KR920015460A - 메탈 도트 마스크 - Google Patents
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- H01L21/203—
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 메탈 도트 마스크, 제3도는 본 발명의 메탈 도트 마스크를 사용한 공정단면도.
Claims (1)
- 실리콘 웨이퍼와 같은 크기의 스테인레스 스틸판에 원형 구멍과 사각형 구멍을 뚫어 도트마스크를 형성하여 금속박막 증착을 웨이퍼와 동시에 진행하게 하므로 시리콘 웨이퍼위에 금속박막을 분리 형성시킬 수 있게함을 특징으로 하는 메탈 도트 마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910086119A KR100198601B1 (ko) | 1991-01-07 | 1991-01-07 | 매탈 도트 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910086119A KR100198601B1 (ko) | 1991-01-07 | 1991-01-07 | 매탈 도트 마스크 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920015460A true KR920015460A (ko) | 1992-08-26 |
| KR100198601B1 KR100198601B1 (ko) | 1999-06-15 |
Family
ID=50290349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910086119A KR100198601B1 (ko) | 1991-01-07 | 1991-01-07 | 매탈 도트 마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100198601B1 (ko) |
-
1991
- 1991-01-07 KR KR1019910086119A patent/KR100198601B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100198601B1 (ko) | 1999-06-15 |
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