KR970018763A - 자기저항 소자 및 센서 - Google Patents

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쥬니찌 후지카타
히데후미 야마모또
구니히코 이시하라
마사후미 나카다
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Abstract

본 발명의 자기저항 소자는 반강자성 층, 제1 강자성 층, 비자기 층 및, 제2 강자성 층을 연속적으로 포함한다. 비자기 층 대신에, 상기 자기저항 소자는 Co층과, 비자기 층 및, Co층의 결합을 포함할 수 있다. 상기 반강자성 층은 니켈 산화물, 니켈 산화물과 코발트 산화물의 혼합물, 또는 니켈 산화물과 코발트 산화물의 적층부로 제조된다. 상기 강자성 층은 1 내지 10㎚ 두께를 가지고, 상기 소자는 0.1 내지 1um의 높이를 가진다. 상기 비자성층은 2 내지 3㎚의 두께를 가지며, 상기 반강자성 층은 5 내지 30㎚의 두께를 가진다. 상기 자기저항 소자는 적절한 교차점을 가지고, 우수한 재생신호를 출력하며, 출력신호에 대하여 바람직한 반쪽폭을 가진다.

Description

자기저항 소자 및 센서
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도 3은 본 발명에 사용되는 통상적인 자기저항 소자의 단면도.

Claims (14)

  1. 반강자성 층과, 제1 강자성 층과, 비자기 층 및, 연성 자기재료의 제2 강자성 층을 연속적으로 포함하고, 상기 반강자성 층은 5 내지 30㎚의 두께를 가지고 니켈 산화물, 니켈 산화물과 코발트 산화물의 혼합물 및, 니켈 산화물막과 코발트 산화물막을 포함하는 적층부중의 하나로 제조되며, 상기 제1 및 제2 강자성 층은 1 내지 10㎚의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 자기저항 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 강자성 층은 0.45 내지 0.55의 교차점을 제공하는 것을 특징으로 하는 자기저항 소자.
  3. 제1항에 있어서, 상기 자기저항 소자는 0.1 내지 1㎜의 소자높이를 가지는 것을 특징으로 하는 자기저항 소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 강자성 층과 비자기 층사이의 제1 코발트 층과, 상기 비자기 층과 제2 강자성 층사이의 제2 코발트 층을 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 소자.
  5. 제1항에 있어서, 상기 반강자성 층에서 니켈과 코발트의 전체 원자에 대한 니켈 원자의 비는 0.25이상인 것을 특징으로 하는 자기저항 소자.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 강자성 층중 하나 이상의 층은 주 구성품으로써, NiFe, NiFeCo, NiCo 및 Co 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 소자.
  7. 제1항에 있어서, 상기 비자기 층은 주 구성품으로써 Cu와, Cu에 부가된 Ag 및, Cu에 부가된 Re를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 소자.
  8. 기판과; 상기 기판위에 연속적으로 형성되고 패턴을 가지는 저부 실드층과 저부 갭층과; 강자성 소자에 바이어스 자기장을 제공하기 위하여 강자성 소자의 모서리위에 형성된 종방향 바이어스 층과 강자성 소자를 포함하며 저부 갭층위에 형성된 활성층 및; 상기 활성층위에 연속적으로 형성된 상부 갭층과 상부 실드층을 포함하며, 반강자성 층과, 제1 강자성 층과, 비자기 층 및, 연성 자기재료의 제2 강자성 층을 연속적으로 포함하고, 상기 반강자성층은 5 내지 30㎚의 두께를 가지고 니켈 산화물, 니켈 산화물과 코발트 산화물의 혼합물 및, 니켈 산화물막과 코발트 산화물막을 포함하는 적층부중의 하나로 제조되며, 상기 제1 및 제2 강자성 층은 1 내지 10㎚의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 자기저항 센서.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 강자성 층은 0.45 내지 0.55의 교차점을 제공하는 것을 특징으로 하는 자기저항 센서.
  10. 제8항에 있어서, 상기 자기저항 소자는 0.1 내지 1㎜의 소자높이를 가지는 것을 특징으로 하는 자기저항 센서.
  11. 제8항에 있어서, 상기 제1 강자성 층과 비자성층 사이의 제1 코발트 층과, 상기 비자기 층과 제2 강자성 층사이의 제2코발트 층을 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 센서.
  12. 제8항에 있어서, 상기 반강자성 층에서 니켈과 코발트의 전체 원자에 대한 니켈 원자의 비는 0.25 이상인 것을 특징으로 하는 자기저항 센서.
  13. 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 강자성 층중 하나 이상의 층은 주로 구성품으로써, NiFe, NiFeCo, NiCo 및 Co 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 센서.
  14. 제8항에 있어서, 상기 비자성층은 주 구성품으로써 Cu, Cu에 부가된 Ag 및, Cu에 부가된 Re를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 센서.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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