KR920020753A - 모스 소자의 구조 및 제조방법 - Google Patents
모스 소자의 구조 및 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 제조 공정 단면도.
Claims (4)
- LDD형 모스 소자의 구조에 있어서, 저농도 소오스/드레인 영역을 게이트의 양 테두리로부터 다단의 계단형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 모스 소자의 구조.
- 기판위에 게이트 산화막과 얇은 폴리실리콘막과 도전체막 및 게이트 폴리실리콘막을 차례로 증착한 후 게이트 마스크를 이용하여 상기 도전체막까지 불필요한 부분을 에치하여 제거하는 단계, 전체적으로 질화막을 증착하고 상기 얇은 폴리실리콘막까지 에치하여 질화막 측벽을 형성하는 단계, 상기 질화막 측벽을 제거하고 저농도이온을 주입하여 저농도 소오스/드레인 영역을 계단형상으로 형성하는 단계, 유전체막을 전체적으로 형성하고 이를 에치하여 상기 질화막 측벽 하측의 얇은 폴리실리콘막 보다 더 두껍게 유전체막 측벽을 형성하는 단계, 고농도 이온을 주입하여 고농도 소오스/드레인 영역을 형성하는 단계가 차례로 포함됨을 특징으로 하는 모스 소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 도전체막은 내열성 금속막으로 형성함을 특징으로 하는 모스 소자의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 내열성 금속으로서 TIN막을 사용하는 것을 특징으로 하는 모스소자의 제조방법.* 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910005912A KR920020753A (ko) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 모스 소자의 구조 및 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019910005912A KR920020753A (ko) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 모스 소자의 구조 및 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920020753A true KR920020753A (ko) | 1992-11-21 |
Family
ID=67400459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910005912A KR920020753A (ko) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 모스 소자의 구조 및 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920020753A (ko) |
-
1991
- 1991-04-12 KR KR1019910005912A patent/KR920020753A/ko not_active Application Discontinuation
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