KR920013693A - 스크라이브 레인구조 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 스크라이브 레인 레이아웃, 제4도는 본발명에 따른 스크라이브 레인단면도.
Claims (2)
- 콘택 및 VTA에치시 실리콘 서브 스트레이트를 에치하고 레티스디자인시 스크라이브 에지주위에 높은 벽을 만들어 주어 다이 소오잉시 파티클을 방지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 스크라이브 레인구조.
- 제1항에 있어서, 더블폴리, 더블 메틸 프로세서 공정시 사용되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 레인구조.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900020708A KR920013693A (ko) | 1990-12-15 | 1990-12-15 | 스크라이브 레인구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900020708A KR920013693A (ko) | 1990-12-15 | 1990-12-15 | 스크라이브 레인구조 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920013693A true KR920013693A (ko) | 1992-07-29 |
Family
ID=67537984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900020708A KR920013693A (ko) | 1990-12-15 | 1990-12-15 | 스크라이브 레인구조 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920013693A (ko) |
-
1990
- 1990-12-15 KR KR1019900020708A patent/KR920013693A/ko not_active Application Discontinuation
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