JPH04131780A

JPH04131780A - 磁気検知装置

Info

Publication number: JPH04131780A
Application number: JP2253662A
Authority: JP
Inventors: Katsuto Nagano; 克人長野
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1990-09-21
Filing date: 1990-09-21
Publication date: 1992-05-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的コ（産業上の利用分野）本発明は、磁電変換装置に関し、より詳しくは、磁気抵
抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子を感磁部として用い
、モータやロータリエンコーダ、その他各種の磁性体の
変位状態を検知する磁気変換装置に関する。

（従来の技術）磁気抵抗効果素子を用いた磁電変換装置として従来第６
図に示すものが知られている。

同図に示す従来装置３０は、基板３１上に感磁部として
の磁気抵抗効果素子３２を何回も折曲した形状に形成し
、この磁気抵抗効果素子３２の端子３３ａ、３３ｂに対
し、直流電源３４より所定の駆動電圧を供給するように
なっている。

そして、、例えばＮ、　　Ｓ磁石が連続的に分布する検
知対象物としての磁性体により印加される磁界の変化を
、磁気抵抗効果素子３２の抵抗変化に基く出力端子ＯＵ
Ｔからの検知信号の変化として検知するようになってい
る。尚、出力端子ＯＵＴは、磁気抵抗効果素子３２の中
間部から引き出す構成の３端子構造のものも知られてい
る。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上述した従来装置３０の場合、磁気抵抗
効果素子３２に直流電圧を加え、その直流抵抗の変化を
利用して検知信号を得るものであるため、端子３２ａ、
３２ｂを形成する電極材料に湿気による腐食が生じたり
、容量結合部がないことから何等のフィルタ作用を具備
せず、このため、検知信号に雑音が混入してしまうとい
う問題かあった。

そこで、本発明は、全体構成を改良し、腐食が生じるこ
となく耐久性に優れ、雑音も排除して検知感度向上を図
ることが可能な磁気検知装置を提供することを目的とす
るものである。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明は、磁気抵抗効果素子を感磁部とする磁気検知装
置において、前記磁気抵抗効果素子と、信号伝送端子部
との間に容量結合部を設けるとともに、前記磁気抵抗効
果素子駆動用の交流電源を備え、前記感磁部に印加され
る磁界の変化を、前記磁気抵抗効果素子の抵抗及び容量
結合部の容量からなるコンダクタンスの変化として検知
するようにしたものである。

前記感磁部はブリッジ接続により構成することもできる
。

（作　用）上述した磁電変換装置によれば、感磁部としての磁気抵
抗効果素子が容量結合部を介して交流電源により駆動さ
れるので、検知対象物からの磁界が磁気抵抗効果素子に
作用したとき、この磁界の変化は磁気抵抗素子の交流的
な抵抗変化及び容量結合部の容量の合成からなるコンダ
クタンスの変化として検知されることになり、これによ
り、容量結合部がフィルタ的に作用して雑音成分を排除
できるとともに、湿気等の存在による電極部分の腐食も
排除できる。

また、感磁部をブリッジ接続することにより、この感磁
部は差動的に動作し、検知感度か高まる。

（実施例）以下に本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図乃至第３図は本発明の第１の実施例を示すもので
ある。

第１図、第２図は、全体構成は後述する磁気検知装置１
の検知部２を示すものであり、この検知部２は、絶縁体
製の基板３上に、複数回折曲した磁気抵抗効果素子４と
しての強磁性体薄膜（例えばニッケル・コバルト薄膜）
を形成し、この磁気抵抗効果素子４及び基板３上に絶縁
膜５を被覆し、さらに、絶縁膜５上に、導電体製の信号
伝達端子部として機能する電極６−ａ、６ｂを対向配置
に形成している。

前記電極６ａ、６ｂは、各々絶縁膜５を介して磁気抵抗
効果素子４の両端部領域に対向する配置となっており、
これにより、第１図にクロス斜線で示す容量結合部７ａ
、７ｂが形成されるようになっている。また、両容量結
合部７ａ、７ｂ間の絶縁膜５の上部領域８が実際の検知
動作を行う領域となっている。

前記基板２の両側方には、リード端子９ａ。

９ｂが配置され、前記電極６ａとリード端子９ａ。

電極９ｂとリード端子９ｂは、各々リード線１０ａ、１
０ｂにより接続されている。尚、第１図、第２図中、１
１は樹脂モールドである。

本実施例の磁気検知装置１は、第３図に等価的に示すよ
うに、上述した検知部２に交流電源１２を接続すること
により構成されている。

この磁気検知装置１によれば、交流電源１２により前記
リード端子９ａ、９ｂ、　　リード線ＬＯａ。

１０ｂ及び容量結合部７ａ、７ｂを介して磁気抵抗効果
素子４を駆動した状態において、上部領域８に作用する
検知対象物からの磁界が変化すると、この磁界の変化は
、磁気抵抗効果素子４の交流的な抵抗変化となり、これ
により、磁気抵抗効果素子４の抵抗及び容量結合部７ａ
、７ｂの容量（静電容量）からなるコンダクタンスも磁
界の変化に応じて変化することになり、このコンダクタ
ンスの変化により検知対象物の回転や直線的な変位を検
知できる。

この際、従来例と異なり、交流電源１２を用いているの
で、リード端子９ａ、９ｂ、　　リード線１０ａ、１０
ｂ、電極６ａ’、６ｂ等に湿気があってもこれらの腐食
を招くことはなく、また、容量結合部７ａ、７ｂを有す
ることから特定域波数に対するフィルタ作用を発揮させ
ることができ、これにより、雑音を除去することが可能
となり、検知感度の向上を図ることができる。

第４図は本発明の他の実施例を示すものであり、同図に
示す磁気検知装置ＩＡは、４個の磁気抵抗効果素子４ａ
乃至４ｄをブリッジ接続し、４個の接続点１３ａ乃至１
３ｄの領域に、同図に口部で示す容量結合部１４ａ乃至
１４ｄを設け、接続点１３ａ、１３ｂを交流電源１．２
に、接続点１３ｃ。

１３ｄから出力端子１５ａ、１５ｂを取出す構成とした
ものである。

この磁気検知装置ＩＡによれば、上述したような腐食防
止及び雑音排除の効果に加え、ブリッジ接続された４個
の磁気抵抗効果素子４ａ乃至４ｄが差動的に動作するの
で、検知感度の一層の向上を図れる。

第５図は前記検知部２を２個平行配置に用い、Ｎ、Ｓ磁
極が連続分布する検知対象物としての磁性体１６が矢印
α方向に変位する場合の検知状態を示すものである。

この場合、両検知部２の間隔ｐを磁性体１６のＮ、Ｓ磁
極の間隔に等しく、即ち、Ｎ、　　Ｓ磁極による磁界の
波長λの１／２に設定することで、高感度に検知動作を
行うことができる。また、適当なバイアス磁石を用いる
ことで、間隔ｌを１／２λのほか１／４λ、１／／８λ
等任意の値に設定することも可能である。

本発明は上述した実施例に限定されることなく、その要
旨の範囲内で種々の変形か可能である。

［発明の効果］以上詳述した本発明によれは、上述した構成としたこと
により、容量結合部の存在により検知信号の雑音排除と
、交流電源を用いたことによる腐食防止とを図ることが
できる磁気検知装置を提供することができる。

また、感磁部をブリッジ接続することにより、検知感度
の一層の向上を図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例装置における検知部の断
面図、第２図は同上の平面図、第３図は同実施例装置の
回路図、第４図は第２の実施例装置の回路図、第５図は
第１の実施例装置の使用例を示す配置図、第６図は従来
例の回路図である。１、ＩＡ・・・磁気検知装置、　２・・・検知部、４・
・・磁気抵抗効果素子、　　５・・・絶縁膜、７ａ、７
ｂ・・・容量結合部、１２・・・交流電源。代理人　弁理士　三　　澤　　正　　義弟　　２　図第　　３　図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）磁気抵抗効果素子を感磁部とする磁気検知装置に
おいて、前記磁気抵抗効果素子と、信号伝送端子部との
間に容量結合部を設けるとともに、前記磁気抵抗効果素
子駆動用の交流電源を備え、前記感磁部に印加される磁
界の変化を、前記磁気抵抗効果素子の抵抗及び容量結合
部の容量からなるコンダクタンスの変化として検知する
ようにしたことを特徴とする磁気検知装置。
（２）前記感磁部がブリッジ接続されたものである請求
項１記載の磁気検知装置。