KR920701831A - 자기 저항 센서 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

자기 저항 센서

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 종래의 자기 저항 센서가 구비된 VCR용 모우터의 개략도; 제2A및 2B도는 각각 종래의 자기 저항 센서에 대한 평면도 및 단면도; 제3A및 3B도는 각각 종래의 자기 저항 센서와 회전자 면이 서로 대향하고 있는 상태를 나타내는 단면도.

Claims (11)

1. 직사각형 기판의 한표면에 각각 형성된 강자성 박막으로 구성된 자계검출부, 적어도 2개의 단자 전극부들 및 배선부들을 포함하는 자기 저항 센서에 있어서, 상기 기판의 상기한 표면상에서, 적어도 2개의 코너부들의 표면수준이 상기 적어도 2개의 코너부들을 제외한 부분들의 그것보다 더 낮고, 상기 적어도 2개의 단자 전극부들은 더 낮은 표면수준을 갖는 상기 코너부들에 각각 별도로 형성되며, 그리고 상기 강자성 박막으로 구성된 상기 자계 검출부는 상기 적어도 2개의 코너부들 이외의 상기 기판의 표면상의 부분에 형성됨을 특징으로하는 자기저항 센서.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판의 상기 표면상의 상기 적어도 2개의 코너부들은 계단부들을 가져 그 표면수준이 다른 표면부의 수준보다 더 낮음을 특징으로 하는 자기 저항센서.
3. 제1항에 있어서, 상기 기판의 표면상의 상기 적어도 2개의 코너부들은 다른 표면부들에 대해 경사져서 그 표면수준이 다른 표면부의 수준보다 더 낮음을 특징으로 하는 자기 저항 센서.
4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 기판의 외형이 정사각형임을 특징으로 하는 자기 저항센서.
5. 제4항에 있어서, 상기 자계 검출부의 센서 패턴의 길이방향이 상기 정사각형 기판의 대각선에 나란하게 형성됨을 특징으로 하는 자기 저항센서.
6. 제1항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 단자 전극부들중 입력용 단자 전극부들과 출력용 단자 전극부들이 상기 기판의 표면 중심에 대해 서로 대칭적 위치에 형성됨을 특징으로 하는 자기 저항 센서.
7. 제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 단자 전극부들이 형성되어 있는 코너부들의 수준은 상기 자계 검출부가 형성되어 있는 상기 기판의 표면부의 수준보다 적어도 50㎛ 더 낮음을 특징으로 하는 자기 저항 센서.
8. 제1항 내지 제7항중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판의 상기 한 표면상에서, 상기 코너부들을 제외한 주변부들 일부의 표면 수준은 상기 자계 검출부가 형성되어 있는 표면 수준보다 더 낮은 것을 특징으로 하는 자기 저항 센서.
9. 제1항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 전지 저항 소자가 상기 기판의 표면상에 형성됨을 특징으로 하는 자기 저항 센서.
10. 제1항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 다른 기능 소자들이 상기 기판의 표면상에 또한 형성됨을 특징으로 하는 자기 저항 센서.
11. 자기 저항 센서에 있어서, 상기 자기 저항 센서는; 자기 저항 센서 기판으로서, 상기 기판의 한면에서, 적어도 2개의 코너부들의 표면수준은 상기 적어도 2개의 코너부들을 제외한 상기 기판상의 표면부의 표면수준보다 더 낮은 자기 저항 센서 기판; 각각 낮은 수준을 갖는 코너부들에 별도로 형성되는 적어도 2개의 단자 전극부들; 상기 적어도 2개의 코너부들 이외의 상기 기판의 표면부상에 형성된 강자성 박막으로 구성되는 자계 검출부; 및 반도체 기판상에 위치된 집적회로 소자를 갖는 자기 신호처리부를 구비함을 특징으로 하는 자기 저항 센서.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.