KR940004370A - 능동 액정표시소자 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 능동 액정표시소자 제조방법에 관한 것으로, 종래에는 게이트패드를 게이트전극 및 스토래지전극과 같은 금속으로 동시에 형성하여 양극산화를 하므로 게이트패드에 산화막이 형성되어 화소구동소자와의 전도성 접촉이 좋지 않게된다.

따라서 이를 해소하기 위한 공정이 추가되어 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 양극산화가 안되는 금속과 양극산화가 잘되는 금속을 연속증착한 후 양극산화가 잘되는 금속으로 패드부분을 제외한 게이트전극과 스토래지 전극을 형성하여 양극산화시키고, 이 후 양극산화가 안되는 금속으로 패드부분을 형성하므로써 패드의 산화를 방지할 수 있도록 하는 것이다.

Description

능동 액정표시소자 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제4도의 (가) 내지 (라)는 본 발명 능동 액정표시소자의 게이트 전극, 스토래지 전극, 게이트패드 형성공정도,

제5도의 (가) 내지 (바)는 본 발명 능동 액정표시소자 제조공정도,

제6도의 (가) (나)는 본 발명에 의한 스토래지 버스라인의 응력 분산도.

Claims (3)

1. 유리기판(1) 위에 제1금속층(15)을 증착한 후 그위에 산회되는 금속을 증폭하여 패드부분을 제외한 게이트 전극(2)과 스토래지전극(3)의 패턴을 형성하는 단계와, 상기 게이트전극(2)과 스토래지전극(3)을 양극산화하여 양극산화막(4)으로 변환하는 단계와, 상기 양극산화막(4) 하부의 제1금속층(15)을 패터닝하여 게이트패드(24),게이트전극(22), 스토래지전극(23)의 패턴을 형성하는 단계와, 그위에 절연막(5)과 비정질실리콘층(6)을 연속 증착한 후 상기 비정질 실리콘층(6)을 패턴형성하는 단계와 그 위에 불순물 도핑층(7)을 증착한 후 패턴형성한 후 화소로 이용되는 투명전극(8)을 증착하여 패턴을 형성하는 단계와 그후 소오스-드레인전극(9)을 증착하여 패턴형성 후 그위에 보호막(10)을 증착하는 단계로 제조됨을 특징으로 하는 능동 액정표시소자 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 제1금속층(15)은 양극산화되지 않고 전도성이 좋은 금속을 사용함을 특징으로 하는 능동 액정표시 소자 제조방법.
3. 제1항에 있어서, 게이트전극(22), 스토래지전극(23), 게이트패드(24)는 같은 크기로 형성됨을 특징으로 하는 능동 액정표시소자 제조방법

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.