JPS59179322U - 磁気センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は、本考案の実施例を説明するための図
であり、このうち第１図がセンサ素子の拡大平面図、第
２図が第１図の■−■線断面図、第３図が磁気センサを
一部切欠いて示す平面図、第４図が第３図のＴＶ−ＩＶ
線断面図である。第５図は、本考案の別の実施例を説明
するための、一部を切欠いて示す平面図である。第６図
は、本考案の別の実施例を説明するための側面図である
。 １・・・・・・磁気センサ、１ｏ・・曲センサ素子、２
・・・　−・・・基板、３１．３２・・・・・・強磁性
薄膜、３１１゜３２１・・・・・・検知部分、３１５，
３１７，３２５゜３２７・・・・・・電極部分、４１５
，４１７，４２５゜４２７・・・・・・電極層、５・・
・・・・保護層、６１５゜６１７．６２５，６２７・・
曲り一ド体、７・・曲樹脂モールド、８・・曲ボンディ
ングワイヤ、Ｍ・・曲バイアスマグネット、Ｒ・・曲回
転子。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　基板の表面に、少なくとも１つの強磁性薄膜を有す
   る強磁性薄膜部を設け、強磁性薄膜に一対のり一ド゛体
   を接続してなる磁気センサにおいて、基板の表面の一部
   に凸面を設け、この凸部および凸部以外の領域に亘って
   強磁性薄膜を設け、凸部頂面以外の領域にて、強磁性薄
   膜にリード体を接続してなることを特徴とする磁気セン
   サ。 ２　基板表面の凸部の高さが、０．０２〜２’ｒｒｒｍ
   である実用新案登録請求の範囲第１に記載の磁気センサ
   。 ３　凸部か、平担な頂面と、この頂面と底部平坦面とに
   連接するテーパー面とからなる実用新案登録請求の範囲
   第１項または第２項に記載の磁気センサ。 ４　テーパー面と底部平坦面のなす角が、２０〜８０°
   である実用新案登録請求の範囲第３項に記載の磁気セン
   サ。　　　゛ ５　テーパー面と底部平坦面および頂面との連接部が、
   曲率をもつ実用新案登録請求の範囲第３項または第４項
   に記載の磁気センサ。 ６　強磁性薄膜が、底部平坦面、テーパー面および頂面
   上に形成されている実用新案登録請求の範囲第３項ない
   し第５項のいずれかに記載の磁気センサ。 ７　リード体が、底部平坦面上の強磁性薄膜と接続する
   実用新案登録請求の給囲第６項に記載の磁気センサ。 ８　強磁性薄膜部が、少なくとも一つの強磁性薄膜と、
   基板表面のほぼ全域に亘って設けられる保護層とからな
   る実用新案登録請求の範囲第１項ないし第７項のいずれ
   かに記載の磁気センサ。 ９　強磁性薄膜部が、強磁性薄膜の両端部上に設けられ
   、リード体との接続部に介在する電極層を有する実用新
   案登録請求の範囲第１項ないし第８項のいずれかに記載
   の磁気センサ。 １０　　強磁性薄膜の厚さが、１００〜４０００Ａであ
   る実用新案登録請求の範囲第１項ないし第９項のいずれ
   かに記載の磁気センサ。′ １１　　強磁性薄膜が、凸部頂面に設けられた細条状の
   検知部分を有し、この検知部分の細条中が、５〜１１０
   ０Ｐである実用新案登録請求の範囲第１項ないし第１０
   項のいずれかに記載の磁気センサ。 １２　　強磁性薄膜が、主検知用の強磁性薄膜と副検知
   用の強磁性薄膜とからなる実用新案登録請求の範囲第１
   項ないし第１１項のいずれかに記載の磁気センサ。 １３　　強磁性薄膜が、平行に配列した主検知用の強磁
   性薄膜を２つ以上有し、主検知用の強磁性薄膜の検知部
   分の間隙が１０〜２０００μｍである実用新案登録請求
   の範囲第１項ないし第１２項のいずれかに記載の磁気セ
   ンサ。