KR930005124A - 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따라 폴리머를 제거하고 후의 메탈을 형성하는 방법을 도시한 도면.
Claims (4)
- 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거 방법에 있어서, 실리콘 기판 위에 BPSG또는 산화막을 입히고 감광막을 씌운 후 콘택 영역의 정의를 위한 포토리토그래피(Photollthography) 공정을 수행하는 단계(a)와, 상기 BPSG 또는 산화막을 CF4또는 CHF3가스를 사용하여 건식식각 한 후, 혼합가스를 사용하여 감광막 및 이미 형성된 폴리머의 일부를-제거하는 단계 (b)와, NH4OH, H2O2및 H2O의 제1혼합용액에서 50℃의 온도로 20분간 처리하는 단계 (C)와, HCI, H2O2및 H2O의 제2혼합용액에서 80℃의 온도로 10분간 처리하는 단계 (d)를 구비하는 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거방법.
- 제1항에 있어서, 상기 b단계에서 사용되는 혼합가스는 O2+N2O혼합가스인 것을 특징으로 하는 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거방법.
- 제1항에 일어서, 상기 단계 c에서 사용되는 제1혼합용액은 NH2OH, H2O2및 H2O가 1 : 2 : 10의 체적비로 혼합된 용액인 것을 특징으로 하는 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거방법.
- 제1항에 있어서, 상기 단계 d에서 사용되는 제2혼합용액은 HCI, H2O2및 H2O가 1 : 1 : 5의 비율로 혼합된 용액인 것을 특징으로 하는 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910013510A KR930005124A (ko) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910013510A KR930005124A (ko) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930005124A true KR930005124A (ko) | 1993-03-23 |
Family
ID=67310261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910013510A KR930005124A (ko) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 콘택 에치중의 사이드월 폴리머 제거방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR930005124A (ko) |
-
1991
- 1991-08-05 KR KR1019910013510A patent/KR930005124A/ko not_active Application Discontinuation
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