KR960024610A - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents
액정표시장치의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 제조 공정을 단순화 하기 위한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
이와같은 본 발명의 액정표시장치의 제조방법은 투명기판위에 알루미늄 또는 알루미늄이 함유된 금속을 증착하고 패터닝하여 게이트 라인 및 게이트 패드와 쇼팅바를 형성하는 공정과, 상기 패터닝된 금속을 선택적으로 양극산화하여 게이트 패드부 및 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 절단부분을 제외한 부분에 양극산화막을 형성하는 공정과, 전면에 게이트 절연막과 반도체층, 고농도 n형 도핑된 반도체층을 차례로 증착하고 상기 반도체층 및 고농도 n형 도핑된 반도체층을 선택적으로 제거하여 박막 트랜지스터의 활성층을 형성하고 상기 게이트 패드부 및 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 상기 게이트 절연막과 양극산화막을 제거하는 공정과, 전면에 ITO을 증착하고 선택적으로 식각하여 화소전극을 형성함과 동시에 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 금속을 절단하는 공정과, 전면에 금속을 증착하고 패터닝하여 소오스 및 드레인 전극을 형성하고 전면에 보호막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어진 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 제2도 A-A′선 상의 본 발명 액정표시장치 공정 단면도.
Claims (3)
- 투명기판위에 알루미늄 또는 알루미늄이 함유된 금속을 증착하고 패터닝하여 게이트 라인 및 게이트 패드와 쇼팅바를 형성하는 공정과, 상기 패터닝된 금속을 선택적으로 양극산화하여 게이트 패드부 및 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 절단부분을 제외한 부분에 양극산화막을 형성하는 공정과, 전면에 게이트 절연막과 반도체층, 고농도 n형 도핑된 반도체층을 차례로 증착하고 상기 반도체층 및 고농도 n형 도핑된 반도체층을 선택적으로 제거하여 박막 트랜지스터의 활성층을 형성하고 상기 게이트 패드부 및 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 상기 게이트 절연막과 양극산화막을 제거하는 공정과, 전면에 ITO을 증착하고 선택적으로 식각하여 화소전극을 형성함과 동시에 게이트 패드와 쇼팅바 사이의 금속을 절단하는 공정과, 전면에 금속을 증착하고 패터닝하여 소오스 및 드레인 전극을 형성하고 전면에 보호막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 양극산화가 되지 않은 금속으로 크롬 또는 티타늄을 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 게이트 절연막은 산화막으로 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940039503A KR960024610A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 액정표시장치의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940039503A KR960024610A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 액정표시장치의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960024610A true KR960024610A (ko) | 1996-07-20 |
Family
ID=66647584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940039503A KR960024610A (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 액정표시장치의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960024610A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486719B1 (ko) * | 1998-12-12 | 2005-08-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치및그제조방법 |
| KR100527082B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2005-11-09 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조방법 |
| KR100685920B1 (ko) * | 2001-06-13 | 2007-02-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 제조방법 |
-
1994
- 1994-12-30 KR KR1019940039503A patent/KR960024610A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486719B1 (ko) * | 1998-12-12 | 2005-08-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치및그제조방법 |
| KR100527082B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2005-11-09 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 박막 트랜지스터 액정표시장치의 제조방법 |
| KR100685920B1 (ko) * | 2001-06-13 | 2007-02-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 제조방법 |
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