KR920015469A - 메탈 에칭(metal etch)시 메탈 증착방법 - Google Patents
메탈 에칭(metal etch)시 메탈 증착방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 메탈 에칭전 상태도, 제5도는 본 발명에 따른 메탈 에칭후 상태도.
Claims (1)
- 메탈의 상,하측에 온도 변화를 주고 에칭율의 변화를 이룬 상태로 증착하여 에칭하는 것을 특징으로 하는 메탈 에칭시 메탈 증착방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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| KR1019910000404A KR930010672B1 (ko) | 1991-01-12 | 1991-01-12 | 반도체 소자의 금속식각 방법 |
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| KR920015469A true KR920015469A (ko) | 1992-08-26 |
| KR930010672B1 KR930010672B1 (ko) | 1993-11-05 |
Family
ID=19309705
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Country Status (1)
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|---|---|
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1991
- 1991-01-12 KR KR1019910000404A patent/KR930010672B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
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|---|---|
| KR930010672B1 (ko) | 1993-11-05 |
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