JP2589080Y2 - 加圧型の露光装置におけるフォトツール保持具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は加圧型の露光装置にお
けるフォトツール保持具に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板等の製造に際して、露光装
置を用いて回路パターンを基板上に焼き付けるリソグラ
フィ法が近年用いられるようになって来ている。露光装
置には回路パターンを描いたフォトツールを装着し、該
フォトツールを保持具に保持させた上で基板に密着させ
て露光を行うようになっている。このフォトツールを基
板に密着させるために、フォトツールを加圧フィルム等
を用いて加圧して基板に押しつけるタイプのものが本願
出願人により提案され、実用化されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】しかしこのような加圧
型の露光装置において、フォトツールを保持する保持具
の肉厚により、フォトツールの端部において、加圧フィ
ルムとの間に隙間が生じ、加圧フィルムによる加圧が不
十分になる問題があった。そのためフォトツールの端部
はパターン原図のない空白代としなければならず、その
結果フォトツールの大きさをパターン原図よりも十分に
大きくする必要があった。しかしフォトツールが大きく
なると、フォトツールの伸びや弛み等の問題が生じ易く
なり、露光精度に悪影響を及ぼす問題があった。本考案
は上記した従来技術の問題点を解決するためになされた
もので、フォトツール端部の空白代を最小限にできるフ
ォトツールの保持具を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本考案は、フォトツールを加圧して露光対象物に密着
させる加圧型の露光装置におけるフォトツール保持具に
おいて、強度保持のための基枠と、該基枠の底面側に設
けられ、該基枠よりも径小で且つ肉厚が薄く、底面側に
フォトツールを装着するフォトツール枠とを備えたこと
を特徴とする。

【０００５】

【作用】保持具の強度は基枠により維持され、フォトツ
ール枠によりフォトツールと加圧フィルムとの間の隙間
が小さくなる。そのため、フォトツール端部の空白代を
最小限にすることが可能になり、その結果フォトツール
の大きさを必要最小限とすることが可能になる。

【０００６】

【実施例】以下本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。図４に加圧式の露光装置の全体の構成を示す。露光
対象である基板Ｋは回転、昇降及びｘ、ｙ方向に移動可
能な基台２０に置かれる。保持具Ａは支持装置２４に支
持されて基板Ｋ上に配置され、該保持具Ａにはフォトツ
ールＦが保持されている。そしてＣＣＤカメラ２２によ
りフォトツールＦと基板Ｋの位置合わせがなされ、基台
２０の上昇により基板ＫとフォトツールＦとを接触させ
るようになっている。そして、エアコンプレッサ２３か
ら加圧フィルムＰの内部に送気して加圧フィルムＰを膨
らませ、該加圧フィルムＰの圧力によりフォトツールＦ
を基板Ｋに密着させた上で、光源２１から光を放射して
露光するように構成されている。

【０００７】該保持具Ａの詳細を図１及び図２に示す。
図１は平面図、図２は図１におけるアーア線断面図であ
る。基枠１は４角形の枠であって、図２に示すように肉
厚の部材から構成され、この基枠１により保持具Ａ全体
の強度を維持している。該基枠１の裏面側にビス１０に
より中間枠２が固定されている。中間枠２は図２に示す
ように基枠１よりも肉薄の部材からなり、且つ各辺が幅
広の枠体になっている。従って、中間枠２の枠は基枠１
よりも径小になっている。

【０００８】該中間枠２の裏面側に更にフォトツール枠
３が装着されている。該フォトツール枠３は基枠１より
も肉薄で且つ中間枠２よりも更に肉薄の部材から形成さ
れている。該フォトツール枠３は中間枠２よりも更に径
小の枠体になっており、図２に示すようにその裏面側に
フォトツールＦを装着するように構成されている。フォ
トツール枠３はこの実施例では中間枠２にスポット溶接
により固着されている。またフォトツールＦはフォトツ
ール枠３に接着テープ４により脱着可能に装着されてい
る。

【０００９】以上の構成の保持具Ａを図４に示すように
支持装置２４に装着し、ＣＣＤカメラ２２で位置合わせ
を行った上、基台２０を上昇させて基板Ｋをフォトツー
ルＦに接触させ、更にフォトツールＦを加圧フィルムＰ
に接触させる。同時にエアコンプレッサ２３から加圧フ
ィルムＰ内部に空気を送り、加圧フィルムＰを膨張さ
せ、フォトツールＦを基板Ｋに密着させる。図３はこの
状態の部分拡大図を示すもので、加圧フィルムＰにより
フォトツールＦが基板Ｋに密着している。フォトツール
枠３の端部ではフォトツールＦと加圧フィルムＰの間に
若干の隙間Ｂが形成されるが、フォトツール枠３は肉薄
であるため、該隙間Ｂは最小限のものとなる。図５は従
来の肉厚の枠にフォトツールＦを装着した場合の状態を
示すもので、フォトツールＦと加圧フィルムＰの間に形
成される隙間Ｂ’が非常に大きくなり、フォトツールＦ
と基板Ｋが密着しない面積が大きくなることがわかる。

【００１０】以上説明した実施例の構成によれば、基枠
１により保持具Ａ全体の剛性が確保され、しかも肉薄の
フォトツール枠３により加圧フィルムＰとフォトツール
Ｆの間に形成される隙間Ｂが最小になるから、フォトツ
ールＦと基板Ｋの密着性が向上し、フォトツールＦの実
効面積を拡大することができる。したがって、フォトツ
ールＦを比較的小さなものとすることができ、フォトツ
ールＦの伸びや弛みを小さくできるから、精度の高い露
光を実現できる。

【００１１】

【考案の効果】以上説明したように本考案は、フォトツ
ールを加圧して露光対象物に密着させる加圧型の露光装
置におけるフォトツール保持具において、強度保持のた
めの基枠と、該基枠の底面側に設けられ、該基枠よりも
径小で且つ肉厚が薄く、底面側にフォトツールを装着す
るフォトツール枠とを備えているため、保持具の強度は
基枠により維持され、フォトツール枠によりフォトツー
ルと加圧フィルムとの間の隙間を小さくすることができ
る。そのため、フォトツール端部の空白代を最小限にす
ることが可能になり、その結果フォトツールの大きさを
必要最小限とすることが可能になる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す平面図。

【図２】図１におけるアーア線断面図。

【図３】本考案の一実施例における加圧フィルムＰとフ
ォトツールＦの接触状態を示す説明図。

【図４】加圧型の露光装置の概略正面図。

【図５】従来例における加圧フィルムＰとフォトツール
Ｆの接触状態を示す説明図。

【符号の説明】

１：基枠、２：中間枠、３：フォトツール枠、４：接着
テープ、１０：ビス、１２：テーパ端面、２０：基台、
２１：光源、２２：ＣＣＤカメラ、２３：エアコンプレ
ッサ、２４：支持装置。

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 フォトツールを加圧して露光対象物に密
   着させる加圧型の露光装置におけるフォトツール保持具
   において、 強度保持のための基枠と、 該基枠の底面側に設けられ、該基枠よりも径小で且つ肉
   厚が薄く、底面側にフォトツールを装着するフォトツー
   ル枠と、 を備えたことを特徴とする加圧型の露光装置におけるフ
   ォトツール保持具。
2. 【請求項２】 前記基枠とフォトツール枠の間に、基枠
   よりも径小で肉厚が薄く、フォトツール枠よりも径大で
   肉厚の厚い中間枠を設けた、 請求項１に記載の加圧型露光装置におけるフォトツール
   保持具。