JPS62277726A - 平行出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［産業上の利用分野］ 本発明は、２平面間の平行出し装置に関する。

この平行出し装置は、例えば、コンタクトおよびプロキ
シミティ方式の半導体露光装置において、マスク・ウェ
ハ間のギ↑Ｉツブ設定または畜着の前過程に必要なマス
ク・ウェハ間の平行出しをするのに好；Δへものである
。

［従来技術〕 従来、プロキシミティ方式の半導体露光装置に適用され
た平行出し装置として、第３図に示す構成のものが知ら
れている。同図（ａ）〜（ｆ）は、この装置にＪ５ける
マスク・ウェハ間の平行出しおよびギせツブ設定の手順
を示している。１なわち、フォトレジストを塗布したウ
ェハ４をウエハチャツク５上に吸着保持しくａ）、キャ
リブレータ３をセットしくｂ）、ウェハ４をキャリブレ
ータ３に押し当てて平行出しを行ない（Ｃ）、ウェハ４
をキャリブレータ３より所定値αだけ離しくｄ）、ウェ
ハ４およびキャリブレータ３を所定値βだけ下降させ（
ｅ）、キャリブレータ３を引き出してからウェハ４を上
昇してフォトマスク１とウェハ４との間隙を所定のアラ
イメントギャップＱａとする（ｆ）ことにより平行出し
およびギャップ設定を行なっていた。なお、ウニハチせ
ツク５は自由に回転できるように球面によって支持され
ているので、（Ｃ）における押当てによってウェハ４を
キャリブレータ３に密接させることができる。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このような方法ではウェハをキャリブレ
ータに押し当てて平行出しを行なうため、ウェハに塗布
したフォトレジストにダメージを与え歩留りの低下を招
くとともに、フォトレジストがキャリブレータに付着し
平行出し精度およびその安定性を悪化させるという欠点
があった。

［問題点を解決するための手段および作用］本発明は、
Ｆｌの平面に対して第２の平面を平行出しする装置であ
って、第１の平面に平行な第３の平面と、該第３の平面
より流体を吹き出す手段と、該第３の平面へ向けて上記
第２の平面を付勢する手段とを備え、平行出し時上記第
３の平面と第２の平面との間に流体膜を介在させること
により該第２の平面を該第３の平面に接触させることな
く平行出しするようにした平行出し装置である。

上記流体は、例えば、第３の平面に開口する複数の吹出
し穴から、好ましくは各々独立な流量調整手段を介して
、吹き出す気体である。

［実施例１ 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る平行出し装置の構成
を示１断面図である。

同図において、１はフォトマスク、２はフォトマスクホ
ルダ、４はウェハ、５はウェハチャック、６はギャップ
ユニット、１０はキャリブレータである。キャリブレー
タ１０にはエフ吹出し穴１１およびエア導通穴１２が備
えられており、エア導通穴１２にはエアを供給するため
のエア配管１３が配管されている。なお、第３図の従来
例とはキャリブレータ１０のみ異なり、その他の構造お
よび様能は全て同じである。

上記構成において、）Ａ上マスク１に対するウェハ４′
の平行出し操作の手順は従来例の場合と同様であるが、
第３図（Ｃ）に対応する押付けによる平行出しに際して
は、キャリアレータ１０のエア導通穴１２を経て吹出し
穴１１からエアが吹き出される。これによりウェハ４と
キャリブレータ１０との間にエア膜による微小間隙δが
作り出され、キャリブレータ１０とは非接触でウェハ４
の平行出しが行なわれる。

［他の実施例］ 第２図は、本発明の池の実施例に係る平行出し装置の構
成を示す断面図である。第１図と共通する部分は同一の
符号を付しである。

第２図の装置は、第１図の装置に対しキャリアレータの
構造が異なっている。すなわち、キャリブレータ２０は
２つのエア吹出し穴２１．２２を備え、それぞれ独立に
エア導通穴２３．２４、エア配管２５゜２６および流器
調整器２７．２８を介してエア源に配管されている。

この構成において、平行出しに際しては、第１図の装置
の場合と同様にエア吹出し穴２１．２２よりエアが吹き
出される。ただし、流分調整器２７．２８によりエア吹
出し穴２１．２２からのエア吹出し門をそれぞれ独立し
て調整しながら平行出しを行なう。

従って、吹出し穴２１．２２の加工誤差等により生ずる
間隙δ１と間隙δ２との微小な差異を補正して平行出し
を行なうことができる。

なお、流器調整器２７．２Ｂのうち一方を省略し他方の
みで調整するようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によると、第３の平面にエ
ア吹出し穴を設けるという簡単な構造により該第３の平
面に第２の平面を接触させずに該第２の平面の平行出し
をすることができる。従って、該第２の平面のダメージ
が減少するので歩留りを高めることができ、しかも、フ
ォトレジスト等が第３の平面に付着すること等がないの
で平行出し精度を高い精度で安定させかつ第３の平面の
クリーニングを不要とすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る平行出し装置の構成
を示す断面図、 第２図は、本発明の他の実施例に係る平行出し装置の構
成を示す断面図、 第３図は、従来の平行出し装置の構成および平行出し・
ギャップ設定手順を示す断面図である。 １：フォトマスク、２：フォトマスクホルダ、３、１０
．２０：キャリブレータ、４：ウェハ、５：ウェハチャ
ン’）、６：ギャップユニット１．７：ギャップユニッ
ト２． １１、２１．２２：エア吹出し穴、 １２、２３．２４：エア導通穴、 １３、２５．２６：エア配管、 ２７、２８：流量調整器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、第１の平面に対して第２の平面を平行出しする装置
   であつて、 第１の平面に平行な第３の平面と、該第３の平面より流
   体を吹き出す手段と、該第３の平面へ向けて上記第２の
   平面を付勢する手段とを備え、平行出し時上記第３の平
   面と第２の平面との間に流体膜を介在させることにより
   該第２の平面を該第３の平面に接触させることなく平行
   出しすることを特徴とする平行出し装置。 ２、前記流体が、前記第３の平面に開口する吹出し穴よ
   り吹き出す気体であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の平行出し装置。 ３、前記吹出し穴が複数あり、これらの吹出し穴から吹
   き出す気体の流量をそれぞれ独立して調整する手段を具
   備することを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の平
   行出し装置。 ４、前記第１の平面がマスクパターン面であり、前記第
   ２の平面がウェハ露光面であり、前記第３の平面がキヤ
   リブレータの面であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１、２または３項記載の平行出し装置。