KR960024610A - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents

액정표시장치의 제조방법 Download PDF

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KR960024610A
KR960024610A KR1019940039503A KR19940039503A KR960024610A KR 960024610 A KR960024610 A KR 960024610A KR 1019940039503 A KR1019940039503 A KR 1019940039503A KR 19940039503 A KR19940039503 A KR 19940039503A KR 960024610 A KR960024610 A KR 960024610A
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신섭
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구자홍
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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 제조 공정을 단순화 하기 위한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
이와같은 본 발명의 액정표시장치의 제조방법은 투명기판위에 알루미늄 또는 알루미늄이 함유된 금속을 증착하고 패터닝하여 게이트 라인 및 게이트 패드와 쇼팅바를 형성하는 공정과, 상기 패터닝된 금속을 선택적으로 양극산화하여 게이트 패드부 및 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 절단부분을 제외한 부분에 양극산화막을 형성하는 공정과, 전면에 게이트 절연막과 반도체층, 고농도 n형 도핑된 반도체층을 차례로 증착하고 상기 반도체층 및 고농도 n형 도핑된 반도체층을 선택적으로 제거하여 박막 트랜지스터의 활성층을 형성하고 상기 게이트 패드부 및 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 상기 게이트 절연막과 양극산화막을 제거하는 공정과, 전면에 ITO을 증착하고 선택적으로 식각하여 화소전극을 형성함과 동시에 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 금속을 절단하는 공정과, 전면에 금속을 증착하고 패터닝하여 소오스 및 드레인 전극을 형성하고 전면에 보호막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어진 것이다.

Description

액정표시장치의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 제2도 A-A′선 상의 본 발명 액정표시장치 공정 단면도.

Claims (3)

  1. 투명기판위에 알루미늄 또는 알루미늄이 함유된 금속을 증착하고 패터닝하여 게이트 라인 및 게이트 패드와 쇼팅바를 형성하는 공정과, 상기 패터닝된 금속을 선택적으로 양극산화하여 게이트 패드부 및 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 절단부분을 제외한 부분에 양극산화막을 형성하는 공정과, 전면에 게이트 절연막과 반도체층, 고농도 n형 도핑된 반도체층을 차례로 증착하고 상기 반도체층 및 고농도 n형 도핑된 반도체층을 선택적으로 제거하여 박막 트랜지스터의 활성층을 형성하고 상기 게이트 패드부 및 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 상기 게이트 절연막과 양극산화막을 제거하는 공정과, 전면에 ITO을 증착하고 선택적으로 식각하여 화소전극을 형성함과 동시에 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 금속을 절단하는 공정과, 전면에 금속을 증착하고 패터닝하여 소오스 및 드레인 전극을 형성하고 전면에 보호막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 양극산화가 되지 않은 금속으로 크롬 또는 티타늄을 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 게이트 절연막은 산화막으로 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100486719B1 (ko) * 1998-12-12 2005-08-17 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치및그제조방법
KR100527082B1 (ko) * 1999-12-22 2005-11-09 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조방법
KR100685920B1 (ko) * 2001-06-13 2007-02-23 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치의 제조방법

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