルムマスクを用いた露光装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はプリント配線基板等の
製造に用いられるフィルムマスクを用いた露光装置に関
する。
製造に用いられるフィルムマスクを用いた露光装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線基板等の導体のパターンを
形成するために、近年ＩＣ等の製造に用いられるフォト
リソグラフィー法が用いられるようになってきている。
この方法は、形成すべきパターンを描いた原版を用い、
光を投影露光することによりプリント配線基板に原版と
同一のパターンを描く方法である。ＩＣ等の製造の際に
は高い精度を要求されるために、原版としてはガラス板
が用いられるが、プリント配線基板の場合には比較的精
度が低くて良いため、原版としてフィルムマスクを用い
るのが普通である。しかしフィルムマスクを用いた場
合、フィルムマスクとプリント配線基板の密着が不十分
であると投射された光が回り込みパターンの幅が一定に
ならない問題を生じる。そのため、フィルムマスクとプ
リント配線基板を密着させることが極めて重要である。
また、フィルムマスクはガラス板に比べて熱により伸び
やすく、露光時の熱等に起因するフィルムマスクの伸び
を抑制することが重要である。従来の露光装置ではフィ
ルムマスクとプリント配線基板を密着させるために、フ
ィルムマスクとプリント配線基板を機械的に当接させた
後に、フィルムマスクとプリント配線基板の間を吸引し
て負圧にすることによりフィルムマスクとプリント配線
基板の密着を図っていた。
形成するために、近年ＩＣ等の製造に用いられるフォト
リソグラフィー法が用いられるようになってきている。
この方法は、形成すべきパターンを描いた原版を用い、
光を投影露光することによりプリント配線基板に原版と
同一のパターンを描く方法である。ＩＣ等の製造の際に
は高い精度を要求されるために、原版としてはガラス板
が用いられるが、プリント配線基板の場合には比較的精
度が低くて良いため、原版としてフィルムマスクを用い
るのが普通である。しかしフィルムマスクを用いた場
合、フィルムマスクとプリント配線基板の密着が不十分
であると投射された光が回り込みパターンの幅が一定に
ならない問題を生じる。そのため、フィルムマスクとプ
リント配線基板を密着させることが極めて重要である。
また、フィルムマスクはガラス板に比べて熱により伸び
やすく、露光時の熱等に起因するフィルムマスクの伸び
を抑制することが重要である。従来の露光装置ではフィ
ルムマスクとプリント配線基板を密着させるために、フ
ィルムマスクとプリント配線基板を機械的に当接させた
後に、フィルムマスクとプリント配線基板の間を吸引し
て負圧にすることによりフィルムマスクとプリント配線
基板の密着を図っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし負圧による装置
の場合、フィルムマスクとプリント配線基板の間の負圧
を保つための構造が複雑になる欠点があり、しかも十分
な負圧を得ることが難しく確実な密着性を得られない欠
点があった。また、負圧によるフィルムマスクの伸びや
熱によるフィルムマスクの伸びに全く対処しておらず、
結果的に高精度の露光を行うことができなかった。本発
明はこのような従来のフィルムマスクを用いた露光装置
の欠点を解消することを目的とする。
の場合、フィルムマスクとプリント配線基板の間の負圧
を保つための構造が複雑になる欠点があり、しかも十分
な負圧を得ることが難しく確実な密着性を得られない欠
点があった。また、負圧によるフィルムマスクの伸びや
熱によるフィルムマスクの伸びに全く対処しておらず、
結果的に高精度の露光を行うことができなかった。本発
明はこのような従来のフィルムマスクを用いた露光装置
の欠点を解消することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のフィルムマスクを用いた露光装置は、フィル
ムマスクを背面側から支持する支持体と、該フィルムマ
スクの表面を対象物に当接させる装置と、該フィルムマ
スクと支持体の間に流体を導入して加圧し、該フィルム
マスクを対象物に密着させる装置と、前記密着させる装
置に流体を供給する装置と、該流体の圧力を調整する装
置と、前記対象物とフィルムマスクとに光を照射する装
置とを有することを特徴とする。
に本発明のフィルムマスクを用いた露光装置は、フィル
ムマスクを背面側から支持する支持体と、該フィルムマ
スクの表面を対象物に当接させる装置と、該フィルムマ
スクと支持体の間に流体を導入して加圧し、該フィルム
マスクを対象物に密着させる装置と、前記密着させる装
置に流体を供給する装置と、該流体の圧力を調整する装
置と、前記対象物とフィルムマスクとに光を照射する装
置とを有することを特徴とする。
【０００５】
【作用】対象物に当接したフィルムマスクの背面に流体
が導入され、これによりフィルムマスクが加圧されて対
象物に密着する。該流体の圧力は調整する装置により調
整されるから、フィルムマスクの伸びが抑制できる。
が導入され、これによりフィルムマスクが加圧されて対
象物に密着する。該流体の圧力は調整する装置により調
整されるから、フィルムマスクの伸びが抑制できる。
【０００６】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例を概念的に示す模式図であ
る。作業対象物であるプリント配線基板Ｗはテ−ブル５
０に載置されており、テ−ブル５０は上下方向に移動可
能で、フィルムマスク１にプリント配線基板Ｗを当接さ
せることが出来るように構成されている。プリント配線
基板Ｗはテ−ブル５０において位置合わせがなされてお
り、フィルムマスク１に形成されたパターンがプリント
配線基板Ｗ上の適正な位置に露光されるようになってい
る。ガラス板２の上方には光源装置４０が配設され、こ
の光源装置４０により露光が行われる。
る。図１は本発明の一実施例を概念的に示す模式図であ
る。作業対象物であるプリント配線基板Ｗはテ−ブル５
０に載置されており、テ−ブル５０は上下方向に移動可
能で、フィルムマスク１にプリント配線基板Ｗを当接さ
せることが出来るように構成されている。プリント配線
基板Ｗはテ−ブル５０において位置合わせがなされてお
り、フィルムマスク１に形成されたパターンがプリント
配線基板Ｗ上の適正な位置に露光されるようになってい
る。ガラス板２の上方には光源装置４０が配設され、こ
の光源装置４０により露光が行われる。
【０００７】フィルムマスク１の背面側（プリント配線
基板Ｗの反対側）にはガラス板２が配設され、このフィ
ルムマスク１とガラス板２をその縁部において固定金具
７により締結している。
基板Ｗの反対側）にはガラス板２が配設され、このフィ
ルムマスク１とガラス板２をその縁部において固定金具
７により締結している。
【０００８】ガラス板２はベースフレーム５にその周囲
を支持されており、このベースフレーム５とガラス板２
にはガラス板２とフィルムマスク１の間の隙間に空気を
導入する給気孔３が設けられている。この給気孔３はベ
ースフレーム５の上面からガラス板２を貫通してガラス
板２とフィルムマスク１との間に開口する様に形成され
ている。ガラス板２には図２に示すように、フィルムマ
スク１と当接する側に給気溝４が４角形状に形成してあ
り、前記給気孔３はこの給気溝４に開口するようになっ
ている。給気孔３から供給された空気はこの給気溝４を
通って全体に拡がり、フィルムマスク１とガラス板２と
の間の隙間を均等に加圧するように構成されている。該
給気溝４は露光領域Ｒの外側に形成されている。
を支持されており、このベースフレーム５とガラス板２
にはガラス板２とフィルムマスク１の間の隙間に空気を
導入する給気孔３が設けられている。この給気孔３はベ
ースフレーム５の上面からガラス板２を貫通してガラス
板２とフィルムマスク１との間に開口する様に形成され
ている。ガラス板２には図２に示すように、フィルムマ
スク１と当接する側に給気溝４が４角形状に形成してあ
り、前記給気孔３はこの給気溝４に開口するようになっ
ている。給気孔３から供給された空気はこの給気溝４を
通って全体に拡がり、フィルムマスク１とガラス板２と
の間の隙間を均等に加圧するように構成されている。該
給気溝４は露光領域Ｒの外側に形成されている。
【０００９】給気孔３は方向切換弁８、蓄圧タンク１２
及び電流比例式空圧減圧弁１３を介して流体源１１に接
続され、空気の供給を受けるようになっている。蓄圧タ
ンク１２により加圧時の急激な圧力の変動を防ぐことが
でき、その結果フィルムマスク１の伸びや或いはガラス
板２の変形を防ぐことが可能になる。そのため、高精度
の露光を実現できる。また電流比例式空圧減圧弁１３を
採用することにより無段階の圧力制御を行え、エアー流
入時や安定時等に応じて細かな制御を行うことができ、
最短時間で最適条件での加圧を行うことができる。
及び電流比例式空圧減圧弁１３を介して流体源１１に接
続され、空気の供給を受けるようになっている。蓄圧タ
ンク１２により加圧時の急激な圧力の変動を防ぐことが
でき、その結果フィルムマスク１の伸びや或いはガラス
板２の変形を防ぐことが可能になる。そのため、高精度
の露光を実現できる。また電流比例式空圧減圧弁１３を
採用することにより無段階の圧力制御を行え、エアー流
入時や安定時等に応じて細かな制御を行うことができ、
最短時間で最適条件での加圧を行うことができる。
【００１０】固定金具７はマスク押え板６を介してフィ
ルムマスク１をガラス板２に締結するようになってい
る。図３及び図４は締結構造を説明するもので、マスク
押え板６は露光部に該当する部分をくり貫いた枠形状の
薄板であり、このマスク押え板６を固定金具７で締め付
けることによりフィルムマスク１の周囲を均等にガラス
板２に押さえつける構造になっている。固定金具７は１
つのみ図示しているが、４辺に配設してフィルムマスク
１の周囲全体を押さえるようになっている。また固定金
具７はベースフレーム５にボルト等の締結具を用いて固
定され、これにより締め付けを行うように構成されてい
る。以上の締結構造により、フィルムマスク１はその周
囲をマスク押え板６により均等に且つ確実に押さえつけ
られるから、熱や圧力により伸びが最小限に抑制され
る。なお、マスク押え板６は給気溝４上を覆わないよう
に、図５に示すように切欠６０を設け、かつ固定金具７
はこの部分は締結せずに構成し、空気の流入を阻害しな
いようにしてある。
ルムマスク１をガラス板２に締結するようになってい
る。図３及び図４は締結構造を説明するもので、マスク
押え板６は露光部に該当する部分をくり貫いた枠形状の
薄板であり、このマスク押え板６を固定金具７で締め付
けることによりフィルムマスク１の周囲を均等にガラス
板２に押さえつける構造になっている。固定金具７は１
つのみ図示しているが、４辺に配設してフィルムマスク
１の周囲全体を押さえるようになっている。また固定金
具７はベースフレーム５にボルト等の締結具を用いて固
定され、これにより締め付けを行うように構成されてい
る。以上の締結構造により、フィルムマスク１はその周
囲をマスク押え板６により均等に且つ確実に押さえつけ
られるから、熱や圧力により伸びが最小限に抑制され
る。なお、マスク押え板６は給気溝４上を覆わないよう
に、図５に示すように切欠６０を設け、かつ固定金具７
はこの部分は締結せずに構成し、空気の流入を阻害しな
いようにしてある。
【００１１】ガラス板２の上面及び下面、即ちフィルム
マスク１側はファン２５により冷却されるように構成さ
れている。ファン２５にはダクト２１を介して空気冷却
装置２２から冷却された空気が供給され、ガラス板２上
面とフィルムマスク１とに冷却空気を吹き付けるように
なっている。この冷却空気により、フィルムマスク１の
伸びが抑制される。空気冷却装置２２は露光装置のカバ
ー２３の外に配設され、効率的に冷却空気を供給するよ
うに構成されている。なお、給気孔３から供給する空気
を冷却して、フィルムマスク１の伸びを抑制することも
可能である。
マスク１側はファン２５により冷却されるように構成さ
れている。ファン２５にはダクト２１を介して空気冷却
装置２２から冷却された空気が供給され、ガラス板２上
面とフィルムマスク１とに冷却空気を吹き付けるように
なっている。この冷却空気により、フィルムマスク１の
伸びが抑制される。空気冷却装置２２は露光装置のカバ
ー２３の外に配設され、効率的に冷却空気を供給するよ
うに構成されている。なお、給気孔３から供給する空気
を冷却して、フィルムマスク１の伸びを抑制することも
可能である。
【００１２】図６及び図７により動作を説明する。まず
マスク押え板６によりフィルムマスク１の周囲を押さえ
るようにしてガラス板２の下面に当接させ、固定金具７
をベースフレーム５に締め付けることによりフィルムマ
スク１の周囲をマスク押え板６を介してガラス板２に締
結する。これによりフィルムマスク１の伸びが抑制され
る。次にプリント配線基板Ｗをテ−ブル５０に載置し、
アライメントを行ってプリント配線基板Ｗと上記により
締結したフィルムマスク１の位置を合わせる。そしてテ
−ブル５０を上昇し、プリント配線基板Ｗをフィルムマ
スク１に当接させ、流体源１１から空気を給気孔３から
送る。この際蓄圧タンク１２により圧力は均等に且つ徐
々に上昇するから、フィルムマスク１の伸びなどを生ず
ることがない。また電流比例式空圧減圧弁１３により圧
力調整が任意に行えるから、短時間で所定の圧力まで上
昇させることが可能である。これによりフィルムマスク
１とガラス板２の間は大気圧より高圧の所定の圧力にな
り、フィルムマスク１はプリント配線基板Ｗ上に密着す
る。この状態で光源装置４０によりガラス板２上面から
光を照射してフィルムマスク１のパターンをプリント配
線基板Ｗ上に焼き付ける。露光時或いは全作業工程を通
じて、ファン２５から冷却空気をガラス板２及びフィル
ムマスク１に吹き付けフィルムマスク１の温度による伸
びを抑制する。以上の構成においてフィルムマスク１は
プリント配線基板Ｗに密着しているため、きわめて精度
の高い露光が実現できる。またフィルムマスク１の伸び
等が抑制されるから更に精度の高いパターンの焼付けが
可能になる。露光が終了したら、テ−ブル５０を下降さ
せプリント配線基板Ｗを取り出して、このプリント配線
基板Ｗを現像工程及びエッチング工程に送る。
マスク押え板６によりフィルムマスク１の周囲を押さえ
るようにしてガラス板２の下面に当接させ、固定金具７
をベースフレーム５に締め付けることによりフィルムマ
スク１の周囲をマスク押え板６を介してガラス板２に締
結する。これによりフィルムマスク１の伸びが抑制され
る。次にプリント配線基板Ｗをテ−ブル５０に載置し、
アライメントを行ってプリント配線基板Ｗと上記により
締結したフィルムマスク１の位置を合わせる。そしてテ
−ブル５０を上昇し、プリント配線基板Ｗをフィルムマ
スク１に当接させ、流体源１１から空気を給気孔３から
送る。この際蓄圧タンク１２により圧力は均等に且つ徐
々に上昇するから、フィルムマスク１の伸びなどを生ず
ることがない。また電流比例式空圧減圧弁１３により圧
力調整が任意に行えるから、短時間で所定の圧力まで上
昇させることが可能である。これによりフィルムマスク
１とガラス板２の間は大気圧より高圧の所定の圧力にな
り、フィルムマスク１はプリント配線基板Ｗ上に密着す
る。この状態で光源装置４０によりガラス板２上面から
光を照射してフィルムマスク１のパターンをプリント配
線基板Ｗ上に焼き付ける。露光時或いは全作業工程を通
じて、ファン２５から冷却空気をガラス板２及びフィル
ムマスク１に吹き付けフィルムマスク１の温度による伸
びを抑制する。以上の構成においてフィルムマスク１は
プリント配線基板Ｗに密着しているため、きわめて精度
の高い露光が実現できる。またフィルムマスク１の伸び
等が抑制されるから更に精度の高いパターンの焼付けが
可能になる。露光が終了したら、テ−ブル５０を下降さ
せプリント配線基板Ｗを取り出して、このプリント配線
基板Ｗを現像工程及びエッチング工程に送る。
【００１３】以上説明したように、上記構成によればフ
ィルムマスク１をプリント配線基板Ｗに密着させること
ができ、しかもフィルムマスク１の伸びやガラス板２の
曲がりを抑制することができるから、高精度の露光を行
うことができる。また、電流比例式空圧減圧弁１３によ
り加圧を最短時間で行える等の効果がある。
ィルムマスク１をプリント配線基板Ｗに密着させること
ができ、しかもフィルムマスク１の伸びやガラス板２の
曲がりを抑制することができるから、高精度の露光を行
うことができる。また、電流比例式空圧減圧弁１３によ
り加圧を最短時間で行える等の効果がある。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明のフィルムマ
スクを用いた露光装置は、フィルムマスクを背面側から
支持する支持体と、該フィルムマスクの表面を対象物に
当接させる装置と、該フィルムマスクと支持基板の間に
流体を導入して加圧し、該フィルムマスクを対象物に密
着させる装置と、前記密着させる装置に流体を供給する
装置と、該流体の圧力を調整する装置と、前記対象物と
フィルムマスクとに光を照射する装置とを有するため、
フィルムマスクを対象部に密着させることができ、しか
もフィルムマスクの伸びを抑制することが可能でる。そ
のため高精度の露光を実現できる。
スクを用いた露光装置は、フィルムマスクを背面側から
支持する支持体と、該フィルムマスクの表面を対象物に
当接させる装置と、該フィルムマスクと支持基板の間に
流体を導入して加圧し、該フィルムマスクを対象物に密
着させる装置と、前記密着させる装置に流体を供給する
装置と、該流体の圧力を調整する装置と、前記対象物と
フィルムマスクとに光を照射する装置とを有するため、
フィルムマスクを対象部に密着させることができ、しか
もフィルムマスクの伸びを抑制することが可能でる。そ
のため高精度の露光を実現できる。
【図１】本発明の一実施例を示す模式図。
【図２】ガラス板２の裏面を示す平面図。
【図３】フィルムマスク１とガラス板２の締結構造を示
す正面図。
す正面図。
【図４】フィルムマスク１とガラス板２の締結構造を示
す組立図。
す組立図。
【図５】マスク押え板６の拡大部分図。
【図６】動作説明図。
【図７】動作説明図。
１：フィルムマスク、２：ガラス板、３：給気孔、４：
給気溝、５：ベースフレーム、６：マスク押え板、７：
固定金具、８：方向切換弁、１１：流体源、１２：蓄圧
タンク、１３：電流比例式空圧減圧弁、２１：ダクト、
２２：空気冷却装置、２３：カバー、２５：ファン、４
０：光源装置、５０：テーブル、６０：切欠。
給気溝、５：ベースフレーム、６：マスク押え板、７：
固定金具、８：方向切換弁、１１：流体源、１２：蓄圧
タンク、１３：電流比例式空圧減圧弁、２１：ダクト、
２２：空気冷却装置、２３：カバー、２５：ファン、４
０：光源装置、５０：テーブル、６０：切欠。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−145248（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−53554（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−173734（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−62349（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−147140（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭47−5296（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭46−36052（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/20 - 7/24 G03F 9/00 - 9/02
Claims (6)
- 【請求項１】 フィルムマスクを背面側から支持する支
持体と、 該フィルムマスクの表面を対象物に当接させる装置と、 該フィルムマスクと支持体の間に流体を導入して加圧
し、該フィルムマスクを対象物に密着させる装置と、 前記密着させる装置に流体を供給する装置と、 該流体の圧力を調整する装置と、 前記対象物とフィルムマスクとに光を照射する装置と、 を有することを特徴とするフィルムマスクを用いた露光
装置。 - 【請求項２】 流体を供給する装置が蓄圧手段を有する
請求項１に記載のフィルムマスクを用いた露光装置。 - 【請求項３】 調整する装置が流体圧力を無段階で制御
する手段である請求項１に記載のフィルムマスクを用い
た露光装置。 - 【請求項４】 フィルムマスクを背面側から支持する支
持装置と、 該フィルムマスクの表面を対象物に当接させる装置と、 該フィルムマスクと支持基板の間に流体を導入して加圧
し、該フィルムマスクを対象物に密着させる装置と、 前記対象物とフィルムマスクとに光を照射する装置とを
備え；前記支持装置が、 フィルムマスクを背面側から支持する透明支持基板と、 該フィルムマスクの端部の一部又は全部を該支持基板に
固定し、フィルムマスクの伸びを抑制する固定装置とを
有する、 ことを特徴とするフィルムマスクを用いた露光装置。 - 【請求項５】 固定装置が、枠状のフィルムマスク押え
板と該フィルムマスク押え板と前記透明支持基板とを締
結する締結手段とを有する請求項４に記載のフィルムマ
スクを用いた露光装置。 - 【請求項６】 フィルムマスクを背面側から支持する支
持基板と、 該フィルムマスクの表面を対象物に当接させる装置と、 該フィルムマスクと支持基板の間に流体を導入して加圧
し、該フィルムマスクを対象物に密着させる装置と、 前記対象物とフィルムマスクとに光を照射する装置と、 前記支持基板に冷却気体を吹き付ける装置と、を有する
ことを特徴とするフィルムマスクを用いた露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03332629A JP3099841B2 (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | フィルムマスクを用いた露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03332629A JP3099841B2 (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | フィルムマスクを用いた露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142779A JPH05142779A (ja) | 1993-06-11 |
| JP3099841B2 true JP3099841B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=18257096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03332629A Expired - Fee Related JP3099841B2 (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | フィルムマスクを用いた露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3099841B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003029417A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント配線板の製造方法 |
| JP4621136B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2011-01-26 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
| JP2008111969A (ja) * | 2006-10-30 | 2008-05-15 | Adtec Engineeng Co Ltd | 露光装置 |
| JP2013254113A (ja) * | 2012-06-07 | 2013-12-19 | Arisawa Mfg Co Ltd | 露光装置及び露光方法 |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP03332629A patent/JP3099841B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05142779A (ja) | 1993-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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