JPH06224488A - 磁気抵抗素子 - Google Patents

磁気抵抗素子

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JPH06224488A
JPH06224488A JP5009980A JP998093A JPH06224488A JP H06224488 A JPH06224488 A JP H06224488A JP 5009980 A JP5009980 A JP 5009980A JP 998093 A JP998093 A JP 998093A JP H06224488 A JPH06224488 A JP H06224488A
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得夫 丸本
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の磁気抵抗素子(パターン)に局所的な
外環境の変化が生じた場合にもパターン間で受ける影響
の差をなくす。 【構成】 同一の感磁方向をもつ磁気抵抗素子のパター
ン1Aと1D,1Bと1Cを互いに入り組ませることに
より、各パターン間の位置の差を小さくした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、直線変位検出装置,
回転角度検出装置などに使用する磁気抵抗素子に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来の磁気抵抗素子を、例えば図2に示
す4素子の磁気抵抗素子について説明する。図におい
て、1a〜1dは磁気抵抗素子のパターンであり、1
a,1dのパターンは同一の感磁方向を有し、1b,1
cのパターンはパターン1a,1dに垂直な感磁方向を
有している。このような構成の磁気抵抗素子のパターン
1a〜1dに、それぞれに対して長手方向に対して角度
をもって磁界を印加すると、その角度に応じて各パター
ン1a〜1dの抵抗値を小さくすることができる。
【0003】図2に示す磁気抵抗素子を用いた磁気式回
転角度検出装置を、図3の回路図により説明する。図に
おいて、1は図2の磁気抵抗素子、2a〜2hはオペア
ンプ、3は抵抗体、4はコンデンサ、5はLTR、6は
マグネット、7はこれら(2〜6)を含めた主回路、8
は主回路7と同様の構成をもつ補助回路である。このよ
うな構成の磁気式回転角度検出装置において、マグネッ
ト6の部分が回転すると、磁気抵抗素子1の位置に印加
される磁界の角度が変化する。パターン1a,1dとパ
ターン1b,1cとは互いに垂直でそれらが取る抵抗値
は異なるため、Vs1とVs2,Vs3とVs4の間
に、マグネット6の回転角度に応じた電位差が生じる。
この電位差をオペアンプ2b〜2dによって増幅し、マ
グネット6の回転角度として主回路7,補助回路8より
それぞれ検出する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の磁気抵抗素子は
図2に示すように各パターン1a〜1dが構成されてい
るので、磁気抵抗素子の周囲温度に片寄りのある場合、
離れた位置にあるパターン1a〜1dの間にわずかな温
度差を生じる。パターン(磁気抵抗素子)1a〜1dは
温度特性を持っているために抵抗値に変化を生じるし、
また周囲磁界も均一とは限らず局部的に磁界方向に差を
生じることもあるので、この場合にも磁気抵抗素子の各
パターン1a〜1dの抵抗値に差を生じる。そのために
図3の検出回路を用いて検出した場合、各パターン1a
〜1dの間での周囲環境が均一の状態であれば、主回路
7と補助回路8の出力は同様のものとなるが、上記のよ
うな要因でパターン1aと1d,パターン1bと1cの
抵抗値に差が生じると、主回路7と補助回路8の出力は
異なったものとなり、このことにより誤検出を生じると
いう恐れがある。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、少なくとも同一の感磁方向をも
つパターン(磁気抵抗素子)の周囲温度や磁界方向をほ
ぼ同じのものとすることにより誤検出を防止できる信頼
性の高い磁気抵抗素子を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る磁気抵抗
素子は、複数の磁気抵抗素子(パターン)を同一の感磁
方向のパターンが互いに入り組んだ形状として構成する
ことによって、これらの位置的な差を小さくしたもので
ある。
【0007】
【作用】この発明においては、同一の感磁方向のパター
ンでは位置的な差が少ないため、この同一感磁方向のパ
ターンでは温度,磁界,歪などの外的要因を均一に受け
ることができる。
【0008】
【実施例】この発明の一実施例を図1について説明す
る。図において、1A〜1Dは磁気抵抗素子のパターン
であり、1A,1Dのパターンは同一の感磁方向をもち
かつ互いに入り組んだ構造をし、1B,1Cのパターン
はパターン1A,1Dに垂直な感磁方向をもちかつ互い
に入り組んだ構造をしている。
【0009】従来と同様に図3の検出回路で用いた場
合、局所的に温度,磁界,歪などの外環境が異なったと
しても、パターン1Aと1D,1Bと1Cはほぼ同じ位
置に形成されているため、抵抗値変化は同レベルであ
り、主回路7と補助回路8に同等の出力を得ることがで
きる。
【0010】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば複数の
磁気抵抗素子(パターン)を同一の感磁方向のパターン
が互いに入り組んだ形状として構成したので、局所的な
外的要因があってもそれぞれのパターンの受ける影響を
同様のものに保て、誤検出が防止できるという効果が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す磁気抵抗素子パター
ンの図である。
【図2】従来の磁気抵抗素子パターンを示す図である。
【図3】図2の磁気抵抗素子を利用した回転角度検出装
置を示す回路図である。
【符号の説明】
1A 磁気抵抗素子(パターン) 1B 磁気抵抗素子(パターン) 1C 磁気抵抗素子(パターン) 1D 磁気抵抗素子(パターン) 2a オペアンプ 2b オペアンプ 2c オペアンプ 2d オペアンプ 2e オペアンプ 2f オペアンプ 2g オペアンプ 2h オペアンプ 3 抵抗体 4 コンデンサ 5 LTR 6 マグネット 7 主回路 8 補助回路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に蒸着される複数の磁気抵抗素子
    (パターン)を同一の感磁方向のパターンが互いに入り
    組んだ形状として構成したことを特徴とする磁気抵抗素
    子。
  2. 【請求項2】 基板上に配された複数のパターンにより
    構成された磁気抵抗素子であって、前記パターンのうち
    同一の感磁方向とされたパターン同士が前記基板上にお
    けるほぼ同一位置に非接触状態で隣接配置されてなるこ
    とを特徴とする磁気抵抗素子。
  3. 【請求項3】 4素子のうち2素子ずつが、櫛歯状パタ
    ーンが左右対称に八の字状に形成された抵抗パターンに
    構成され、 かつこの二つの抵抗パターンを、それぞれの櫛歯状パタ
    ーンが互いに入り組んだ形状として構成したことを特徴
    とする磁気抵抗素子。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000008695A1 (fr) * 1998-08-07 2000-02-17 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha Capteur magnetique et son procede de production
US6366079B1 (en) 1999-11-25 2002-04-02 Denso Corporation Rotation detector having two pairs of symmetrically positioned magnetoresistive element circuits
US7372119B2 (en) 2001-10-01 2008-05-13 Asahi Kasei Microsystems Co., Ltd. Cross-shaped Hall device having extensions with slits
US7388268B2 (en) 2002-01-15 2008-06-17 Asahi Kasei Electronics Co., Ltd. Compound semiconductor multilayer structure, hall device, and hall device manufacturing method
US7843190B2 (en) 2005-12-16 2010-11-30 Asahi Kasei Emd Corporation Position detection apparatus
JP2015060954A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 パナソニック株式会社 巨大磁気抵抗素子

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000008695A1 (fr) * 1998-08-07 2000-02-17 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha Capteur magnetique et son procede de production
US6590389B1 (en) 1998-08-07 2003-07-08 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha Magnetic sensor, magnetic sensor apparatus, semiconductor magnetic resistance apparatus, and production method thereof
US6366079B1 (en) 1999-11-25 2002-04-02 Denso Corporation Rotation detector having two pairs of symmetrically positioned magnetoresistive element circuits
US7372119B2 (en) 2001-10-01 2008-05-13 Asahi Kasei Microsystems Co., Ltd. Cross-shaped Hall device having extensions with slits
US7388268B2 (en) 2002-01-15 2008-06-17 Asahi Kasei Electronics Co., Ltd. Compound semiconductor multilayer structure, hall device, and hall device manufacturing method
US7843190B2 (en) 2005-12-16 2010-11-30 Asahi Kasei Emd Corporation Position detection apparatus
JP2015060954A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 パナソニック株式会社 巨大磁気抵抗素子

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